The invention discloses a spark proof DC ion source, including ion optical components, the ion optical module includes a screen grid, accelerating grid and spark proof gate, the screen, the acceleration gate and the gate are arranged and spark proof gate hole aligned with each other, Shi Jiazheng voltage of the screen. The acceleration of a negative voltage is applied on the gate, the gate preventing ignition grounding. The invention has the advantages of simple structure, continuous deposition of insulating materials, high production efficiency, etc..
【技术实现步骤摘要】
一种防打火直流离子源
本专利技术涉及离子束镀膜设备,尤其涉及一种防打火直流离子源。
技术介绍
现有直流离子源采用屏栅和加速栅的双层栅网结构,屏栅和加速栅是一对多孔彼此对准的电极,从而构成离子光学组件。在屏栅栅网上施加正电压将正离子束缚在阳极筒内,屏栅电场在放电室中形成等离子体弯月形发射面;在加速栅栅网上施加负电压将正离子拉出加速、减速向靶传输;中和器发射电子浸入正离子束中,形成中性束的等离子体。但是屏栅和加速栅会对中和器发射的电子有反向抽取作用,使得等离子体仍带正电荷。在溅射金属材料时,在沉积膜层表面的正电荷会被自由流动的电子中和,但是在溅射绝缘材料时,正电荷被中和的速度非常慢,绝缘薄膜上的正电荷会不断累积,当累积到可产生放电的电位时会产生放电现象,导致绝缘膜损坏漏电,并且打火现象会出现在栅网表面,严重时会损坏栅网。为了防止打火,在镀绝缘材料时,常用的做法是通过操作工人每隔一段时间进行缓镀,确保薄膜不被击穿,这种方法生产效率较低,无法做到连续沉积绝缘材料。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种结构简单、可连续沉积绝缘材料、生产效率高的防打火直流离子源。为解决上述技术问题,本专利技术采用以下技术方案:一种防打火直流离子源,包括离子光学组件,所述离子光学组件包括屏栅、加速栅和防打火栅,所述屏栅、所述加速栅和所述防打火栅依次布置且栅孔彼此对准,所述屏栅上施加正电压,所述加速栅上施加负电压,所述防打火栅接地。作为上述技术方案的进一步改进:还包括阳极桶、底板组件、支撑组件及工作气体输入组件,所述屏栅、加速栅和防打火栅自下而上依次布置于所 ...
【技术保护点】
一种防打火直流离子源,包括离子光学组件(1),其特征在于:所述离子光学组件(1)包括屏栅(11)、加速栅(12)和防打火栅(13),所述屏栅(11)、所述加速栅(12)和所述防打火栅(13)依次布置且栅孔彼此对准,所述屏栅(11)上施加正电压,所述加速栅(12)上施加负电压,所述防打火栅(13)接地。
【技术特征摘要】
1.一种防打火直流离子源,包括离子光学组件(1),其特征在于:所述离子光学组件(1)包括屏栅(11)、加速栅(12)和防打火栅(13),所述屏栅(11)、所述加速栅(12)和所述防打火栅(13)依次布置且栅孔彼此对准,所述屏栅(11)上施加正电压,所述加速栅(12)上施加负电压,所述防打火栅(13)接地。2.根据权利要求1所述的防打火直流离子源,其特征在于:还包括阳极桶(2)、底板组件(3)、支撑组件(4)及工作气体输入组件(5),所述屏栅(11)、加速栅(12)和防打火栅(13)自下而上依次布置于所述阳极桶(2)上方,所述支撑组件(4)支撑于所述底板组件(3)下方,所述阳极桶(2)设于所述底板组件(3)上,阳极桶(2)内设有阴极灯丝(6),所述工作气体输入组件(5)通过所述底板组件(3)与所述阳极桶(2)连通。3.根据权利要求2所述的防打火直流离子源,其特征在于:所述阳极桶(2)外周还设有水冷组件(7),所述水冷组件(7)上下两端分别与屏栅(11)和底板组件(3)法兰连接,所述水冷组件(7)包括内筒(71)及设于内筒(71)外周的外筒(72),所述内筒(71)和所述外筒(72)之间构成水冷腔(73),所述底板组...
【专利技术属性】
技术研发人员:周国方,谢贵久,张龙赐,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十八研究所,
类型:发明
国别省市:湖南,43
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