光阻预烤炉加热器温度控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉加热装置，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品品质及生产合格率。其主要由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为一容槽状，位于支撑底板上方设有加热器，并可对热板进行加热，而该热板内设置有复数个温度感应器，以侦测热板各区域的温度，再利用每一温度感应器所侦测的温度作为参考值，以调整加热器的温度，使热板中央、环边或端边的温度一致，能将放置于热板上烘烤的玻璃基板都能达到均匀受热。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，其是利用复数个温度感应器，以调整加热器使热板表面的温度均匀一致。
技术介绍
按，玻璃基板是液晶显示装置(TFT-LCD)的主要制程原料，就是俗称的母玻璃或素玻璃，是一种高精密透明的电子零件，玻璃在液晶显示装置(TFT-LCD)产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆，因此液晶显示装置(TFT-LCD)产业对玻璃基板表面精度的要求近乎完美。其次，液晶显示装置(TFT-LCD)的制程是分别利用两块无碱玻璃基板，于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路，并将玻璃基板表面经过干式蚀刻，将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面，成为彩色滤色片，IC驱动电路则利用半导体制程，再将CMOS电路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能是做为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料，而液晶显示装置(TFT-LCD)制程需要真空蒸镀与蚀刻，所以玻璃基板，必须要能忍受强酸强碱的腐蚀、高温的制程环境，并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。因此，玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精细，其中，当涂抹光阻液后，需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发，此时，请配合参阅图1所示，该基板1进行烘烤时，先是将基板1放在热板11上，再凭借热板11的热度使玻璃基板1表面的化学物质挥发，在此过程中，其温度高达约摄氏70～150℃，且热板11的热源来自于底部的加热器12，而该加热器12则以1～15个区域设置在热板11下方，使热板11中央、环边或端边能尽量保持均衡的温度，然而，尽管热板11已经设置1～15个区域来控制温度，却还是无法在烘烤过程中保持均温，加上每一相邻区域的温度会互相干扰，使得烘烤效果不佳，而影响液晶显示装置的生产品质。有鉴于此，专利技术人特别针对加热装置进行改良，而研发一种凭借输入多点测量温度来使单一加热器可以进行更加精确的温度控制，以提升加热区域内的温度控制精度，当加热区域在温度偏离设定值时可以更快速的进行回复至设定范围内，以增加热板的均温性，并提高产品生产合格率，显为一理想的光阻预烤炉热板加热性性能提升的结构及控制方式的改良。
技术实现思路
本专利技术涉及一种光阻预烤炉其加热器的加热性能提升的改良，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品生产合格率。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，其主要由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为容槽状，底部设有一支撑底板，顶端面利用上盖板将其封闭成一加热空间，而该腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，在该腔体任一侧边开设有排风口，而该支撑底板上设有加热器，其利用电热丝产生热源，并在加热器上设置一热板，该热板为具有导热性的金属板，其特征在于：该热板上分成有复数个小分区，其由复数个独立的加热器投影于热板背面所产生，使得加热器能对每一小分区各别进行独立加热，且于每一小分区内或对应小分区的加热器内设置有复数个温度感应器，以侦测每一小分区内的热板的温度，并以此参考数据来调整加热器的加热与否。所述的光阻预烤炉加热器温度控制装置中：该热板分成16至60个小分区，热板的小分区底部各自设有相对应的加热器。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案还包括：一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，当腔体内进行烘烤作业时，先将玻璃基板由入口置入腔体内，然后将入口封闭，使腔体形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口，使空气进行流通，当烘烤一段时间后，该小分区中央的温度通常高于端边，而容易导致玻璃基板的受热不均，其特征在于：该热板的小分区的温度调整，其凭借每一小分区内或加热器内设置的复数个温度感应器来侦测热板的温度，用以感应每一小分区的各区域的温度数值，再经过演算后取得一温度，然后依据计算出的温度微调该小分区内的加热器温度，促使热板的每一小分区的温度都能达到均匀受热，有效提升玻璃基板生产合格率的需求。当光阻预烤炉腔体内进行烘烤作业时，是先将玻璃基板由入口置入腔体内，然后将入口封闭，使腔体形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口，以便于空气流通，而位于腔体内的热板，受加热器的加温，使其达到约70～150℃的温度，以将玻璃基板进行加热并使光阻内的溶剂挥发，当烘烤一段时间后，该热板每一小分区的温度会有些微的变化，一般来说，位于热板中央的温度通常高于端边，而容易导致玻璃基板的受热不均，此时维持热板的均温相当重要，虽然将热板分成多区加热可达到小分区的温度改善，但针对热板的小分区的温度调整，则需凭借在加热器或热板内设置的复数个温度感应器，其是能侦测加热器涵盖范围的热板内的温度，然后使该加热器能微调该涵盖范围内的温度，使热板上相对应的小分区内的温度达到均匀受热，有效提升产品生产合格率。附图说明图1是现有烘烤玻璃基板的剖面示意图；图2是本专利技术的立体图；图3是本专利技术的立体分解图；图4是本专利技术另一实施例图；图5是本专利技术烘烤时的剖面示意图；图6是本专利技术使用的示意图；图7是本专利技术多区域使用的示意图。附图标记说明：〔现有技术〕1-基板；11-热板；12-加热器；〔本专利技术〕2-腔体；20-上盖板；201-支撑底板；202-排风口；203-入口；21-加热器；22-热板；221-小分区；23-温度感应器；3-玻璃基板。具体实施方式首先，请参阅图2并配合图3所示，其主要由腔体2、热板22、加热器21及温度感应器23所组成，该腔体2为容槽状，位于底部设有支撑底板201，顶端面则利用上盖板20将其封闭成一加热空间，位于腔体2一侧设有入口203，供置入玻璃基板3，而于任一侧边开设有排风口202，并于支撑底板201上方设置有加热器21，其是利用电热丝来产生热源，再于加热器21上放置一热板22，使加热器21以复数个独立装置设置在热板22背面，而热板22为具有导热性的金属板，并凭借加热器21的数量投影在热板22背面，而形成复数个小分区221，即能利用加热器21以分区方式对热板22进行加热，尤其加热器21都是独立的温度控制，所以每一小分区221的温度可各别进行设定，特别在热板22及其每一小分区221内设置复数个温度感应器23，能侦测每一小分区221内不同位置的温度，并以此参考数据来调整加热器21的加热与否，而该温度感应器23也能设置在加热器21内，请配合参阅图4，该加热器21是以对应热板22的小分区221的数量设置，其每一小分区2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，其主要由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为容槽状，底部设有一支撑底板，顶端面利用上盖板将其封闭成一加热空间，而该腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，在该腔体任一侧边开设有排风口，而该支撑底板上设有加热器，其利用电热丝产生热源，并在加热器上设置一热板，该热板为具有导热性的金属板，其特征在于：该热板上分成有复数个小分区，其由复数个独立的加热器投影于热板背面所产生，使得加热器能对每一小分区各别进行独立加热，且于每一小分区内或对应小分区的加热器内设置有复数个温度感应器，以侦测每一小分区内的热板的温度，并以此参考数据来调整加热器的加热与否。

【技术特征摘要】
1.一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，其主要由腔体、加热器、热板及
温度感应器所组成，该腔体为容槽状，底部设有一支撑底板，顶端面利用上盖
板将其封闭成一加热空间，而该腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，在该腔
体任一侧边开设有排风口，而该支撑底板上设有加热器，其利用电热丝产生热
源，并在加热器上设置一热板，该热板为具有导热性的金属板，其特征在于：
该热板上分成有复数个小分区，其由复数个独立的加热器投影于热板背面所产
生，使得加热器能对每一小分区各别进行独立加热，且于每一小分区内或对应
小分区的加热器内设置有复数个温度感应器，以侦测每一小分区内的热板的温
度，并以此参考数据来调整加热器的加热与否。
2.根据权利要求1所述的光阻预烤炉加热器温度控制装...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东明，
申请(专利权)人：李东明，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71