The utility model relates to an electrochemical machining device, which comprises a base, and an electrolytic tank electrolytic machining electrode; the base is provided with driving the cell X to exercise to the X movement of the vertical motion of the platform and the Y Y to the platform, and drive the electrode Z to exercise to the Z movement the Z platform to the motion platform is connected with the driving electrode micro platform with three degrees of freedom micro processing, the micro platform including the connection with the Z motion platform X to micro platform, with the X platform to connect Y to the micro micro platform, and with the Y to the Z platform is connected to the micro micro platform, the X platform, Y to micro micro platform and Z platform to include platform and set the micro moving platform in the platform, the dynamic between the inner wall of the outer wall of the platform and the platform are connected With a flexible hinge, the body is connected with a driving piezoelectric ceramic the linear micro moving platform.
【技术实现步骤摘要】
一种电化学加工装置
本技术涉及一种纳米加工装置,尤其涉及一种电化学加工装置。
技术介绍
随着科学技术的飞速发展,微型化是军事及民用研究领域总的发展趋势。如大规模集成电路(ULSI)、微纳机电系统(MEMS&NEMS)、微全分析系统(μ-TAS)以及精密光学器件的发展,要求每个功能器件的尺寸达到微纳米量级。现代化的高技术战争要求武器小型化,如微型潜艇、微型飞机、微型导弹等,这些新型武器的组成零件要求其结构尺寸达到微米乃至纳米量级,加工精度达到纳米量级。在民用领域,以计算机CPU芯片为例,商业化的超大集成电路的特征线宽已经达到32nm以下。这些零件或者元件的制造需要各种微纳加工技术,因此,发展微纳加工技术已成为全世界精密制造领域最前沿的热门课题,并且在此基础上逐步形成了一个新兴产业——微纳制造。一般地,微纳加工技术的产业需求具体体现在以下三个方面:(1)纳米精度的超光滑表面;(2)微纳尺度的三维复杂结构;(3)微纳米器件的装配。电化学微纳加工技术作为微纳加工方法之一,具有无热效应、无残余应力,精度可控、去除率高、加工效率高、环境友好等优点。因此,在微纳加工领域也占有及其重要的地位。实现电化学微纳加工的方法有:阴极电沉积(电镀或电铸)、阳极溶解、电化学诱导化学刻蚀技术。电化学反应发生在电极/溶液界面,由于参与反应的物质的液相传质过程,在界面溶液一侧形成扩散层。因此,控制电化学微/纳米加工精度的关键就在于控制扩散层的厚度。常用的电化学微纳加工方法有:(1)扫描探针电化学微纳加工技术电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)微纳加工方法于1997年由Kolb课题组 ...
【技术保护点】
一种电化学加工装置,包括‑底座、电解槽以及朝向电解槽的加工电极;‑所述底座上设有驱动所述电解槽X向运动的X向运动平台和Y向运动的Y向运动平台,以及驱动所述加工电极Z向运动的Z向运动平台,其特征在于:‑所述Z向运动平台上连接有驱动所述加工电极三自由度微动的微动平台,所述微动平台包括与所述Z向运动平台连接的X向微动平台、与所述X向微动平台连接的Y向微动平台,以及与所述Y向微动平台连接的Z向微动平台,所述X向微动平台、Y向微动平台与Z向微动平台均包括台体和设置在台体内的动台体,所述动台体的各外侧壁与所述台体的各内侧壁之间均连接有柔性铰链,所述台体上连接有驱动所述动台体直线微动的压电陶瓷。
【技术特征摘要】
1.一种电化学加工装置,包括-底座、电解槽以及朝向电解槽的加工电极;-所述底座上设有驱动所述电解槽X向运动的X向运动平台和Y向运动的Y向运动平台,以及驱动所述加工电极Z向运动的Z向运动平台,其特征在于:-所述Z向运动平台上连接有驱动所述加工电极三自由度微动的微动平台,所述微动平台包括与所述Z向运动平台连接的X向微动平台、与所述X向微动平台连接的Y向微动平台,以及与所述Y向微动平台连接的Z向微动平台,所述X向微动平台、Y向微动平台与Z向微动平台均包括台体和设置在台体内的动台体,所述动台体的各外侧壁与所述台体的各内侧壁之间均连接有柔性铰链,所述台体上连接有驱动所述动台体直线微动的压电陶瓷。2.根据权利要求1所述的电化学加工装置,其特征在于:所述电解槽上还连接有检测所述加工电极对所述电解槽施加压力的力传感器,所述力传感器上连接有水平的连接板,所述连接板上设有底板,所述底板通过橡胶垫连接有与其平行的支撑板,所述电解槽设置在所述支撑板上,所述电解槽的侧壁上连接有两弹簧压片,所述弹簧管压片与所述连接板之间连接有第一弹簧,以及调整所述第一弹簧形变量的调整螺钉。3.根据权利要求1所述的电化学加工装置,其特征在于:所述加工电极上还连接有检测其对工件加工深度的位移传感器。4.根据权利要求2所述的电化学加工装置,其特征在于:所述底座上还...
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