一种基于状态管理的工艺控制系统调度装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基于状态管理的工艺控制系统调度装置和方法；该方法包括热处理设备工艺控制系统启动时，集群工具控制单元CTC用于接收外部控制指令及设备调度管理，传送工艺流程中的系统文件和工艺文件到工艺模块控制器；交互模式控制单元TMC进行传送部分控制及状态管理；集群工具控制单元CTC基于外部控制指令和过程控制单元PMC状态对过程控制单元PMC的工作模式进行调度管理。因此，本发明专利技术通过过程控制单元PMC的精确和稳定的运行，提高了对热处理设备工艺运行和设备的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，涉及一种基于状态管理的工艺控制系统调度装置及方法。
技术介绍
随着半导体制造工艺的不断进步，集成电路的集成度越来越高，芯片的尺寸越来越小。由此带来的半导体制造工艺的复杂度也越来越高。例如，关键尺寸的减小使得对光刻工艺要求更为苛刻，对于在半导体芯片制造过程中诸如氧化、沉积、扩散、退火等工艺中均需要的热处理工艺，也是如此。目前，在热处理工艺中，普遍采用自动化程度较高、工艺性能更优异的立式炉为热处理设备。然而，随着工艺特征尺寸的减小，热处理工艺质量及效率越发依赖控制系统性能和安全性的提升。大生产线通常衡量设备性能的指标为每小时产品的产出能力(WPH)、可使用时间比例(Uptime)以及连续生产工程中的工艺稳定性(RTRUniformity)，要求每组工艺的时间重复性、工艺参数的波动范围以及各种异常及报警的响应时效性，以保障设备的性能和市场竞争力。
技术实现思路
为了克服以上问题，针对以上要求，本专利技术提供一种基于状态管理的热处理设备控制系统调度装置和方法，通过过程控制单元PMC的精确和稳定的运行，提高对热处理设备工艺运行和设备的可靠性。为实现上述目的，本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于状态管理的工艺控制系统调度装置；所述的工艺控制系统为热处理设备工艺控制系统，用于对工艺模块进行控制；其特征在于，包括：集群工具控制单元，用于接收外部控制指令及设备调度管理；交互模式控制单元，与所述集群工具控制单元相连，用于传送部分控制及状态管理；以及过程控制单元，用于工艺控制部分控制及状态管理；其中，所述集群工具控制单元基于外部控制指令和过程控制单元状态对所述过程控制单元的工作模式进行调度管理。

【技术特征摘要】
1.一种基于状态管理的工艺控制系统调度装置；所述的工艺控制系统为热处理设备工艺控制系统，用于对工艺模块进行控制；其特征在于，包括：集群工具控制单元，用于接收外部控制指令及设备调度管理；交互模式控制单元，与所述集群工具控制单元相连，用于传送部分控制及状态管理；以及过程控制单元，用于工艺控制部分控制及状态管理；其中，所述集群工具控制单元基于外部控制指令和过程控制单元状态对所述过程控制单元的工作模式进行调度管理。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述过程控制单元由与所述集群工具控制单元交互的数据区、运行调度区和状态监测区组成；其中，所述数据区用于系统配置数据、工艺文件信息的接收、发送和存储，其包括配置文件、工艺文件、工艺文件读取模块和工艺文件读取模块；所述运行调度区包括工艺步信息和温度控制信息提取模块，用于按时间或者工艺条件要求调度并运行工艺文件信息；所述状态监测区包括状态监测模块和功能控制模块，其用于监测工艺参数的实时变量是否符合文艺文件设定范围、安全互锁管理、报警信息的触发和管理。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述数据区、运行调度区和状态监测区利用标志位进行功能识别区分。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述外部控制指令包括工艺信息显示、工艺运行操作和工艺文件编辑。5.根据权利要求1所述的装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐冬，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11