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本发明提供一种基于状态管理的工艺控制系统调度装置和方法；该方法包括热处理设备工艺控制系统启动时，集群工具控制单元CTC用于接收外部控制指令及设备调度管理，传送工艺流程中的系统文件和工艺文件到工艺模块控制器；交互模式控制单元TMC进行传送部分...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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