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本实用新型公开了一种LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统,一种LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统,包括光源和匀光器,其特征在于:所述光源为LED芯片阵列,所述LED芯片阵列中的每个LED芯片分别对应锥形光棒阵列中的一个锥形...该专利属于河南百合特种光学研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南百合特种光学研究院有限公司授权不得商用。
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