The utility model discloses a lifetime measurement device less of a semiconductor material, which is characterized in that it comprises a light source, measurement units, the microprocessor, the microprocessor chip set in A/D converter, display and controller, light source in the measuring station just above the measuring platform connected with constant current source and a high speed amplifier; high speed amplifier with the chip A/D conversion connection, two comparator is connected between a high speed amplifier and microprocessor, microprocessor through two D/A conversion module is respectively connected with the two input end of the comparator, the comparator is used to control a microprocessor internal timer start, another comparator timer stop the constant current source, monitor and controller are respectively connected with the microprocessor. The testing process of the utility model does not need to be contacted with the sample, the equipment has the advantages of simple structure, low cost, convenient operation, and short lifetime measurement of the semiconductor material.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料少子寿命测量装置
本技术涉及半导体测试
,特别涉及一种半导体材料少子寿命测量装置。
技术介绍
随着电子工业的发展,对于材料和器件的质量有了更高的要求,对少子寿命的测量也更加重视起来。少子寿命是半导体材料和器件的一个重要参数,其中非平衡少数载流子寿命是最基本的参数之一。对半导体器件的正向压降、开关速度、发光二极管的发光效率以及光伏器件转换效率等都有影响,在材料和器件工艺研究中发挥了重要作用。关于半导体材料少子寿命测量的方法很多,上海交通大学物理系太阳能研究所报道了一种基于微波反射光电导来测量少子寿命的装置,该装置是利用光照前后微波透过半导体样品传输信号的变化测量少子寿命。中国专利ZL200310108310.7提供了一种太阳能电池少数载流子寿命分析仪,这种装置是通过测量光照前后微波辐射半导体样品后反射信号的变化测量少子寿命。上述测量装置虽然测量寿命准确、精度高,但装置结构复杂,成本较高,难以实现短寿命的测量。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的不足,提供一种半导体材料少子寿命测试装置。本技术是通过以下技术方案来实现:一种半导体材料少子寿命测量装置,其特征在于,它包括光源、测量台、微处理器、设置在微处理器内部的片内A/D转换器、显示器和控制器,光源位于测量台正上方,测量台连接有恒流源和高速放大器;高速放大器一方面与片内A/D转换连接,另一方面高速放大器与微处理器之间还连接有两个比较器,微处理器通过两个D/A转换模块分别与两个比较器的输入端连接,其中一个比较器用于控制微处理器内部计时器的启动,另一个比较器用于计时器的停止,所述恒流源、显示 ...
【技术保护点】
一种半导体材料少子寿命测量装置,其特征在于,它包括光源、测量台、微处理器、设置在微处理器内部的片内A/D转换器、显示器和控制器,光源位于测量台正上方,测量台连接有恒流源和高速放大器;高速放大器一方面与片内A/D转换连接,另一方面高速放大器与微处理器之间还连接有两个比较器,微处理器通过两个D/A转换模块分别与两个比较器的输入端连接,其中一个比较器用于控制微处理器内部计时器的启动,另一个比较器用于计时器的停止,所述恒流源、显示器和控制器分别与微处理器连接。
【技术特征摘要】
1.一种半导体材料少子寿命测量装置,其特征在于,它包括光源、测量台、微处理器、设置在微处理器内部的片内A/D转换器、显示器和控制器,光源位于测量台正上方,测量台连接有恒流源和高速放大器;高速放大器一方面与片内A/D转换连接,另一方面高速放大器与微处理器之间还连接有两个比较器,微处理器通过两个D/A转换模块分别与两个比较器的输入端连接,...
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