一种基于REBCO模版的SERS基底及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于REBCO模版的SERS基底及其制备方法，所述SERS基底包括REBCO模版层及所述REBCO模版层外表镀覆的金属修饰层；其中，所述REBCO模版层的厚度在10～2000nm连续可调，结构从非晶到多晶，a、b轴取向及c轴取向或混合取向任意可调；所述金属修饰层为金属薄膜或者金属颗粒层；所述金属修饰层的厚度为5～200nm。本发明专利技术的基底及其制备方法与现有技术相比，优势在于：利用本发明专利技术制备的SERS基底均一性好，灵敏度高，且具有金属柔性特征，可满足多种应用需求；REBCO生长机理和生长方法已被大量研究，精确控制下的产业化生产容易实现；同时本发明专利技术的制备方法简单，生长过程中的实验参数相对化学方法更加容易控制，产业化制备成本可以低于0.5$/cm2。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于REBCO模版的SERS基底及其制备方法，即一种利用稀土氧化物涂层导体作为模板制备的SERS基底及其制备方法，特别是涉及利用脉冲激光沉积技术(以后简称PLD)和化学方法制备具有一定取向和缺陷的稀土氧化物(以后简称REBCO，RE＝稀土元素)涂层，然后以此为模板在柔性基底上制备均匀性好、增强效果明显、成本低且可重复性强的SERS基底的方法。
技术介绍
表面增强拉曼光谱(SERS)是一种非常强大的高灵敏分析技术，它可以探测和分析物质表层所吸附的各类分子，对于有些体系，它的灵敏度甚至达到检测单分子水平。经过近几十年的发展，目前SERS领域仍然存在一些亟待解决的问题，总体来说包括以下三个方面：其一，扩大SERS增强材料的范围；其二，制备适当粗糙的SERS基底的工艺探索；其三，实现SERS定量分析的理论和技术。获取具有高敏感性、高稳定性、重复性的基底，并使基底具有很好的选择性，为目前拉曼检测基底设计与制造的关键问题。然而，SERS基底真正走向应用除了需要满足上诉要求外本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于REBCO模版的SERS基底，其特征在于，所述SERS基底包括REBCO模版层及所述REBCO模版层外表镀覆的金属修饰层；其中，所述REBCO模版层的厚度在10～2000nm连续可调，结构从非晶到多晶，a、b轴取向及c轴取向或混合取向任意可调；所述金属修饰层为金属薄膜或者金属颗粒层；所述金属修饰层的厚度为5～200nm。

【技术特征摘要】
1.一种基于REBCO模版的SERS基底，其特征在于，所述SERS基底包括REBCO模版层及所
述REBCO模版层外表镀覆的金属修饰层；
其中，所述REBCO模版层的厚度在10～2000nm连续可调，结构从非晶到多晶，a、b轴取向
及c轴取向或混合取向任意可调；
所述金属修饰层为金属薄膜或者金属颗粒层；所述金属修饰层的厚度为5～200nm。
2.一种根据权利要求1所述的基于REBCO模版的SERS基底的制备方法，其特征在于，包
括以下步骤：
步骤一，将REBCO靶材升温至生长温度，调节激光能量和频率，通入氧气，镀膜系统传送
装置带动金属基带通过镀膜区，即可在金属基带缓冲层表面形成REBCO模版层；
步骤二，REBCO靶材原位更换为修饰金属靶材，通过脉冲沉积方法、磁控溅射方法或蒸
镀方法在所述REBCO模版层表面镀金属修饰层，即得柔性SERS基底。
3.根据权利要求2所述的基于REBCO模版的SERS基底的制备方法，其特征在于，步骤一
中，所述生长温度为650～850℃；
所述激光能量和频率具体为：E＝50～300mJ，f＝1～200℃；
通入氧气前，镀膜区为真空状态，通入氧气后镀膜区气压为5～200mTorr。
4.根据权利要求2所述的基于REBCO模版的SERS基底的制备方法，其特征在于，步骤一
中，所述通过是以5～10m/h的速度一次通过镀膜区，或者以30～50m/h的速度通过多通道镀
膜区。
5.根据权利要求2所述的基于REBCO模版的SERS基底的制备方法，其特征在于，步骤二
中，所述通过脉冲沉积方法在所述REBCO模版层表面镀金属修饰层具体包括：调节激光能量
和频率，镀有REB...

【专利技术属性】
技术研发人员：王斌斌，刘林飞，李贻杰，吴祥，姚艳婕，王梦麟，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：上海;31