The utility model relates to a device for low temperature gas adsorption pump, which comprises a central plate (1), the first array (2), cold umbrella piece second arrayed cold umbrella piece (20), third array cold (21), fourth pieces of umbrella arrayed cold umbrella piece (22), the the first array of cold tablets (2), second umbrella arrayed cold umbrella piece (20), third array cold (21), fourth pieces of umbrella arrayed cold umbrella piece (22) arranged in the center of the board (1) around, and form a circular or polygonal structure, the center of the board (1 for the circular). The technical effect of the utility model is improved, and the contact area of the gas adsorption device and the gas is improved, and the adsorption efficiency of the gas is effectively increased.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到一种低温泵，尤其涉及到一种低温泵的气体吸附装置。
技术介绍
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚(10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，...
【技术保护点】
一种低温泵的气体吸附装置，其特征在于，所述气体吸附装置包括中心板（1）、第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22），所述第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22）排列设置在中心板（1）的四周，并形成圆形或正多边形结构。
【技术特征摘要】
2015.10.30 CN 20152085286121.一种低温泵的气体吸附装置，其特征在于，所述气体吸附装置包括中心板（1）、第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22），所述第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22）排列设置在中心板（1）的四周，并形成圆形或正多边形结构。2.根据权利要求1所述的一种低温泵的气体吸附装置，其特征在于，所述中心板（1）为圆形板。3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：毛文瑞，
申请(专利权)人：上海优拓低温技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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