一种真空计动态对比校准装置制造方法及图纸

一种真空计动态对比校准装置，包括真空测量系统和控制系统；所述真空测量系统包括真空校准室2、微调平衡器1、真空泵7、标准真空传感器3；真空校准室2上端设置微调气体入口，赤道位置设置被校准真空计10接口和标准真空传感器3接口，下端设置抽真空排气出口并与真空泵7连接；所述控制系统包括控制箱5、控制电缆6；控制电缆6分别与真空测量系统的真空泵7、微调平衡器1、标准真空传感器3连接。本校准装置的真空校准室压力稳定，波动小于3％，保证了对比校准的质量。装置可以同时设定多个校准点真空度，在完成上一校准点的校准后自动进入对下一校准点的校准，工作效率提高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种真空计动态对比校准装置，用于较宽量程范围内现场或实验室真空计的校准或测试，属于测量

技术介绍
真空计是用来测量绝压状态下大气压力的仪器，广泛运用于军工、电子、医疗食品、电力、冶金、化工等各种领域。随着科技的发展，行业中对真空计的要求也在不断地提升，精度已普遍达到10-2Pa左右。由于真空测量系统是包含真空计、真空泵(罗茨泵、机械泵、分子泵等)、各种连接管道以及真空挡板阀门在内的一套完整的测试系统，体积庞大，且在现场安装位置固定，无法实现对真空测量系统的实验室校准，现代化的集成生产逐渐要求对真空测量系统进行现场校准。对真空系统的现场校准也是今后真空校准的发展趋势。现有真空计校准通常以静态膨胀法和动态对比法进行测量校准工作。动态对比法校准装置通常采用首先利用前置真空泵和分子泵组组合将校准室抽空到极限真空，然后通过微量调节装置向校准室注入氮气，获得目标真空度，实现被校真空计与标准真空计的对比校准。CN200955987Y中国专利技术专利，公开了“便携式真空计校准装置”，在校准室达到极限真空后，通过调节安装在圆形校准室上的微量调节阀注入氮气，使校准室获得目标真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空计动态对比校准装置，包括真空测量系统和控制系统；所述真空测量系统包括真空校准室(2)、微调平衡器(1)、真空泵(7)、标准真空传感器(3)；真空校准室(2)上端设置微调气体入口，赤道位置设置被校准真空计(10)接口和标准真空传感器(3)接口，下端设置抽真空排气出口并与真空泵(7)连接；所述控制系统包括控制箱(5)、控制电缆(6)；控制电缆(6)分别与真空测量系统的真空泵(7)、微调平衡器(1)、标准真空传感器(3)连接；微调平衡器(1)一端与大气连通，另一端经汇流管(14)与真空校准室(2)相连，被校准真空计(10)通过真空阀b(9)与真空校准室(2)相连，标准真空传感器(3)通过专用...

【技术特征摘要】
1.一种真空计动态对比校准装置，包括真空测量系统和控制系统；所述真空测量系统包括真空校准室(2)、微调平衡器(1)、真空泵(7)、标准真空传感器(3)；真空校准室(2)上端设置微调气体入口，赤道位置设置被校准真空计(10)接口和标准真空传感器(3)接口，下端设置抽真空排气出口并与真空泵(7)连接；所述控制系统包括控制箱(5)、控制电缆(6)；控制电缆(6)分别与真空测量系统的真空泵(7)、微调平衡器(1)、标准真空传感器(3)连接；微调平衡器(1)一端与大气连通，另一端经汇流管(14)与真空校准室(2)相连，被校准真空计(10)通过真空阀b(9)与真空校准室(2)相连，标准真空传感器(3)通过专用真空阀c(4)与真空校准室(2)相连，真空泵(7)通过真空阀a(8)与真空校准室(2)连接。2.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于微调平衡器(1)内的三组毛细管和电磁阀组分别与控制箱(5)设定的目标真空度相对应，毛细管和电磁阀组打开后与真空泵(7)的低频率工作相配合，实现真空校准室(2)压力的稳定。3.根据权利要求1或2所述的校准装置，其特征在于所述真空泵(7)的工作频率根据设定真空度与真空校准室实际真空度的差值线性调节。4.根据权利要求书2所述的校准装置，其特征在于所述微调平衡器(1)内设置三组毛细管和电磁阀组，封装在同一个箱体内，分别在微调平衡器(1)上端设置空气入口，下端与同一个“T”形汇流管(14)连接，汇流管(14)在微调平衡器(1)下端设置空气出口与真空校准室(2)连接，三组的流量不同，控制系统根据设定的目标真空度预选定工作毛细管和电磁阀组，并根据真空校准室真空度与设定目标真空度的差值控制该组毛细管和电磁阀组的开合；实...

【专利技术属性】
技术研发人员：王举森，李志超，苏茂峰，刘聪，李大国，
申请(专利权)人：山东中检高科检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37