The invention discloses a method for realizing sports station positioning device and method, the device comprises a base plate, the base plate is provided with a measuring mark; lighting source to illuminate the measurement mark; image sensor for imaging information of the measuring mark; reflection unit will illuminate the measurement mark the light reflected to the movement, through the movement of Taiwan and then reflected to the image sensor; and a control unit, imaging information processing of the measuring mark, get the position information of the moving platform, to carry out the position of the moving table. Compared with the prior art, the invention has the advantages of simple structure and high precision.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种通过图像传感器实现运动台定位的装置及方法。
技术介绍
现有技术中大部分光刻机运动台归零都是通过运动台自身的基础框架测量系统实现的,相当于运动台的零位是固定在基础框架(大理石等)上,该技术方案不能直接让运动台和主基板建立起直接联系,且捕获精度不高,此外,在前道光刻机中,多采用固定在主基板上的归零传感器对运动台进行归零,该方案需要至少3个归零传感器,一定程度上会增加整机成本。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的缺陷,本专利技术的目的在于提供一种通过图像传感器与光刻装置本身所具有的部件以实现运动台归零的装置及方法。为了实现上述专利技术目的,本专利技术公开一种实现运动台定位的装置及方法,所述装置包括:基准板,所述基准板上设有测量标记;照明光源,用于照亮所述测量标记;图像传感器,用于得到所述测量标记的成像信息;反射单元,将照亮所述测量标记后的光反射至所述运动台,经所述运动台后再反射至所述图像传感器;及控制单元,处理所述测量标记的成像信息,得到所述运动台的位置信息,对所述运动台进行定位。更进一步地,所述反射单元包括第一反射模块和第二反射模块,所述第一反射模块位于所述运动台上,接收所述第二反射模块的反射光,并反射至所述图像传感器,所述第二反射模块位于所述基准板上,将照亮所述测量标记后的光反射。更进一步地,所述第二反射模块为一角棱镜,所述角棱镜位于所述测量标记的后方。更进一步地,所述第二反射模块为一平面镜,所述平面镜以一定的倾斜角安装在所述测量标记的后方。更进一步地,所述第一反射模块为一平面镜,所述平面镜以一定的倾斜角 ...
【技术保护点】
一种实现运动台定位的装置,其特征在于,包括:基准板,所述基准板上设有测量标记;照明光源,用于照亮所述测量标记;图像传感器,用于得到所述测量标记的成像信息;反射单元,将照亮所述测量标记后的光反射至所述运动台,经所述运动台后再反射至所述图像传感器;及控制单元,处理所述测量标记的成像信息,得到所述运动台的位置信息,对所述运动台进行定位。
【技术特征摘要】
1.一种实现运动台定位的装置,其特征在于,包括:基准板,所述基准板上设有测量标记;照明光源,用于照亮所述测量标记;图像传感器,用于得到所述测量标记的成像信息;反射单元,将照亮所述测量标记后的光反射至所述运动台,经所述运动台后再反射至所述图像传感器;及控制单元,处理所述测量标记的成像信息,得到所述运动台的位置信息,对所述运动台进行定位。2.如权利要求1所述的运动台定位的装置,其特征在于,所述反射单元包括第一反射模块和第二反射模块,所述第一反射模块位于所述运动台上,接收所述第二反射模块的反射光,并反射至所述图像传感器,所述第二反射模块位于所述基准板上,将照亮所述测量标记后的光反射。3.如权利要求2所述的运动台定位的装置,其特征在于,所述第二反射模块为一角棱镜,所述角棱镜位于所述测量标记的后方。4.如权利要求2所述的运动台定位的装置,其特征在于,所述第二反射模块为一平面镜,所述平面镜以一定的倾斜角安装在所述测量标记的后方。5.如权利要求2所述的运动台定位的装置,其特征在于,所述第一反射模块为一平面镜,所述平面镜以一定的倾斜角安装在所述运动台上。6.如权利要求2所述的运动台定位的装置,其特征在于,所述第一反射模块和所述第二反射模块的数量均与所述测量标记的数量相一致,且均与所述测量标记一一对应。7.如权利要求6所述的运动台定位的装置,其特征在于,所述测量标记为一组,实现所述运动台的二自由度定位。8.如权利要求6所述的运动台定位的装置,其特征在于,所述测量标记为三组,实现所述运动台的六自由度定位。9.如权利要求8所述的运动台定位的装置,其特征在于,三组所述测量标记布设在所述基准板的第一、第三及第四象限。10.如权利要求9所述的运动台定位的装置,其特征在于,对应的所述第一反射模块设有三个,三个所述第一反射模块分别布设在所述运动台的第一、第三及第四象限。11.如权利要求9所述的运动台定位的装置,其特征在于,对应的所述第一反射模块...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈鑫,
申请(专利权)人:上海微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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