高频电压发生装置制造方法及图纸

一种高频电压发生装置，其从直流电压生成高频电压并施加到负载，具备：第1直流电源(11)，其生成第1直流电压；第2直流电源(12)，其生成与第1直流电压不同的值的第2直流电压；过渡交流电压发生电路(13)，其生成周期比高频电压的周期短、并且电压值在第1直流电压与第2直流电压之间振动的过渡交流电压；施加电压切换部(14)，其以如下方式切换对负载的施加电压：在高频电压的一个周期期间，按第1直流电压、过渡交流电压、第2直流电压、过渡交流电压的顺序切换电压，并将刚刚施加的直流电压的值作为初始值而使过渡交流电压振动1.5以上的半整数次。通过在进行第1直流电压与第2直流电压的切换的期间施加过渡交流电压，与利用矩形波的以往的高频电压发生装置相比，能够更加缓和地进行电压的切换，由此，能够抑制噪声的产生和电力的损失。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及从直流电压生成高频电压并施加到负载的高频电压发生装置。该高频电压发生装置能够适当地用于在质谱分析装置中对离子进行聚焦、传输、过滤等控制的离子导向器、离子阱等带电粒子控制装置。
技术介绍
在质谱分析装置中使用的带电粒子控制装置中，为了控制离子的运动，使用在空间上、时间上进行了调制的高频电场(参照专利文献1)。例如，在以环绕离子光轴的方式配置有n根(n为偶数)杆电极的离子导向器中，以在相邻的杆电极彼此之间极性相反的方式施加振幅为V、频率为Ω的高频电压VRF，从而在离子导向器内形成由高频电场产生的虚拟电势Vp(R)。此处，R是从离子光轴起的径向的距离。利用离子导向器的内切圆半径r、离子的质量m以及离子的电荷q，将该虚拟电势Vp(R)表示为：Vp(R)＝{qn2/(4mΩ2)

【技术保护点】
一种高频电压发生装置，其从直流电压生成高频电压并施加到负载，所述高频电压发生装置的特征在于，具备：a)第1直流电压发生部，其生成第1直流电压；b)第2直流电压发生部，其生成与所述第1直流电压不同的值的第2直流电压；c)过渡交流电压发生部，其以该第1直流电压或者该第2直流电压作为初始值而激发过渡交流电压，该过渡交流电压的周期比所述高频电压的周期短，并且将所述第1直流电压和所述第2直流电压中的一方设为最大值，将另一方设为最小值；以及d)施加电压切换部，其以如下方式切换对该负载的施加电压，即：在所述高频电压的一个周期期间，按所述第1直流电压、将该第1直流电压作为所述初始值的所述过渡交流电压、所述第2直流电压、将该第2直流电压作为所述初始值的所述过渡交流电压的顺序切换电压，使得该过渡交流电压的期间分别是该过渡交流电压的周期的1.5以上的半整数倍、并且比该高频电压的半周期短。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种高频电压发生装置，其从直流电压生成高频电压并施加到负载，所述高频电压发生装置的特征在于，具备：a)第1直流电压发生部，其生成第1直流电压；b)第2直流电压发生部，其生成与所述第1直流电压不同的值的第2直流电压；c)过渡交流电压发生部，其以该第1直流电压或者该第2直流电压作为初始值而激发过渡交流电压，该过渡交流电压的周期比所述高频电压的周期短，并且将所述第1直流电压和所述第2直流电压中的一方设为最大值，将另一方设为最小值；以及d)施加电压切换部，其以如下方式切换对该负载的施加电压，即：在所述高频电压的一个周期期间，按所述第1直流电压、将该第1直流电压作为所述初始值的所述过渡交流电压、所述第2直流电压、将该第2直流电压作为所述初始值的所述过渡交流电压的顺序切换电压，使得该过渡交流电压的期间分别是该过渡交流电压的周期的1.5以上的半整...

【专利技术属性】
技术研发人员：小西郁夫，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP