接触检查装置制造方法及图纸

[解决的问题]提供接触检查装置，其构造成减轻探针基板的与探针接触的接触部的磨损和损坏且利于探针的更换和组装。[解决方案]接触检查装置包括：多根探针，其具有将与测试对象接触的第一端；探针基板，其包括与对应的探针的第二端接触的接触部；探针头，多根探针延伸通过探针头且探针头能够拆装地安装于探针基板；以及多个定位构件，其设置于探针头的面对探针基板的表面且多根探针延伸通过多个定位构件。每根探针均具有设置在第二端所在侧的转动被限制部。多个定位构件中的每个定位构件均具有适于与转动被限制部接合的转动限制部。当多个定位构件相对于彼此移动时，转动限制部使探针对齐且将探针从转动未被限制状态切换至转动被限制状态。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在半导体集成电路等的通电测试中使用的接触检查装置。
技术介绍
通常，对诸如半导体集成电路等的测试对象执行通电测试，以确定测试对象是否是按照精确的规格制造的。使用诸如探针卡、探针单元和探针块等的接触检查装置来执行该通电测试，该接触检查装置具有单独压靠测试对象的待检查部分的多个接触部。这种类型的接触检查装置用于使测试对象的待检查部分与测试器电连接，以便执行检查。作为这种类型的接触检查装置，专利文献1公开了一种接触检查装置，该接触检查装置包括：探针基板，其具有供多根探针布置的下侧，多根探针均具有将与测试对象的电极接触的第一端；刚性的布线板，其将与测试器电连接；增强板，其用于支撑刚性的布线板；以及探针支撑件，其与探针基板连接，用于维持多根探针在预定位置处与探针基板接触。专利文献2公开了一种通过如下方式生产的接触检查装置：通过加热使安装于探针的第一端的导电连结材料软化来使探针的第一端与探针基板临时连接、将探针的在与测试对象接触时待用作针尖的第二端插入通过多个定位构件、通过使定位构件相对于彼此移动来定位探针的第二端并且再次加热和冷却连结材料，使得探针能够相对于探针基板定位并与探针基板连结。现有技术文献专利文献专利文献1：JP2014-1997A专利文献2：JP2012-42330A
技术实现思路
专利技术要解决的问题在专利文献1公开的接触检查装置中，探针支撑件包括第一板和第二板，第一板和第二板在探针的轴线方向上彼此面对，第一板与第二板之间具有间隙。探针延伸通过第一板和第二板。延伸通过探针支撑件的探针与探针基板的电极和测试对象的电极一一对应，并且分别与探针基板和测试对象电连接。接触检查装置的每根探针均包括位于探针支撑件的第一板与第二板之间的狗腿形(dogleg-shape)的联接部。联接部能够在作用在探针的轴线方向上的压力下弹性变形，由联接部的弹性变形产生的弹力帮助在探针与对应的电极之间建立电连接。当具有该联接部的探针绕着其轴线转动时，该探针可能会与相邻的探针接触，从而导致短路。而且，当探针绕着其轴线转动时，可能会磨损或损坏探针卡的与该探针接触的电极。因而，在该接触检查装置中，每根探针均具有在径向上从其一部分延伸的突起。该突起被接收在穿过面对测试对象的第二板所形成的圆孔的长形槽中，并且与该长形槽配合地用作防止探针绕着其轴线转动的转动防止部件。然而，在该接触检查装置中，因为探针的联接部必须位于探针支撑件的第一板与第二板之间，所以在多根探针的第一端均插入通过第二板的情况下，必须同时将多根探针的第二端插入通过第一板。换言之，当需要更换该接触检查装置中的任意探针时，不能在不拆卸探针支撑件的情况下更换探针。这造成了较低的工作效率。另外，在组装探针支撑件时，在多根探针的第一端均插入通过第二板的情况下，必须同时将多根探针的第二端插入通过第一板。这是麻烦的，并且会造成较低的工作效率。在专利文献2公开的接触检查装置中，不能在不通过加热使连结材料软化的情况下更换探针。这也会导致较低的工作效率。另外，必须在通过加热使连结材料软化之后将探针的第二端插入通过多个定位构件，以使多根探针与探针基板临时连结。这会使组装过程复杂化，并且会造成工作效率的进一步降低。鉴于以上问题而作出本专利技术，因此，本专利技术的目的在于提供一种接触检查装置，该接触检查装置被构造成减轻探针基板的与探针接触的接触部的磨损和损坏，并且利于探针的更换和组装。用于解决问题的方案出于实现以上目的的目的，根据本专利技术的第一方面的接触检查装置为对测试对象执行接触检查的接触检查装置，该接触检查装置包括：多根探针，所述多根探针均具有将与所述测试对象接触的第一端；探针基板，所述探针基板包括与对应的所述探针的第二端接触的接触部；探针头，所述多根探针延伸通过所述探针头，并且所述探针头能够拆装地安装于所述探针基板；以及多个定位构件，所述多个定位构件设置于所述探针头的面对所述探针基板的表面，并且所述多根探针延伸通过所述多个定位构件，每根探针均具有设置在所述第二端所在侧的转动被限制部，所述多个定位构件中的每个定位构件均具有适于与所述转动被限制部接合的转动限制部，其中，当所述多个定位构件相对于彼此移动时，所述转动限制部使所述探针对齐，并且将所述探针从转动未被限制状态切换至转动被限制状态。根据该方面，当多个定位构件相对于彼此移动时，转动限制部使探针对齐(align)，并且将探针从转动未被限制状态切换至转动被限制状态。因而，因为防止了探针相对于探针基板的与该探针接触的接触部转动，所以能够减轻探针基板的接触部的磨损或损坏。另外，根据该方面，因为通过使多个定位构件相对于彼此移动能够使探针对齐，所以能够容易地定位探针，并且能够改善探针的定位精度。因而，能够减小探针基板的接触部的尺寸，从而使探针基板的接触部能够应对进一步的间距减小。另外，根据该方面，在探针头不从探针基板脱离的情况下通过使多个定位构件相对于彼此移动，能够使探针在转动被限制状态与转动未被限制状态之间切换。这利于探针的维修和更换以及探针头的组装，进而改善了维修和更换探针以及组装探针头的工作效率。根据本专利技术的第二方面的接触检查装置为根据第一方面的接触检查装置，其中，所述转动被限制部具有多边形形状，并且所述转动限制部与各转动被限制部的至少两条边接合，或者与各转动被限制部的一条边以及与该一条边相对的一个顶点接合，以限制所述转动被限制部的转动。根据该方面，转动限制部与具有多边形形状的各转动被限制部的至少两条边接合，或者与该各转动被限制部的一条边以及与该一条边相对的一个顶点接合，以限制转动被限制部的转动。因而，因为防止了探针相对于探针基板的与该探针接触的接触部转动，所以能够减轻探针基板的接触部的磨损或损坏。根据本专利技术的第三方面的接触检查装置为根据第一方面或第二方面的接触检查装置，其中，所述多个定位构件包括第一定位构件和第二定位构件，所述第一定位构件的所述转动限制部和所述第二定位构件的所述转动限制部具有矩形形状，所述转动被限制部具有矩形形状，并且当所述第一定位构件和所述第二定位构件沿着所述第一定位构件的所述转动限制部和所述第二定位构件的所述转动限制部的所述矩形形状的对角线相对于彼此移动时，所述转动限制部限制所述转动被限制部的转动。根据该方面，多个定位构件包括第一定位构件和第二定位构件，并且第一定位构件的转动限本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种接触检查装置，其用于对测试对象执行接触检查，该接触检查装置包括：多根探针，所述多根探针均具有将与所述测试对象接触的第一端；探针基板，所述探针基板包括与对应的所述探针的第二端接触的接触部；探针头，所述多根探针延伸通过所述探针头，并且所述探针头能够拆装地安装于所述探针基板；以及多个定位构件，所述多个定位构件设置于所述探针头的面对所述探针基板的表面，并且所述多根探针延伸通过所述多个定位构件，每根探针均具有设置在所述第二端所在侧的转动被限制部，所述多个定位构件中的每个定位构件均具有适于与所述转动被限制部接合的转动限制部，其中，当所述多个定位构件相对于彼此移动时，所述转动限制部使所述探针对齐，并且将所述探针从转动未被限制状态切换至转动被限制状态。

【技术特征摘要】
2014.11.26 JP 2014-2387131.一种接触检查装置，其用于对测试对象执行接触检查，该接触检查装
置包括：
多根探针，所述多根探针均具有将与所述测试对象接触的第一端；
探针基板，所述探针基板包括与对应的所述探针的第二端接触的接触
部；
探针头，所述多根探针延伸通过所述探针头，并且所述探针头能够拆装
地安装于所述探针基板；以及
多个定位构件，所述多个定位构件设置于所述探针头的面对所述探针基
板的表面，并且所述多根探针延伸通过所述多个定位构件，
每根探针均具有设置在所述第二端所在侧的转动被限制部，
所述多个定位构件中的每个定位构件均具有适于与所述转动被限制部
接合的转动限制部，
其中，当所述多个定位构件相对于彼此移动时，所述转动限制部使所述
探针对齐，并且将所述探针从转动未被限制状态切换至转动被限制状态。
2.根据权利要求1所述的接触检查装置，其特征在于，
所述转动被限制部具有多边形形状，并且
所述转动限制部与各转动被限制部的至少两条边接合，或者与各转动被
限制部的一条边以及与该一条边相对的一个顶点接合，以限制所述转动被限
制部的转动。
3.根据权利要求1或2所述的接触检查装置，其特征在于，
所述多个定位构件包括第一定位构件和第二定位构件，
所述第一定位构件的所述转动限制部和所述第二定位构件的所述转动
限制部具有矩形形状，
所述转动被限制部具有矩形形状，并且
当所述第一定位构件和所述第二定位构件沿着所述第一定位构件的所

\t述转动限制部和所述第二定位构件的所述转动限制部的所述矩形形状的对
角线相对于彼此移动时，所述转动限制部限制所述转动被限制部的转动。
4.根据权利要求1所述的接触检查装置，其特征在于，
所述转动被限制部和/或所述转动限制部具有大致椭圆形形状。
5.根据权利要求1或2所述的接触检查装置，其特征在于，
每根探针均包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：那须美佳，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP