【技术实现步骤摘要】
对相关申请案的交叉参考本申请案主张2014年11月18日在韩国知识产权局申请的韩国专利申请案第10-2014-0160691号的权益,所述申请案的揭示内容的全文以引用方式并入本文中。
一或多个示范性实施例是关于压电分配器以及一种方法,且更明确地说是关于包含通过使用压电元件作为致动器来分配粘性液体的压电泵的压电分配器以及校准压电分配器的操作冲程的方法。
技术介绍
分配器供应液体溶液(诸如,预定量的水、油或树脂),且用于不同领域,例如,半导体加工或医学领域。具体来说,分配器频繁用于半导体加工的底胶加工,即用树脂填充半导体装置的封装。在制造发光二极管(lightemittingdiode,LED)装置的过程中,分配器用于将磷光溶液涂布于LED芯片的过程中,所述磷光溶液是磷光材料以及树脂的混合物。在如上文所描述的分配器中,收纳粘性液体并在准确位置处分配固定量的粘性液体的泵用作核心装置。例如螺旋泵以及线性泵的各种泵结构可用。最近,已开发压电元件用作致动器的压电泵并将其用于执行半导体加工或其类似者中的快速分配操作。KR10-1301107(2013年8月14日公布)揭示包含分离地耦接至彼此的泵体以及阀体的压电泵。铰链轴安装于泵体中,且水平地延伸的拉杆相对于铰链轴可旋转地安装。垂直地延伸的阀杆嵌入阀体中。拉杆以及阀杆彼此连接,使得当拉杆相对于铰链轴旋转时,阀杆垂直地提升或降低。一对压电致动器安装于泵体中且其相对于铰链轴旋 ...
【技术保护点】
一种压电分配器,其特征在于包括:泵体;排出器具,其包含相对于安装于所述泵体中的铰链轴可旋转地安装的拉杆以及根据所述拉杆的旋转可提升地连接到所述拉杆的阀杆;压电致动器,其具有安装于所述泵体中且可接触所述拉杆的末端,其中当将电压施加到所述压电致动器时,所述压电致动器的长度增加且所述压电致动器加压所述拉杆以便相对于所述铰链轴旋转所述拉杆;阀体,其包含所述阀杆的末端嵌入其中且存储粘性液体的贮存器、所述粘性液体通过其流动到所述贮存器中的入口以及所述贮存器的所述粘性液体根据所述贮存器中的所述阀杆的推进以及后退而通过其排出的排出出口;移位测量传感器,其安装于所述泵体中且测量所述排出器具的所述拉杆的操作移位;以及控制器,其用于计算基于所述移位测量传感器的所述拉杆的所述所测量操作移位计算的所述排出器具的所述阀杆的操作冲程S_o,其中所述阀杆的操作冲程S_o为所述阀杆的垂直操作移位,与所述阀杆的预设初始操作冲程S_i之间的差异,并控制待施加到所述压电致动器的电压以便通过偏移所述阀杆的所述操作冲程来校准所述阀杆的所述操作冲程。
【技术特征摘要】
2014.11.18 KR 10-2014-01606911.一种压电分配器,其特征在于包括:
泵体;
排出器具,其包含相对于安装于所述泵体中的铰链轴可旋转地安装的拉杆以及根据所
述拉杆的旋转可提升地连接到所述拉杆的阀杆;
压电致动器,其具有安装于所述泵体中且可接触所述拉杆的末端,其中当将电压施加
到所述压电致动器时,所述压电致动器的长度增加且所述压电致动器加压所述拉杆以便相
对于所述铰链轴旋转所述拉杆;
阀体,其包含所述阀杆的末端嵌入其中且存储粘性液体的贮存器、所述粘性液体通过
其流动到所述贮存器中的入口以及所述贮存器的所述粘性液体根据所述贮存器中的所述
阀杆的推进以及后退而通过其排出的排出出口;
移位测量传感器,其安装于所述泵体中且测量所述排出器具的所述拉杆的操作移位;
以及
控制器,其用于计算基于所述移位测量传感器的所述拉杆的所述所测量操作移位计算
的所述排出器具的所述阀杆的操作冲程S_o,其中所述阀杆的操作冲程S_o为所述阀杆的垂
直操作移位,与所述阀杆的预设初始操作冲程S_i之间的差异,并控制待施加到所述压电致
动器的电压以便通过偏移所述阀杆的所述操作冲程来校准所述阀杆的所述操作冲程。
2.根据权利要求1所述的压电分配器,其进一步包括显示使用所述控制器所计算的所
述阀杆的所述操作冲程S_o的显示器。
3.根据权利要求2所述的压电分配器,其进一步包括经由其输入所述阀杆的所述操作
冲程的偏移值的输入装置,
其中所述控制器使所述阀杆的所述操作冲程偏移通过使用所述输入装置所接收的所
述偏移值。
4.根据权利要求1所述的压电分配器,其中所述控制器通过实时接收所述移位测量传
感器的所述拉杆的所测量的所述操作移位偏移所述阀杆的所述操作冲程来校准所述阀杆
的所述操作冲程。
5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:洪承珉,李汉晟,
申请(专利权)人:普罗科技有限公司,
类型:发明
国别省市:韩国;KR
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