【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种晶圆定位装置。
技术介绍
光刻涂胶工艺是将晶圆放置在光刻涂胶机的载片台上,液态光刻胶滴在晶圆中心,载片台带动晶圆高速旋转,光刻胶依靠离心力向外扩展,均匀涂布在晶圆表面的工艺。晶圆中心和载片台中心必须高度重合,以确保晶圆表面的光刻胶厚度均匀一致,没有晕圈慧尾等现象,从而保证图形能够精确转移。目前,在作业6寸及6寸以上直径的晶圆时,光刻涂胶机均设计为全自动涂胶,主要通过坐标或红外检测等技术手段,由机械手臂完成晶圆中心和载片台中心的对准,在作业2寸、3寸、4寸直径晶圆时,出于成本考虑,光刻涂胶机均设计为手动操作,晶圆中心和载片台中心需要手动对准。生产过程中在采用手动对准晶圆中心和载片台中心时,很难保证两个中心的完全重合,从而影响了所涂覆的光刻胶厚度的均匀性,工艺稳定性无法保证,并且手动对准过程需要反复调整晶圆位置,确认是否对准,耗时较久,工作效率较低。
技术实现思路
本技术设计了一种用于晶圆加工的轴心定位装置,省去了在涂胶工艺过程中手动对准需要反复对准调整和确认的过程。本技术的技术方案如下:一种用于晶圆加工的轴心定位辅助工具,具有弯折结构,主要由一组基础立面、一个基础台面和一组限位立面依次弯折形成,基础立面和限位立面均为平直的面;该弯折结构的水平投影形状是基于四边形缺角形成的多边形,所述四边形中与缺角相邻的两个角均为直角,所述四边形中与缺角相对的一个角即所述一组限位立面形成的夹角,因缺角产生的两个邻边即所述一组基础立面;所述一组基础立面形成的夹角与所述一组限位立面形成的夹角相等;记所述一组基础立面所确立的内切圆的圆心为O点,半径为r,所述一组限位立面所确 ...
【技术保护点】
一种用于晶圆加工的轴心定位辅助工具,其特征在于:该辅助工具具有弯折结构,主要由一组基础立面、一个基础台面和一组限位立面依次弯折形成,基础立面和限位立面均为平直的面;该弯折结构的水平投影形状是基于四边形缺角形成的多边形,所述四边形中与缺角相邻的两个角均为直角,所述四边形中与缺角相对的一个角即所述一组限位立面形成的夹角,因缺角产生的两个邻边即所述一组基础立面;所述一组基础立面形成的夹角与所述一组限位立面形成的夹角相等;记所述一组基础立面所确立的内切圆的圆心为O点,半径为r,所述一组限位立面所确立的第二内切圆的圆心为P点,半径为R;则O点与P点同轴;半径R与所述晶圆的半径相等;弯折结构中所述基础台面的形状满足与载片台下表面贴合;基础立面与限位立面的距离满足所述一组基础立面与载片台支撑部侧壁相切的同时,所述一组限位立面与晶圆边缘相切。
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工的轴心定位辅助工具,其特征在于:该辅助工具具有弯折结构,主要由一组基础立面、一个基础台面和一组限位立面依次弯折形成,基础立面和限位立面均为平直的面;该弯折结构的水平投影形状是基于四边形缺角形成的多边形,所述四边形中与缺角相邻的两个角均为直角,所述四边形中与缺角相对的一个角即所述一组限位立面形成的夹角,因缺角产生的两个邻边即所述一组基础立面;所述一组基础立面形成的夹角与所述一组限位立面形成的夹角相等;记所述一组基础立面所确立的内切圆的圆心为O点,半径为r,所述一组限位立面所确立的第二内切圆的圆心为P点,半径为R;则O点与P点同轴;半...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙丞,王华磊,吴建耀,杨国文,
申请(专利权)人:西安立芯光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:陕西;61
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