一种LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种光学技术，特别是一种LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统。
技术介绍
传统的紫外照明光源为汞灯，其缺点是耗电高、造价高、寿命短、且安全性和环保性能差。现有汞灯匀光照明系统中部件多，光在传递过程中能耗大，光能利用率低。紫外LED在光刻照明系统中的应用越来越多，但对于LED紫外光的收集以及匀光和准直仍然未得到较好的解决。
技术实现思路
本技术目的是提供一种LED紫外光利用率高和匀光和准直效果好且结构简单成本低的LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统。实现本技术目的的技术方案是：一种LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统，包括光源和匀光器，其特征在于：所述光源为LED芯片阵列，所述LED芯片阵列中的每个LED芯片分别对应锥形光棒阵列中的一个锥形光棒，所述锥形光棒为进光端小而出光端大的锥形，在所述锥形光棒阵列的出光端设有锥形匀光器，所述锥形匀光器为进光端小而出光端大的锥形。进一步优选的，所述锥形光棒阵列中的锥形光棒为实心锥形光棒，锥形匀光器为空心锥形匀光器。一种曝光系统，包括光源和匀光器，所述光源为LED芯片阵列，所述LED芯片阵列中的每个LED分别对应锥形光棒阵列中的一个锥形光棒，所述锥形光棒为进光端小而出光端大的锥形，在所述锥形光棒阵列的出光端设有锥形匀光器，所述锥形匀光器为进光端小而出光端大的锥形；在所述锥形匀光器的出光端外设有第一曲面反射镜和第二曲面反射镜，第一曲面反射镜的凹面与所述锥形匀光器的出光端口相对，第二曲面反射镜的凹面分别与第一曲面反射镜的凹面和曝光工作台面相对。本技术与现有技术相比较具有LED紫外光利用率高和匀光和准...
【技术保护点】
一种LED复合匀光器，包括光源和匀光器，其特征在于：所述光源为LED芯片阵列，所述LED芯片阵列中的每个LED芯片分别对应锥形光棒阵列中的一个锥形光棒，所述锥形光棒为进光端小而出光端大的锥形，在所述锥形光棒阵列的出光端设有锥形匀光器，所述锥形匀光器为进光端小而出光端大的锥形。
【技术特征摘要】
1.一种LED复合匀光器，包括光源和匀光器，其特征在于：所述光源为LED芯片阵列，所述LED芯片阵列中的每个LED芯片分别对应锥形光棒阵列中的一个锥形光棒，所述锥形光棒为进光端小而出光端大的锥形，在所述锥形光棒阵列的出光端设有锥形匀光器，所述锥形匀光器为进光端小而出光端大的锥形。2.根据权利要求1所述的LED复合匀光器，其特征在于：所述锥形光棒阵列中的锥形光棒为实心锥形光棒，锥形匀光器为空心锥形匀光器。3.一种曝光系统，包...
【专利技术属性】
技术研发人员：张博，
申请(专利权)人：河南百合特种光学研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。