感光性导电膜、使用了该感光性导电膜的导电图案的形成方法及导电图案基板技术

本发明专利技术的导电图案的形成方法具备下述工序：准备依次具备含有导电性纤维的导电层、含有感光性树脂及无机填料的感光性树脂层以及支撑膜的感光性导电膜，按照从导电层一侧密合在基材上的方式将导电层及感光性树脂层层压的工序；和通过将基材上的感光性树脂层及导电层进行曝光及显影，从而形成导电图案的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及感光性导电膜、使用了该感光性导电膜的导电图案的形成方法以及导电图案基板，特别是涉及作为液晶显示元件等的平板显示器、触摸面板(触摸屏)、太阳能电池、照明等装置的电极配线使用的导电图案的形成方法以及导电图案基板。
技术介绍
在个人电脑、电视等大型电子设备、汽车导航系统、手机、电子辞典等小型电子设备、OA、FA设备等的显示设备等中使用液晶显示元件、触摸面板等。这些液晶显示元件、触摸面板中，要求为透明的配线、像素电极或端子的一部分使用了透明导电膜。另外，在太阳能电池、照明等器件等中也使用透明导电膜。以往，从对可见光显示高透过率的方面出发，在透明导电膜用材料中使用氧化铟锡(Indium-Tin-Oxide：ITO)、氧化铟以及氧化锡等。设置在液晶显示元件用基板等上的电极以对由上述材料构成的透明导电膜进行布图而成的电极为主流。作为透明导电膜的布图方法，通常为如下方法：在基板等基材上形成透明导电膜后，通过光刻法形成抗蚀剂图案，通过湿式蚀刻除去导电膜的规定部分而形成导电图案。在ITO膜和氧化铟膜的情况下，蚀刻液经常使用由盐酸和氯化铁这2种液体形成的混合液。ITO膜、氧化锡膜等通常通过溅射法形成，但根据溅射方式的差异、溅射功率、气压、基板温度、气氛气体的种类等的不同，透明导电膜的性质容易发生变化。由溅射条件的变动产生的透明导电膜的膜质的差异成为对透明导电膜进行湿式蚀刻时蚀刻速度出现偏差的原因，容易由布图不良导致制品的成品率降低。另外，上述导电图案的形成方法具有溅射工序、抗蚀剂形成工序以及蚀刻工序，工序长，在成本方面也成为很大负担。最近，为了消除上述问题，进行了使用代替ITO、氧化铟以及氧化锡等的材料来形成透明的导电图案的尝试。例如，下述专利文献1中公开了如下的导电图案的形成方法：在基板上形成含有银纤维等导电性纤维的导电层后，在导电层上形成感光性树脂层，从其上方隔着图案掩模进行曝光、显影。专利文献2中公开了如下方法：使用至少包含设置于支撑体上的可剥离的导电层和导电层上的粘接剂层的转印用导电性膜，利用该粘接剂层将导电层粘贴在基板上，还公开了转印后的导电层可以布图。专利文献3中公开了如下方法：通过采用使用具备设置在支撑膜上的导电层和设置在该导电层上的感光性树脂层的感光性导电膜、以感光性树脂层密合在基板上的方式进行层压的方法，由此形成导电图案。现有技术文献技术文献专利文献1：美国专利申请公开第2007/0074316号说明书专利文献2：日本特开2007-257963号公报专利文献3：国际公开第2010/021224号
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，专利文献1和2记载的方法存在形成导电图案的工序繁杂的问题。另一方面，专利文献3中记载的方法是能够更简便地形成导电图案的方法，但在基板与导电层之间夹着感光性树脂层，因此无法将设置在基板表面上的连接端子等与导电图案简便地连接。专利文献2中记载的方法也存在上述问题。于是，作为将设置在基板表面上的连接端子等与导电图案简便连接的方法，本专利技术人们发现了如下方法：使用在支撑膜上依次设置感光性树脂层及导电层而成的感光性导电膜，按照导电层与基板密合的方式从导电层一侧进行层压。根据该导电图案的形成方法，可以在基材上以充分的析像度、简便地形成表面电阻率足够小的导电图案。另外，可以将设置在基板表面上的连接端子等与导电图案简便地连接。但是，本专利技术人们所发现的上述方法在进一步降低设置在基板表面上的连接端子等与导电图案之间的接触电阻值的方面还有改善的余地。本专利技术提供可以在基材上以充分的析像度、简便地形成表面电阻率足够小的导电图案、而且可以形成即使在与设置于基材表面的连接端子电连接时接触电阻也足够低的导电图案的导电图案的形成方法。另外还提供可以用于上述导电图案的形成方法中的感光性导电膜及导电图案基板。用于解决课题的手段本专利技术的导电图案的形成方法的特征在于，其具备下述工序：准备依次具备含有导电性纤维的导电层、含有感光性树脂及无机填料的感光性树脂层以及支撑膜的感光性导电膜，按照从导电层一侧密合在基材上的方式将导电层及感光性树脂层层压的工序；和通过将基材上的感光性树脂层及导电层进行曝光及显影，从而形成导电图案的工序。根据本专利技术的导电图案的形成方法，可以在基材上以充分的析像度、简便地形成表面电阻率足够小的导电图案、而且可以形成即使在与设置于基材表面的连接端子电连接时接触电阻也足够低的导电图案。此外，对于接触电阻得以降低的理由，本专利技术人们认为这是由于，通过感光性树脂层含有无机填料，层压时的压力充分地传递到了导电层内的导电性纤维上。上述感光性树脂层优选含有粘合剂聚合物、具有烯属不饱和键的光聚合性化合物及光聚合引发剂。上述粘合剂聚合物优选具有羧基。通过含有具有羧基的粘合剂聚合物，可以使上述感光性树脂层的碱显影性进一步提高。上述导电层及上述感光性树脂层的层叠体优选在450～650nm的波长区域内的最小透光率为80％以上。导电层及感光性树脂层满足该条件时，显示器平板等的高亮度化变得容易。上述无机填料优选含有一次粒径为1～1000nm的无机填料。通过无机填料含有具有这样一次粒径的无机填料，可以进一步将层压时的压力传递到导电层内的导电性纤维上。上述无机填料的平均一次粒径优选为200nm以下。通过使无机填料的平均一次粒径在这样的范围，可以形成透明性更优异的导电图案，另外，由于光散射也变少，因此也可以使图案形成性提高。本专利技术还提供一种导电图案基板，其具备基板和通过上述本专利技术的导电图案的形成方法形成在所述基板上的导电图案。这样的导电图案基板通过上述本专利技术的导电图案的形成方法而具备表面电阻率足够小、以充分的析像度简便形成的导电图案，即使在导电图案与设置在基板表面上的连接端子电连接时，接触电阻也足够低。本专利技术还提供一种导电图案基板，其具备基板和设置在基板上的导电图案，所述导电图案由含有导电性纤维的导电层及设置在导电层上的含有无机填料的树脂固化层构成。这样的导电图案基板即使在导电图案与设置在基板表面上的连接端子电连接时，其接触电阻也足够低。本专利技术还提供一种感光性导电膜，其依次具备支撑膜、含有导电性纤维的导电层、以及含有感光性树脂及无机填料的感光性树脂层。根据本专利技术的感光性导电膜，通过按照从所述导电层一侧密合在基材上的方式将导电层及感光性树脂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导电图案的形成方法，其具备下述工序：准备依次具备含有导电性纤维的导电层、含有感光性树脂及无机填料的感光性树脂层以及支撑膜的感光性导电膜，按照从所述导电层一侧密合在基材上的方式将所述导电层及所述感光性树脂层层压的工序；和通过将所述基材上的所述感光性树脂层及所述导电层进行曝光及显影，从而形成导电图案的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.10.03 JP 2013-2080591.一种导电图案的形成方法，其具备下述工序：
准备依次具备含有导电性纤维的导电层、含有感光性树脂及无机填料
的感光性树脂层以及支撑膜的感光性导电膜，按照从所述导电层一侧密合
在基材上的方式将所述导电层及所述感光性树脂层层压的工序；和
通过将所述基材上的所述感光性树脂层及所述导电层进行曝光及显
影，从而形成导电图案的工序。
2.根据权利要求1所述的导电图案的形成方法，其中，所述感光性树
脂层含有粘合剂聚合物、具有烯属不饱和键的光聚合性化合物及光聚合引
发剂。
3.根据权利要求2所述的导电图案的形成方法，其中，所述粘合剂聚
合物具有羧基。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的导电图案的形成方法，其中，所
述导电层及所述感光性树脂层的层叠体在450～650nm的波长区域内的最小
透光率为80％以上。
5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：海老原雅彦，太田绘美子，村上泰治，山崎宏，田仲裕之，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP