The present invention comprises a spatial light modulator Fabri Perot interferometric wide spectrum frequency acquisition device, collecting light path, the optical path for collecting samples collected from preset spectral optical signal; a collimating lens, a collimating lens is used to preset spectral optical signal processing output quasi straight, parallel beam; Fabry Perot F-P cavity for filtering, parallel beam, light output preset wavelength; optical signal acquisition device, optical signal acquisition device for light collection of preset wavelength, and the noise of light is converted into the corresponding spectral signal. The invention can obtain the spectral information of the sample to be tested, and has the advantages of high resolution, high sensitivity, small structure, high integration and low cost.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光谱采集
,特别涉及一种空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置。
技术介绍
目前已经有很多方法可以实现光谱信号的测量,比如基于光栅分光的光谱仪,基于傅立叶变换的干涉式光谱仪,棱镜分光的简易光谱探测器等。所有这些技术都已发展成熟并得到广泛应用,为成像系统提供可靠稳定的光谱信息。但上述各种方法都不能将光谱仪压缩到很小的体积并提供可观的谱段范围和分辨率。比如,光栅或棱镜分光式的光谱仪、以及迈克尔逊干涉式光谱仪,都存在所需空间较大的缺点。另外,光学元件和探测器的重量也是影响其微型化的因素。法布里-珀罗干涉仪是由两块镀有高反射率膜的平行玻璃(或石英)板和中间所夹的介质组成。基于其干涉特性,有且仅有满足其干涉条件的波长的光可以通过法珀腔。所以此干涉仪具有天然的选频分光作用。随着半导体、薄膜加工技术的发展,微型化的法珀腔得到实现。对于可以探测近红外波段的光谱仪,其红外波段探测器的成本在总成本中占据很大比重,从而局限了其使用范围。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决上述技术问题之一。为此,本专利技术的目的在于提出一种空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,该装置能够完成待测样本的光谱信息获取,具有高分辨率、高灵敏度、结构微小、可集成度高、成本低廉的优点。为了实现上述目的,本专利技术的实施例公开了一种空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,包括:采集光路,所述采集光路用于从待测样本中采集预设谱段光信号;准直透镜,所述准直透镜用于对所述预设谱段光信号进行准直处理后,输出平行光束;法珀腔,所述法珀腔用于对所述平行光束进行滤 ...
【技术保护点】
一种空间光调制器的法布里‑珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,包括:采集光路,所述采集光路用于从待测样本中采集预设谱段光信号;准直透镜,所述准直透镜用于对所述预设谱段光信号进行准直处理后,输出平行光束;法珀腔,所述法珀腔用于对所述平行光束进行滤波,输出预设波长的光波;光信号采集装置,所述光信号采集装置用于采集所述预设波长的光波,并对所述光波进行降噪后转化为对应的光谱信号。
【技术特征摘要】
1.一种空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,包括:采集光路,所述采集光路用于从待测样本中采集预设谱段光信号;准直透镜,所述准直透镜用于对所述预设谱段光信号进行准直处理后,输出平行光束;法珀腔,所述法珀腔用于对所述平行光束进行滤波,输出预设波长的光波;光信号采集装置,所述光信号采集装置用于采集所述预设波长的光波,并对所述光波进行降噪后转化为对应的光谱信号。2.根据权利要求1所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述采集光路由光纤探头或消色差物镜组构成,其中,所述光纤探头的出射光或所述消色差物镜组像方的数值孔径与所述准直透镜的物方数值孔径相匹配。3.根据权利要求2所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,所述准直透镜与所述光纤探头的末端或与所述消色差物镜组的后焦点保持一个焦距的距离。4.根据权利要求1-3任一项所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述准直透镜由单个非球面镜或单透镜或双胶合透镜或准直透镜组或微透镜阵列或柱面镜构成。5.根据权利要求1所述的空间光调制器的法布里-珀罗干涉式宽谱段选频采集装置,其特征在于,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴琼海,高彬,张晶,邵航,范静涛,
申请(专利权)人:清华大学,
类型:发明
国别省市:北京;11
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