一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于材料科学、实验物理学、生物分子学领域中的样品表面形貌扫描方向，具体涉及一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统。
技术介绍
原子力显微镜(AtomicForceMicroscope)是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料、生物分子等表面结构的分析仪器，原子力显微镜的基本原理是：将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，微悬臂梁另一端有一微小探针，当微悬臂梁探针与样品表面距离非常近时，探针尖端的原子与样品表面的原子之间存在极其微弱的相互作用力(10-12～10-6N)，会使微悬臂梁发生微弯曲变形。探针针尖与样品之间的作用力与两者的距离有关，通过在扫描时控制这种力(排斥力或吸引力)的恒定(即保持探针与样品表面距离恒定)，带有探针的微悬臂梁将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法、隧道电流法等检测手段，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品表面形貌的信息。基于光反射检测法的原子力显微镜由微悬臂梁探针、反馈信号检测部分、控制反馈系统三部分组成，如图1所示：(1)微悬臂梁探针是整个系统最...
【技术保护点】
一种基于光纤的原子力显微镜探头，包括探针、光纤和微悬臂梁，探针位于微悬臂梁的一端，其特征在于：所述微悬臂梁位于光纤的一端，微悬臂梁通过一连接臂与光纤一端面之间形成光纤F‑P腔，微悬臂梁用来感应探针与样品之间力的变化，当微悬臂梁发生形变引起所述光纤F‑P腔的腔长发生变化时，反射光强度被光纤F‑P腔所调制。
【技术特征摘要】
1.一种基于光纤的原子力显微镜探头，包括探针、光纤和微悬臂梁，探针位于微悬臂梁的一端，其特征在于：所述微悬臂梁位于光纤的一端，微悬臂梁通过一连接臂与光纤一端面之间形成光纤F-P腔，微悬臂梁用来感应探针与样品之间力的变化，当微悬臂梁发生形变引起所述光纤F-P腔的腔长发生变化时，反射光强度被光纤F-P腔所调制。2.根据权利要求1所述的一种基于光纤的原子力显微镜探头，其特征在于：在所述微悬臂梁设置探针一侧，镀有金属反射膜、电介质反射膜或高分子反射膜，镀层厚度在10nm-1000nm之间。3.根据权利要求1所述的一种基于光纤的原子力显微镜探头，其特征在于：所述探针的结构为近似四棱锥或近似圆锥，与所述微悬臂梁、光纤F-P腔采用一体成型结构。4.根据权利要求3所述的一种基于光纤的原子力显微镜探头，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹弘毅，张雷，姜明顺，隋青美，曹玉强，张法业，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：山东;37
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