利用飞秒激光成丝制备毫米级深孔的方法技术

本发明专利技术涉及激光成孔技术领域，具体涉及利用飞秒激光成丝制备毫米级深孔的方法，包括：利用透镜将飞秒激光进行聚焦成丝，飞秒激光在空气中形成相对稳定的光丝通道；调节飞秒激光的平均功率改变光丝通道长度；在相同条件下分别将靶材放在光丝通道的不同位置处，找出光丝通道中烧蚀强度最强点，再将靶材固定在烧蚀最强点处进行加工，从而获得毫米级的深微孔；利用扫描电子显微镜观察深微孔的孔径大小及表面形貌；再通过改变飞秒激光的平均功率和加工时间来获得不同参数的深微孔。由于飞秒激光可以在空气中形成具有很高的强度、均匀性好、传播距离较长且相对稳定的光丝通道，对实验平台的要求也相对较低，大大降低了深微孔制备的成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光成孔
，具体涉及利用飞秒激光成丝制备毫米级深孔的方法。
技术介绍
随着航空航天、汽车、工程器件以及生物医疗等近代工业以及科学技术的迅速发展，强度大、硬度高、柔韧性强的复合材料的应用越来越广泛，因此，在这些材料上加工出高质量的深微孔是目前亟待解决的问题。传统的打孔工艺远远满足不了许多高、精、尖产品的关键零件上深微孔加工的要求。激光打孔技术具有精度高、可重复性强、成本低、材料消耗少等诸多方面的优点，使激光打孔技术在现代制造领域发挥着越来越重要的作用。飞秒激光打孔虽然较长脉冲激光打孔有着明显的优势，但从目前已有的报导来看飞秒激光打孔一般都局限于在一些薄层材料上加工微孔。因此，深微孔的加工方法也就成了当前打孔技术亟待解决的问题。由于飞秒激光成丝具有很高的强度、均匀性好且传播距离较长。因此，采用飞秒激光成丝的方法则可以一次性成孔，可以大大降低孔的锥度，提高孔的表面质量。利用飞秒激光成丝加工出的毫米级深微孔，不仅可以在航空航天领域中得到广泛的实际应用，而且还可以在实际的生物医疗或者工程器件中获得实践性的应用。目前利用飞秒激光打孔的方法主要有以下两种方法；1、飞秒激光复制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用飞秒激光成丝制备毫米级深孔的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：利用透镜将飞秒激光进行聚焦成丝，所述飞秒激光在空气中形成相对稳定的光丝通道；调节所述飞秒激光的平均功率改变所述光丝通道长度；在相同条件下分别将靶材放在所述光丝通道的不同位置处，找出所述光丝通道中烧蚀强度最强点，再将所述靶材固定在所述烧蚀最强点处进行加工，从而获得毫米级的深微孔；利用扫描电子显微镜观察所述深微孔的孔径大小及表面形貌；再通过改变所述飞秒激光的平均功率和加工时间来获得不同参数的所述深微孔。

【技术特征摘要】
1.一种利用飞秒激光成丝制备毫米级深孔的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：利用透镜将飞秒激光进行聚焦成丝，所述飞秒激光在空气中形成相对稳定的光丝通道；调节所述飞秒激光的平均功率改变所述光丝通道长度；在相同条件下分别将靶材放在所述光丝通道的不同位置处，找出所述光丝通道中烧蚀强度最强点，再将所述靶材固定在所述烧蚀最强点处进行加工，从而获得毫米级的深微孔；利用扫描电子显微镜观察所述深微孔的孔径大小及表面形貌；再通过改变所述飞秒激光的平均功率和加工时间来获得不同参数的所述深微孔。2.如权利要求1所述的利用飞秒激光成丝制备毫米级深孔的方法，其特征在于：所述深微孔孔径有较小的锥度以及较大的深宽比。3.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋海英，张艳杰，刘世炳，刘海云，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：北京;11