下载一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备的技术资料

文档序号:14781615

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本发明涉及单晶硅棒加工设备,旨在提供一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备。包括呈长条形的大底架,在其表面沿长度方向设有两条平行的主导轨;磨削工作台组件活动安装在两根主导轨上,由主驱动电机通过驱动连接机构实现沿主导轨的移动;在大底架的两侧共设有四个...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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