一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于单晶硅棒加工设备领域，具体涉及一种全自动单晶硅棒滚磨加工一体设备。
技术介绍
硅单晶作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自上世纪六十年代被人们所发现和利用后，就迅速替代锗单晶成为半导体的主要材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。制备性能良好的硅单晶方法中，直拉法生长硅单晶具有设备和工艺相对简单、容易实现自动控制。直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要继续进行一系列工序，前期包括有截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工；后续还需将硅棒粘胶后进行切片、清洗、倒角、研磨、腐蚀和再清洗等；最后将硅片进行制绒、扩散、制结、镀膜和烧结等工序后才能制造半导体器件或者用于光伏发电的太阳能电池片。目前，大部分国内半导体厂商还是采用将通用磨床改制成外圆滚磨机床，这类机床对单晶硅棒的上料、对中、晶向检测等工序都需要通过人工分多次完成，并且精度不是很高。目前市场上广泛采用的单晶硅棒滚磨机具有以下缺点和不足：单晶硅棒的上料需要靠人工抱上设备，放置...
【技术保护点】
一种全自动单晶硅棒滚磨加工一体设备，包括用于承载的大底架；其特征在于，该大底架呈长条形，在其表面沿长度方向设有两条平行的主导轨；磨削工作台组件活动安装在两根主导轨上，由主驱动电机通过驱动连接机构实现沿主导轨的移动；在大底架的两侧共设有四个用于承载的平台：两个平台位于大底架的中部且相对布置，其中一个承载粗磨动力头组件，另一个承载精磨动力头组件；另两个平台位于大底架的一端且相对布置，其中一个承载上料机械手组件，另一个承载对中机械手组件；在大底架上，还设有晶向检测装置和半径检测单元。
【技术特征摘要】
1.一种全自动单晶硅棒滚磨加工一体设备，包括用于承载的大底架；其特征在于，该大底架呈长条形，在其表面沿长度方向设有两条平行的主导轨；磨削工作台组件活动安装在两根主导轨上，由主驱动电机通过驱动连接机构实现沿主导轨的移动；在大底架的两侧共设有四个用于承载的平台：两个平台位于大底架的中部且相对布置，其中一个承载粗磨动力头组件，另一个承载精磨动力头组件；另两个平台位于大底架的一端且相对布置，其中一个承载上料机械手组件，另一个承载对中机械手组件；在大底架上，还设有晶向检测装置和半径检测单元。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括外罩钣金组件，外罩钣金组件整体呈倒置的U形结构，其两端固定在大底架上。3.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备，其特征在于，所述磨削工作台组件包括头座、尾座、底座、夹紧气缸、分度直驱电机和对刀传感器组件；其中，底座活动安装于两条主导轨上，其底部通过螺钉固定连接电机安装座，主驱动电机装在电机安装座上；所述驱动连接机构包括固定在大底架上的齿条，以及与齿条相互啮合的齿轮；齿轮固定在主驱动电机的转动轴上；头座和尾座相对地安装于底座的两侧，其对中线垂直于主导轨；底座下方设夹紧气缸，用于驱动头座或尾座以调整相互间距；头座或尾座上设有用于测量基准的对刀传感器组件和基准块，以及用于控制晶棒旋转和角度位置的分度直驱电机。4.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备，其特征在于，所述粗磨动力头组件包括粗磨进给导轨安装座、水平进给组件、水平移动伺服电机、粗磨竖直导轨安装座、竖直进给组件、粗磨变频电机、粗磨砂轮安装座和粗磨砂轮组件；其中，水平进给组件通过粗磨进给导轨安装座固定在大底架上的平台上，且安装方向垂直于主导轨；水平移动伺服电机通过传动部件与水平进给组件连接；竖直进给组件通过粗磨竖直导轨安装座固定在水平进给组件上，粗磨变频电机和粗磨砂轮安装座固定在竖直进给组件上，粗磨砂轮组件装在粗磨砂轮安装座上。5.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备，其特征在于，所述精磨动力头组件包括精磨进给导轨安装座、水平进给组件、水平移动伺服电机...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，沈文杰，严浩，傅林坚，吴兵兵，何守龙，谢龙辉，王凯，邱敏秀，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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