基板检测装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基板检测装置，包含装置本体、承载模块、照明摄像模块及控制模块。装置本体的一面可活动地设有位移单元，位移单元的一面设有发光件，并且，装置本体的一面悬设升降单元。承载模块悬设在位移单元的一面，承载模块相对位移单元的一面活动地设有若干个夹固单元，若干个夹固单元可活动地夹持基板，并且，承载模块的本体具有开口。照明摄像模块设置在升降单元上。控制模块电耦接位移单元、升降单元及照明摄像模块。

Substrate detecting device and method thereof

The invention discloses a substrate detection device, which comprises a device body, a load bearing module, an illumination camera module and a control module. One side of the device body can be movably provided with a displacement unit, one side of the displacement unit is provided with a luminous element, and one side of the device body is provided with a lifting unit. A bearing unit module in suspension displacement, relative displacement of the side bearing module unit is provided with a plurality of active clamping unit, a plurality of clamping unit movably holding the substrate, and the body has an opening, bearing module. The illumination camera module is arranged on the lifting unit. The control module is electrically coupled with a displacement unit, a lifting unit and an illumination camera module.

【技术实现步骤摘要】
基板检测装置及其方法
本专利技术涉及一种基板检测装置及其方法，具体涉及一种可利用照明摄像模块获取基板的若干个区域影像的基板检测装置及其方法。
技术介绍
「光罩(Mask)」是制作集成电路非常重要的工具，将设计图上的几何图形「第一次缩小」，以电子束刻在基板(如石英片)上，由于电子束的直径大小约为1μm(微米)，所以用电子束刻在石英片上的图形线宽大约1μm(微米)，再利用光罩进行图形转移，将光罩上的图形转移到硅晶圆上。而光罩于进行图形转移前，需先经过检测流程，检测光罩上是否存在异物。目前传统的检测装置，皆是对基板上的光罩进行全面积影像获取，再进行判读光罩上是否存在异物。然而，由于传统的检测方式是对基板进行全面积的一次性影像获取，因此，容易造成影像分辨率不足，而无法完全判读出光罩上的所有异物，或者容易造成判读错误等问题。综上，本专利技术的专利技术人思索并设计一种基板检测装置及其方法，以期针对现有技术中的缺失加以改善，进而增进产业上的实施利用。
技术实现思路
有鉴于上述现有技术中的问题，本专利技术的目的在于提供一种基板检测装置及其方法，以解决现有技术中所存在的问题。根据本专利技术的目的，提出一种基板检测装置，包含装置本体、承载模块、照明摄像模块及控制模块。装置本体的一面可活动地设有位移单元，位移单元的一面设有发光件，并且，装置本体的所述的一面悬设升降单元。承载模块悬设在位移单元的一面，承载模块相对位移单元的一面活动地设有若干个夹固单元，若干个夹固单元可活动地夹持基板，并且，承载模块的本体具有开口。照明摄像模块设置在升降单元上。控制模块电耦接位移单元、升降单元及照明摄像模块，控制模块接收并依据第一检测信号而驱使升降单元朝第一方向进行位移，以使照明摄像模块趋近于基板，控制模块控制位移单元驱使发光件通过开口朝基板投射第一光源，以及控制位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移，以带动承载模块进行位移，并且，控制模块控制照明摄像模块获取基板的若干个第一区域的影像，并产生若干个第一影像。优选地，控制模块可接收若干个第一影像，并经由默认拼接程序将若干个第一影像转换成第一全幅检测影像，并且，控制模块依据第一全幅检测影像与第一默认标准影像比对，以产生第一检测结果信息。优选地，控制模块接收并依据一第二检测信号而驱使照明摄像模块朝基板投射第二光源，并控制位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移，以带动承载模块进行位移，并且，控制模块控制照明摄像模块获取基板的若干个区域的影像，并产生若干个第二影像。优选地，控制模块接收若干个第二影像，并经由默认拼接程序将若干个第二影像转换成第二全幅检测影像，并且，控制模块依据第二全幅检测影像与第二默认标准影像比对，以产生第二检测结果信息。优选地，基板检测装置还包含照明模块，可活动地设置在装置本体上，并电连接控制模块，照明模块设有聚光单元，控制模块接收并依据第三检测信号而控制照明模块朝承载模块位移，以使聚光单元位移至位移单元与承载模块之间，并对应照明摄像模块，控制模块控制位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移，以带动承载模块依序位移至若干个预定位置，并控制聚光单元通过通口朝基板的若干个通口的其中一通口投射聚光源，并且，控制模块控制照明摄像模块依序获取若干个通口的影像，并产生若干个通口影像。优选地，基板检测装置还包含测距模块，电连接控制模块，并设置在升降单元上，控制模块依据测量信号而控制测距模块朝基板投射至少一测距光源，并且，测距模块接收基板所反射的至少一测距光源，以产生距离信号。优选地，控制模块可接收距离信号，并据以控制升降单元朝第一方向进行位移，以使照明摄像模块与基板距离预定工作距离，并且，控制模块依据第一检测信号而控制照明摄像模块获取基板的各区域的影像。根据本专利技术的目的，再提出一种基板检测方法，包含以下步骤：通过承载模块的若干个夹固单元可活动地夹持基板；通过控制模块接收第一检测信号，并据以驱使装置本体的升降单元朝第一方向进行位移，以使照明摄像模块趋近于基板；通过控制模块控制位移单元驱使发光件通过承载模块的开口朝基板投射第一光源，并控制位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移，以带动承载模块进行位移；以及通过控制模块控制照明摄像模块获取基板的若干个第一区域的影像，并产生若干个微影像。优选地，基板检测方法还包含以下步骤：通过控制模块接收若干个第一影像，并且，利用控制模块并经由默认拼接程序将若干个第一影像转换成第一全幅检测影像；以及通过控制模块依据第一全幅检测影像与第一默认标准影像比对，以产生第一检测结果信息。优选地，基板检测方法还包含下列步骤：通过控制模块接收并依据第二检测信号而驱使照明摄像模块朝基板投射第二光源；通过控制模块控制位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移，以带动承载模块进行位移；以及通过控制模块控制照明摄像模块获取基板的若干个第二区域的影像，并产生若干个第二影像。优选地，基板检测方法还包含下列步骤：通过控制模块接收若干个第二影像，并经由默认拼接程序将若干个第二影像转换成第二全幅检测影像；以及通过控制模块依据第二全幅检测影像与第二默认标准影像比对，以产生第二检测结果信息。优选地，基板检测方法还包含下列步骤：通过控制模块接收并依据第三检测信号而控制照明模块朝承载模块位移，以使照明模块的聚光单元位移至位移单元与承载模块之间，并对应照明摄像模块；以及通过控制模块控制位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移，以带动承载模块依序位移至若干个预定位置，并控制聚光单元通过开口依序朝基板的若干个通口的其中一通口投射聚光源；以及通过控制模块控制照明摄像模块依序获取若干个通口的影像，并产生若干个通口影像。优选地，通过控制模块接收第一检测信号的步骤前，还包含以下步骤：通过控制模块依据测量信号而控制测距模块朝基板投射至少一测距光源；以及利用测距模块接收基板所反射的至少一测距光源，以产生距离信号。优选地，产生距离信号的步骤还包含以下步骤：通过控制模块接收距离信号，并据以控制升降单元升降单元朝第一方向进行位移，以使照明摄像模块与基板距离预定工作距离；以及利用控制模块依据第一检测信号而控制照明摄像模块获取基板的各第一区域的影像。综上所述，本专利技术的基板检测装置及其方法，可具有一或多个下述优点：(1)此基板检测装置及其方法可通过装置本体驱使承载模块以步进方式进行位移，并控制照明摄像模块对基板的若干个区域进行影像获取，以取得高画质且清晰的第一影像，进而提供操作者判读基板上是否存在异物，因此可提高基板异物检测的准确性。(2)此基板检测装置及其方法可通过测距模块朝基板投射测距光源，并接收所反射的测距光源，以产生距离信号，进而取得得知基板的厚度，而可调整照明摄像模块影像获取的工作高度，因此可提供定焦照明摄像模块获取影像的便利性。附图说明图1为本专利技术的基板检测装置的第一实施例的第一示意图；图2为本专利技术的基板检测装置的第一实施例的第二示意图；图3为本专利技术的基板检测装置的第一实施例的框图；图4为本专利技术的基板检测装置的第二实施例的示意图；图5为本专利技术的基板检测装置的第三实施例的第一示意图；图6为本专利技术的基板检测装置的第三实施例的第二示意图；图7为本专利技术的基板检测装置的第四实施例的示意图；图8为本专利技术的基板检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检测装置，其特征在于，包含：装置本体，所述的装置本体的一面可活动地设有位移单元，所述的位移单元的一面设有发光件，并且，所述的装置本体的所述的一面悬设升降单元；承载模块，悬设在所述的位移单元的一面，所述的承载模块相对所述的位移单元的一面活动地设有若干个夹固单元，所述的若干个夹固单元可活动地夹持基板，并且，所述的承载模块的本体具有开口；照明摄像模块，设置在所述的升降单元上；以及控制模块，电耦接所述的位移单元、所述的升降单元及所述的照明摄像模块，所述的控制模块接收并依据第一检测信号而驱使所述的升降单元朝第一方向进行位移，以使所述的照明摄像模块趋近于所述的基板，所述的控制模块控制所述的位移单元驱使所述的发光件通过所述的开口朝所述的基板投射第一光源，以及控制所述的位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移，以带动所述的承载模块进行位移，并且，所述的控制模块控制所述的照明摄像模块获取所述的基板的若干个第一区域的影像，并产生若干个第一影像。

【技术特征摘要】
2015.11.06 TW 1041366681.一种基板检测装置，其特征在于，包含：装置本体，所述的装置本体的一面可活动地设有位移单元，所述的位移单元的一面设有发光件，并且，所述的装置本体的所述的一面悬设升降单元；承载模块，悬设在所述的位移单元的一面，所述的承载模块相对所述的位移单元的一面活动地设有若干个夹固单元，所述的若干个夹固单元可活动地夹持基板，并且，所述的承载模块的本体具有开口；照明摄像模块，设置在所述的升降单元上；以及控制模块，电耦接所述的位移单元、所述的升降单元及所述的照明摄像模块，所述的控制模块接收并依据第一检测信号而驱使所述的升降单元朝第一方向进行位移，以使所述的照明摄像模块趋近于所述的基板，所述的控制模块控制所述的位移单元驱使所述的发光件通过所述的开口朝所述的基板投射第一光源，以及控制所述的位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移，以带动所述的承载模块进行位移，并且，所述的控制模块控制所述的照明摄像模块获取所述的基板的若干个第一区域的影像，并产生若干个第一影像。2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述的控制模块接收所述的若干个第一影像，并经由默认拼接程序将所述的若干个第一影像转换成第一全幅检测影像，并且，所述的控制模块依据所述的第一全幅检测影像与第一默认标准影像比对，以产生第一检测结果信息。3.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述的控制模块接收并依据第二检测信号而驱使所述的照明摄像模块朝所述的基板投射第二光源，并控制所述的位移单元以步进方式朝所述的第二方向或所述的第三方向进行位移，以带动所述的承载模块进行位移，并且，所述的控制模块控制所述的照明摄像模块获取所述的基板的若干个第二区域的影像，并产生若干个第二影像。4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述的控制模块接收所述的若干个第二影像，并经由默认拼接程序将所述的若干个第二影像转换成第二全幅检测影像，并且，所述的控制模块依据所述的第二全幅检测影像与第二默认标准影像比对，以产生第二检测结果信息。5.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，还包含照明模块，可活动地位设置在所述的装置本体上，并电连接所述的控制模块，所述的照明模块设有聚光单元，所述的控制模块接收并依据第三检测信号而控制所述的照明模块朝所述的承载模块位移，以使所述的聚光单元位移至所述的位移单元与所述的承载模块之间，并对应所述的照明摄像模块，所述的控制模块控制所述的位移单元以步进方式朝所述的第二方向或所述的第三方向进行位移，以带动所述的承载模块依序位移至若干个预定位置，并控制所述的聚光单元通过所述的开口依序朝所述的基板的若干个通口的其中一所述的通口投射聚光源，并且，所述的控制模块控制所述的照明摄像模块依序获取所述的若干个通口的影像，并产生若干个通口影像。6.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，还包含测距模块，电连接所述的控制模块，并设置在所述的升降单元上，所述的控制模块依据测量信号而控制所述的测距模块朝所述的基板投射至少一测距光源，并且，所述的测距模块接收所述的基板所反射的所述的至少一测距光源，以产生距离信号。7.根据权利要求6所述的基板检测装置，其特征在于，所述的控制模块接收所述的距离信号，并据以控制所述的升降单元朝所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志强，
申请(专利权)人：艾斯迈科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71