一种抗腐蚀高效选择性吸收涂层制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种抗腐蚀高效选择性吸收涂层，是目前太阳能集热器的关键技术之一，属于太阳能热利用和镀膜技术之一。
技术介绍
目前正在研究或应用的用于太阳能集热器的选择性吸收涂层虽有几十种之多，但从生产方法上总体可以分三大类：磁控溅射或电子束蒸发涂层、涂料型涂层、化学或电化学表面转化涂层。其中具有代表性的产品如：选择性吸收涂料、铝阳极化电解着色选择性吸收涂层、选择吸收性黑铬涂层和磁控溅射氮氧化钛涂层是用于平板型太阳能热水器中代表低、中、高三种档次的典型涂层。现有的选择性吸收涂层的吸收率低、发射率高、耐候性不高而且对环境造成污染等缺点，影响了太阳能集热器的发展。
技术实现思路
本专利技术的目的是在于提供一种抗腐蚀高效选择性吸收涂层，本抗腐蚀高效选择性吸收涂层，采用真空磁控溅射工艺，主要结构由内而外依次为：基层、金属均匀层、介质层（1）、半透明金属层、介质层（2）。所述基层采用金属基材。所述金属均匀层是厚度为5～50nm的金属靶材填充而成。所述介质层（1）是由非金属靶材充N2生成的厚度为20～150nm的非金属氮化物，采用真空磁控溅射的方法，其中溅射气体为体积流量为30～55标况毫升每分的Ar和体积流量为60～80标况毫升每分的N2两种气体组成，功率为10～28kW。所述半透明金属层是由金属靶材生成的5～50nm的Ni/Cu靶材组成，溅射气体为Ar，体积流量为50～75标况毫升每分。所述介质层（2）是由非金属靶材充N2生成的厚度为20～150nm的非金属氮化物。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：采用磁控溅射工艺，整个生产过程安全环保，对环境不会造成任何污染；采...
【技术保护点】
一种抗腐蚀高效选择性吸收涂层，其特征在于：该抗腐蚀高效选择性吸收涂层采用真空磁控溅射工艺，其结构由内而外依次是：基层、金属均匀层、介质层（1）、半透明金属层、介质层（2）。
【技术特征摘要】
1.一种抗腐蚀高效选择性吸收涂层，其特征在于：该抗腐蚀高效选择性吸收涂层采用真空磁控溅射工艺，其结构由内而外依次是：基层、金属均匀层、介质层（1）、半透明金属层、介质层（2）。2.如权利要求1所述的一种抗腐蚀高效选择性吸收涂层，其特征在于基层采用厚度为3～10nm的金属基材。3.如权利要求1所述的一种抗腐蚀高效选择性吸收涂层，其特征在于金属均匀层是厚度为5～50nm的金属靶材填充而成。4.如权利要求1所述的一种抗腐蚀高效选择性吸收涂层，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭军毅，马世歌，
申请(专利权)人：珠海兴业新能源科技有限公司，湖南兴业太阳能科技有限公司，珠海兴业绿色建筑科技有限公司，湖南兴业绿色能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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