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本发明公开了一种防打火直流离子源，包括离子光学组件，所述离子光学组件包括屏栅、加速栅和防打火栅，所述屏栅、所述加速栅和所述防打火栅依次布置且栅孔彼此对准，所述屏栅上施加正电压，所述加速栅上施加负电压，所述防打火栅接地。本发明具有结构简单、可...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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