具有管型内电极的电流体动力泵头组合制造技术

本发明专利技术涉及一种电流体动力泵头组合，更详细而言涉及一种对粘性溶液施加电位差并通过喷嘴分配粘性溶液的具有管型内电极的电

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有管型内电极的电流体动力泵头组合


[0001]本专利技术涉及一种电流体动力泵头组合，更详细而言涉及一种对粘性溶液施加电位差并通过喷嘴分配粘性溶液的具有管型内电极的电
‑
流体动力
(Electro Hydro Dynamic
，
EHD)
泵头组合
。

技术介绍

[0002]以高速定量对黏性溶液进行分配的泵广泛用于包括半导体制程等的各种
中
。
[0003]如上所述，分配黏性溶液的泵使用螺旋
(Auger)
泵
、
气压泵
、
压电
(piezo)
泵
、
喷墨
(inkjet)
泵等各种形态与结构的泵
。
[0004]为了更加精巧地调整黏性溶液的分配容量且将微细线宽的图案分配至材料，亦存在使用电流体动力
(Electro Hydro Dynamic
，
EHD)
泵的情况
。
[0005]电流体动力泵为利用由对存储于存储部的粘性溶液施加高电压产生的电场带来的能量
、
通过喷嘴喷出黏性溶液的泵
。
[0006]如上所述的电流体动力泵可以微细容量喷出粘性溶液，但存在分配特性因溶液的粘性或周边环境
、
电极的形状等重要原因而受到很大影响的缺点
。
[0007]因此，为了有效地用于半导体制程等各种领域，需要以下结构的具有管型内电极的电流体动力泵头组合：亦可容易分配较高粘度的粘性溶液，且可较容易地控制黏性溶液的喷出形状
、
图案
、
流量等，同时可保持稳定的分配特性
。

技术实现思路

[0008]要解决的技术问题
[0009]本专利技术是为了解决如上所述的问题点而提出，目的在于提供一种具有分配粘性溶液的性能优异且亦可稳定地保持分配特性
、
且容易调整分配特性的结构的具有管型内电极的电流体动力泵头组合
。
[0010]解决问题的技术手段
[0011]用于解决如上所述的目的的本专利技术的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的特征在于包括：存储部，存储黏性溶液；绝缘喷嘴，为绝缘材质，连接至所述存储部并以在长度方向上延伸的方式形成，以喷出所述黏性溶液；内电极，配置于将存储于所述存储部的所述粘性溶液传递至所述绝缘喷嘴的路径上；以及外电极，以包围所述绝缘喷嘴的至少一部分的方式形成且以向上下延伸的方式形成
。
[0012]专利技术技术效果
[0013]本专利技术的具有管型内电极的电流体动力泵头组合具有可使
EHD
泵容易对分配粘性溶液的条件进行调整，从而提高分配品质的效果
。
[0014]本专利技术的具有管型内电极的电流体动力泵头组合具有可稳定地保持分配粘性溶液的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的分配品质的效果
。
附图说明
[0015]图1是根据本专利技术的一实施例的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的立体图
。
[0016]图2及图3是如图1所示的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的正面图
。
[0017]图4及图5分别是如图1所示的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的
VI
‑
VI
线剖面图与局部放大图
。
[0018]图6是针对如图1所示的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的一部分的正面图
。
[0019]图7是将如图1所示的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的一部分放大的剖面图
。
[0020]图8是用于说明将如图1所示的具有管型内电极的电流体动力泵头组合安装至分配器来使用的状态的图
。
[0021]图9示出关于如图1所示的电流体动力泵头组合的外电极的另一结构
。
具体实施方式
[0022]以下，参照附图，对根据本专利技术的一实施例的具有管型内电极的电流体动力泵头组合进行说明
。
[0023]本专利技术的具有管型内电极的电流体动力泵头组合用于将粘性溶液涂布至配置于基底上的材料
。
在接地的基底上配置有材料的状态下，若对粘性溶液施加电压，则因基底与粘性溶液之间的电位差而使粘性溶液通过喷嘴喷出至材料上
。
[0024]图1是根据本专利技术的一实施例的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的立体图，图2及图3是如图1所示的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的正面图，图4及图5分别是如图1所示的具有管型内电极的电流体动力泵头组合的
VI
‑
VI
线剖面图与局部放大图
。
[0025]参照图1至图5，根据本实施例的具有管型内电极的电流体动力泵头组合包括存储部
(110)、
内电极
(310)、
绝缘喷嘴
(330)
以及外电极
(350)
而形成
。
[0026]存储部
(110)
为存储用于通过绝缘喷嘴
(330)
喷出的粘性溶液的构成
。
存储部
(110)
可以可存储粘性溶液的各种形态构成
。
亦可使用通过如管
(tube)
般的管道对存储于另外的容器中的粘性溶液进行传递的形态的存储部
。
在本实施例中，如图1至图5所示，以使用由圆筒形盒
(cartridge)
形态的容器结构形成的存储部
(110)
的情况为例进行说明
。
可在如上所述般的存储部
(110)
连接可对存储于内部的粘性溶液施加压力的气压调节器
(regulator)
来使用
。
[0027]如图4及图5所示，在存储部
(110)
的下端设置有内电极
(310)。
内电极
(310)
由导电材质形成，以使得可对存储于存储部
(110)
的黏性溶液施加电压
。
本实施例的内电极
(310)
以沿长度方向内径与厚度固定地形成的金属管道形态形成
。
通过如上所述的结构，内电极
(310)
可对存储于存储部
(110)
的粘性溶液施加电压，同时将粘性溶液传递至绝缘喷嘴
(330)。
[0028]如图
4、
图5及图7所示，绝缘喷嘴
(330)
以在长度方向上延伸的方式形成
。
绝缘喷嘴
(330)
以至少一部分越向下侧内径越减小的方式形成的情况为佳
。
于本实施例的情况，如图7所示，绝缘喷嘴
(33本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种具有管型内电极的电流体动力泵头组合，包括：存储部，存储黏性溶液；绝缘喷嘴，为绝缘材质，连接至所述存储部并以在长度方向上延伸的方式形成，以喷出所述黏性溶液；内电极，配置于将存储于所述存储部的所述黏性溶液传递至所述绝缘喷嘴的路径上，且以管道形态形成以能够将存储于所述存储部的所述黏性溶液传递至所述绝缘喷嘴；以及外电极，配置于所述绝缘喷嘴的外侧
。2.
根据权利要求1所述的具有管型内电极的电流体动力泵头组合，其中所述内电极至少一部分配置于所述绝缘喷嘴的内部
。3.
根据权利要求2所述的具有管型内电极的电流体动力泵头组合，其中所述绝缘喷嘴以至少一部分越向下侧内径越减小的方式形成
。4.
根据权利要求3所述的具有管型内电极的电流体动力泵头组合，其中所述内电极以沿长度方向内径固定的圆筒形形成
。5.
根据权利要求4所述的具有管型内电极的电流体动力泵头组合，其中所述绝缘喷嘴的上部以沿长度方向内径固定的方式形成，且下部以越向下侧内径越减小的方式形成
。6.
根据权利要求5所述的具有管型内电极的电流体动力泵头组合，其中所述内电极以以下方式配置：仅插入至所述绝缘喷嘴中在长度方向上内径固定地形成的上部
。7.
根据权利要求4所述的具有管型内电极的电流体动力泵头组合，其中所述绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪承珉，金建熙，李大镛，
申请(专利权)人：普罗科技有限公司，
类型：发明
国别省市：