一种基于EWOD的二维蜂窝状电极阵列数字微流控芯片制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于数字微流控
，涉及一种数字微流控芯片，具体涉及一种基于介质上电润湿（ElectrowettingonDielectric,简称EWOD）驱动的二维蜂窝状电极阵列数字微流控芯片。
技术介绍
数字微流控芯片是指以离散液滴为操作对象的微型化芯片，是片上实验室（LOC）自动化操控的重要部分。而基于介质上电润湿效应的数字微流控芯片主要包括驱动和接地电极、介质层、疏水层等部分，是以电压信号对液滴进行操控，因此具有驱动方式简单、驱动力强、操控方便、自动化程度高等许多优点，在LOC领域中具有非常好的发展前景。对于数字微流控芯片，其批量处理及高通量是其重要功能指标，也是能否应用于芯片实验室的一个瓶颈。而基于介质上电润湿的数字微流控芯片是以电极为控制单元对液滴进行操控，因此需要大量的电极单元。传统的介质上电润湿数字微流控芯片主要有两种电极结构配置：一是分立型电极结构，二是条状电极结构。分立型电极结构是利用一定形状尺寸的分立电极对液滴进行单独操控，每一个分立电极为一个控制单元，需要一个控制信号，这样对于有M×N个控制单元的二维芯片需...
【技术保护点】
一种基于EWOD的二维蜂窝状电极阵列数字微流控芯片，其特征在于，该数字微流控芯片包含若干层电极层，该电极层之间通过若干通孔纵向连通，该电极层由若干横向互连的驱动电极形成，该驱动电极呈正多边形，每个驱动电极大小形状相同，每个驱动电极与其相邻的电极电性相反、紧密排列，每个驱动电极与其相邻的驱动电极两两电气绝缘，而不相邻的等效的驱动电极电气相连，等效的驱动电极是指连接一个控制电极，通过该控制电极能驱动液滴向同一方向运输的驱动电极。
【技术特征摘要】
1.一种基于EWOD的二维蜂窝状电极阵列数字微流控芯片，其特征在于，该数字微流控芯片包含若干层电极层，该电极层之间通过若干通孔纵向连通，该电极层由若干横向互连的驱动电极形成，该驱动电极呈正多边形，每个驱动电极大小形状相同，每个驱动电极与其相邻的电极电性相反、紧密排列，每个驱动电极与其相邻的驱动电极两两电气绝缘，而不相邻的等效的驱动电极电气相连，等效的驱动电极是指连接一个控制电极，通过该控制电极能驱动液滴向同一方向运输的驱动电极。
2.如权利要求1所述的基于EWOD的二维蜂窝状电极阵列数字微流控芯片，其特征在于，所述的通孔是指在纵向上贯穿于多层之间，具备导电性的孔状结构。
3.如权利要求1所述的基于EWOD的二维蜂窝状电极阵列数字微流控芯片，若干电极层之间纵向上的通孔的大小、位置完全相同。
4.如权利要求1所述的基于EWOD的二维蜂窝状电极阵列数字微流控芯片，其特征在于，所述的紧密排列是指相邻的正多边形驱动电极最靠近的两条边线平行，且两条边线的中心连线垂直于这两条边线。
5.如权利要求1所述的基于EWOD的二维蜂窝状电极阵列数字微流控芯片，其特征在于，所述的驱动电极呈正六边形，每个驱动电极周围有6个驱动电极与其相邻，每个驱动电极...
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