【技术实现步骤摘要】
本技术半导体制造设备
,特别是涉及一种超纯水变频控制系统及超纯水供应系统。
技术介绍
在现有半导体工艺中,超纯水并应用于各个生产环节,超纯水供应系统从脱气塔到末端处理水箱之间的水泵(pump)均通过MCC(电动机控制中心)控制柜来实现对水泵的启动、运行和故障监控。然而,目前的超纯水供应系统采用MCC控制柜控制水泵存在如下问题:1.超纯水系统是1天24小时不间断运行,MCC控制柜无法实现对水泵频率的控制,从而浪费了大量的电力能源;2.MAU(新风空调机组)空调补水是从所述超纯水系统中供应的,MAU的进水压力要求非常严格,供应压力过高或过低都将直接影响到MAU系统的稳定性,从而影响到整个生产车间的新风;3.MCC控制柜的软启动比较容易损坏,且成本较高,备品的交货周期较长,达到2到3个月左右;4.MCC控制柜运行电流较大,只能通过水泵出口阀门的开度来控制水泵的运行电流,水泵的阀门不能被完全打开,当运行电流超过65A时,电机将会有烧焦味产生,线圈容易老化,从而影响了电机的使用寿命;5.水泵在正常切换时,MCC控制柜空开会经常过载跳电。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点,本技术提供一种超纯水变频控制系统及超纯水供应系统,用于解决现有技术中的超纯水供应系统使用MCC控制柜对水泵的启动、运行和故障监控而导致的一系列问题。为实现上述目的及其他相关目的,本技术提供一种超纯水变频控制系统,所述超纯水变频控制系统包括:水泵组、压力传感器、信号控制模块、上位机及变频器;其中,所述压力传感器位于所述水泵组的出口的管路上,适于检测所述水泵组出口处的压力;所述信号控制模块与所述 ...
【技术保护点】
一种超纯水变频控制系统,其特征在于,所述超纯水变频控制系统包括:水泵组、压力传感器、信号控制模块、上位机及变频器;其中,所述压力传感器位于所述水泵组的出口的管路上,适于检测所述水泵组出口处的压力;所述信号控制模块与所述压力传感器相连接,适于接收所述压力传感器检测到的所述水泵组出口处的压力、设定参考压力,并将所述压力传感器检测到的所述水泵组出口处的压力与所述参考压力进行对比换算,进而产生控制信号并输出;所述上位机与所述变频器相连接,适于控制所述变频器的开启与关闭;所述变频器与所述水泵组、所述信号控制模块及所述上位机相连接,适于依据所述信号控制模块输出的控制信号控制所述水泵组的工作频率。
【技术特征摘要】
1.一种超纯水变频控制系统,其特征在于,所述超纯水变频控制系统包括:水泵组、压力传感器、信号控制模块、上位机及变频器;其中,所述压力传感器位于所述水泵组的出口的管路上,适于检测所述水泵组出口处的压力;所述信号控制模块与所述压力传感器相连接,适于接收所述压力传感器检测到的所述水泵组出口处的压力、设定参考压力,并将所述压力传感器检测到的所述水泵组出口处的压力与所述参考压力进行对比换算,进而产生控制信号并输出;所述上位机与所述变频器相连接,适于控制所述变频器的开启与关闭;所述变频器与所述水泵组、所述信号控制模块及所述上位机相连接,适于依据所述信号控制模块输出的控制信号控制所述水泵组的工作频率。2.根据权利要求1所述的超纯水变频控制系统,其特征在于:所述信号控制模块包括模拟量信号分配器及PID控制器;所述模拟量信号分配器包括输入端及输出端,所述模拟量信号分配器的输入端与所述压力传感器相连接,适于接收所述压力传感器检测到的所述水泵组出口处的压力,依据所述压力产生模拟量信号,并将所述模拟量信号分配至相应的所述PID控制器;所述PID控制器包括输入端及输出端,所述PID控制器的输入端与所述模拟量信号分配器的输出端相连接,所述PID控制器的输出端与所述变频器相连接,适于设定所述参考压力,并将所述模拟量信号分配器分配的模拟量信号与所述参考压力进行对比换算,进而产生控制信号并输出至所述变频器。3.根据权利要求2所述的超纯水变频控制系统,其特征在于:所述水泵组包括多个并联的水泵。4.根据权利要求3所述的超纯水变频控制系统,其特征在于:所述变频器及所述PID控制器的数量均为多个,且所述水泵、所述变频器及所述PID控制器的数量相同。5.根据权利要求1所述的超纯水变频控制系统,其特征在于:每一所述水泵组出口处的管路上设有两个所述压力传感器,一个所述压力传感器与所述上位机相连接,另一个所述压力传感器与所述信号控制模块相连接。6.根据权利要求1所述的超纯水变频控制系统,其特征在于:所述变频器包括变频控制模块,所述变频控制模块包括:第一端口、第二端口、第三端口、第四端口、第五端口、第六端口、第七端口、第八端口、第一开关、第二开关及第三开关;其中,所述第一端口与所述第二端口经由所述第一开关相连接,所述第一开关在所述上位机...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱江宁,宋智云,彭志辉,文恒毅,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造北京有限公司,中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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