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一种真空计动态对比校准装置,包括真空测量系统和控制系统;所述真空测量系统包括真空校准室2、微调平衡器1、真空泵7、标准真空传感器3;真空校准室2上端设置微调气体入口,赤道位置设置被校准真空计10接口和标准真空传感器3接口,下端设置抽真空排气...该专利属于山东中检高科检测技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东中检高科检测技术有限公司授权不得商用。
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一种真空计动态对比校准装置,包括真空测量系统和控制系统;所述真空测量系统包括真空校准室2、微调平衡器1、真空泵7、标准真空传感器3;真空校准室2上端设置微调气体入口,赤道位置设置被校准真空计10接口和标准真空传感器3接口,下端设置抽真空排气...