【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅热场结构，尤其是一种ALD炉台高效多晶硅热场改进。
技术介绍
随着不可再生的传统能源日趋减少，光伏新能源日益受到重视，其中多晶硅太阳电池以其较高的性价比占据了大部分的市场份额，提高多晶硅电池转换效率和降低制造成本仍是光伏行业亟待解决了两大瓶颈；多晶硅电池片的主体是多晶硅片。目前高效多晶硅片是多晶硅片的主流。制造高效多晶硅片的关键是多晶硅铸锭环节，即使用高效多晶硅铸锭技术制造的多晶硅片。作为决定多晶硅铸锭晶体生长均匀性的热场保温结构，在多晶硅铸锭品质提高方面潜力很大。
技术实现思路
技术目的：针对上述问题，本技术的目的提供一种结构简单，侧壁保温效果好，热场只有纵向温度梯度的ALD炉台高效多晶硅热场改进。技术方案：为了解决以上问题，本技术提供一种ALD炉台高效多晶硅热场改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板以及设于石墨护板外的热场，所述的石墨护板与热场之间的空隙内填充保温结构，所述保温结构由层叠式的保温层组成；本技术结构简单，通过对在坩埚外侧石墨护板与热场之间的空隙中设置保温结构；可改善侧壁保温效果，实现热场只有纵向温度梯度。所述的保温层为石墨硬毡或石墨软毡的一种或两种；保温结构可由石墨硬毡或石墨软毡单独层叠而成；也可由石墨硬毡或石墨软毡混合层叠而成。所述的保温结构的高度为H构件=H坩埚±10cm。有益效果：与现有技术相比，本技术具有以下优点：1.保温效果好：通过对在坩埚外侧石墨护板...
【技术保护点】
一种ALD炉台高效多晶硅热场（2）改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板（1）以及设于石墨护板（1）外的热场（2），其特征在于：所述的石墨护板（1）与热场（2）之间的空隙内填充保温结构（3），所述保温结构（3）由层叠式的保温层（31）组成。
【技术特征摘要】
1.一种ALD炉台高效多晶硅热场（2）改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板（1）以及设于
石墨护板（1）外的热场（2），其特征在于：所述的石墨护板（1）与热场（2）之间的空隙内填充
保温结构（3），所述保温结构（3）由层叠式的保温层（31）组成。
2.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋江，郭宽新，张斌，
申请(专利权)人：奥特斯维能源太仓有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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