【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体功率器件,特别是涉及一种分立的功率mos场效应管及其制造方法。
技术介绍
传统的分立的功率mos场效应管制造方法通常包含7层光刻终端环光刻、有源区光刻、多晶硅光刻、N+光刻、接触孔光刻、金属光刻和钝化层光刻共7层光刻,而在N+注入时需要使用N+光刻来确定N+注入区域,否则,不该被注入的P+区域会被注入N+,由于通常N+浓度远高于P+浓度,这就会导致在接触孔光刻后的P+注入无法形成,则无法形成P+接触区域,工艺繁琐且不易形成,如图1所示。功率MOS的制造技术复杂度以及成本高低主要取决于光刻层次的多少,光刻层次多,则制造流程复杂,成本较高,反之,则制造流程简化,成本较低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种分立的功率mos场效应管及其制造方法,以克服现有技术的不足。为达到上述目的,本专利技术采用如下技术方案:一种分立的功率mos场效应管的制造方法,具体包括以下步骤:步骤1),首先对衬底外延层外侧进行氧化,再进行终端工艺形成终端;步骤2),然后在外延层中形成源区;步骤3),通过接触孔光刻选择要形成接触孔的区域,并进行接触孔腐蚀;步骤4),接触孔区域进行P+注入与原有P+区衔接形成P+区,然后进行金属淀积形成金属层,最终得到金属层与源区的N+和P+接触。进一步的,具体的,步骤1)中,对衬底外延层外侧进行氧化后依次进行终端环光刻、终端环注入、终端环推进、场氧化后形成终端。进一步的,步骤2)中,在需要形成源区的外延层中进行有源区光刻,然后进行有源区腐蚀,然后在待形成源区两侧进行JFET注入和栅氧生长,然后进行多晶硅淀积和多晶硅掺杂,然后对多晶 ...
【技术保护点】
一种分立的功率mos场效应管的制造方法,其特征在于,具体包括以下步骤:步骤1),首先对衬底外延层外侧进行氧化,再进行终端工艺形成终端;步骤2),然后在外延层中形成源区;步骤3),通过接触孔光刻选择要形成接触孔的区域,并进行接触孔腐蚀;步骤4),接触孔区域进行P+注入与原有P+区衔接形成P+区,然后进行金属淀积形成金属层,最终得到金属层与源区的N+和P+接触。
【技术特征摘要】
1.一种分立的功率mos场效应管的制造方法,其特征在于,具体包括以下步骤:步骤1),首先对衬底外延层外侧进行氧化,再进行终端工艺形成终端;步骤2),然后在外延层中形成源区;步骤3),通过接触孔光刻选择要形成接触孔的区域,并进行接触孔腐蚀;步骤4),接触孔区域进行P+注入与原有P+区衔接形成P+区,然后进行金属淀积形成金属层,最终得到金属层与源区的N+和P+接触。2.根据权利要求1所述的一种分立的功率mos场效应管的制造方法,其特征在于,具体的,步骤1)中,对衬底外延层外侧进行氧化后依次进行终端环光刻、终端环注入、终端环推进、场氧化后形成终端。3.根据权利要求1所述的一种分立的功率mos场效应管的制造方法,其特征在于,步骤2)中,在需要形成源区的外延层中进行有源区光刻,然后进行有源区腐蚀,然后在待形成源区两侧进行JFET注入和栅氧生长,然后进行多晶硅淀积和多晶硅掺杂,然后对多晶硅淀积后区域进行多晶硅光刻和多晶硅刻蚀,然后依次进行Pbody注入、Pbody推进、N+注入、P+注入、BPSG淀积、BPSG回流最终形成源区。4.根据权利要求1所述的一种分...
【专利技术属性】
技术研发人员:谭在超,罗寅,丁国华,邹望杰,
申请(专利权)人:西安锴威半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:陕西;61
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