一种具有泄爆功能的微负压反应器制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术属于机械领域，具体涉及一种具有泄爆功能的微负压反应器。
技术介绍
在石墨件表面沉积碳化硅，通常采用甲基三氯硅烷为前驱体，发生化学气相沉积反应后得到碳化硅涂层，副产HCl气体。通常，这种化学气相沉积反应压力在0.1～10KPa，处于微负压状态，即反应器正常工作时都是微负压状态，但不排除压力过高的情形，从安全生产的角度，仍需设置泄爆装置。现有技术的泄爆装置大多为直通式泄爆装置，其采用泄压膜片的结构，即在与压力气体直接接触的泄爆口上安装由不锈钢或聚四氟乙烯等材料制成的泄压膜片，当容器内压力超过设定值时，泄压膜片就会自动破裂，使容器内超过设定值的压力通过破裂的泄压膜片向容器外泄压。所述直通式泄爆装置的结构简单，但由于是一次性结构，一旦发生泄压后，无法自动修复，需要将破裂的泄压膜片去除，重新更换一片完整的泄压膜片。另一种是承重式泄爆阀，这种泄爆阀能在内部压强过高时，迅速打开，达到泄爆的目的，但是所占体积较大，钢材消耗较高，不经济。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种具有泄爆功能的微负压反应器，以解决现有技术存在的无法自动修复和成本较高等问题。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案如下：一种具有泄爆功能的微负压反应器，包括直筒段和设置在直筒段上端的封头，所述直筒段的上端外沿设有下法兰，所述封头外沿设有与下法兰适配的上法兰，上法兰和下法兰的中间设有密封圈，所述上法兰和下法兰通过泄爆装置连接。其中，所述泄爆装置包括螺帽、螺母、螺杆和弹簧；其中，螺母位于下法兰的下方，螺杆下端连接螺母，且螺杆穿过下法兰和上法兰，螺杆的顶端连接螺帽，弹簧套接在螺杆上且位于螺帽...
【技术保护点】
一种具有泄爆功能的微负压反应器，其特征在于，包括直筒段和设置在直筒段上端的封头，所述直筒段的上端外沿设有下法兰(2)，所述封头外沿设有与下法兰适配的上法兰(1)，上法兰(1)和下法兰(2)的中间设有密封圈(3)，所述上法兰(1)和下法兰(2)通过泄爆装置(8)连接。
【技术特征摘要】
1.一种具有泄爆功能的微负压反应器，其特征在于，包括直筒段和设置在直筒段上端的封头，所述直筒段的上端外沿设有下法兰(2)，所述封头外沿设有与下法兰适配的上法兰(1)，上法兰(1)和下法兰(2)的中间设有密封圈(3)，所述上法兰(1)和下法兰(2)通过泄爆装置(8)连接。2.根据权利要求1所述的具有泄爆功能的微负压反应器，其特征在于，所述泄爆装置(8)包括螺母(4)、螺帽(5)、螺杆(6)和弹簧(7)；其中，螺母(4)位于下法兰(2)的下方，螺杆(6)下端连接螺母，且螺杆(6)穿过下法兰(2)和上法兰(1)，螺杆(6)的顶端连接螺帽(5)，弹...
【专利技术属性】
技术研发人员：张春伟，田新，于伟华，朱建中，江扣龙，
申请(专利权)人：江苏协鑫特种材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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