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一种降低石英玻璃管中氢氧根含量的方法技术

技术编号:1459302 阅读:232 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术是一种降低石英玻璃管中氢氧根含量的方法,其特征在于,其步骤如下:将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.3-0.8Mpa/cm↑[2],维持密闭加热室内惰性气体压力0.3-0.8Mpa/cm↑[2]180-280分钟;然后通电进行加热至800-1100℃,保持恒温焙烧18-25小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10↑[-1]-5×10↑[-4]帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。采用本发明专利技术工艺技术处理后的石英玻璃管的氢氧根含量,可达到2ppm以下,可以满足一些特殊行业对石英玻璃管更高的使用要求。

A method for reducing hydroxyl content of quartz glass tube

The invention relates to a method for reducing hydroxyl content of quartz glass tube, which is characterized in that the steps are as follows: the quartz glass tube product placed in sealed heating chamber, first pass into the inert gas, the pressure of 0.3 0.8Mpa / cm = 2, maintain indoor closed heating inert gas pressure of 0.3 0.8Mpa / cm = 2 180 - 280 minutes; and then power on heating to 800 to 1100 DEG C, 18 to 25 hours to maintain constant temperature roasting; then cooling, vacuum device makes the heating chamber pressure up to 5 x 10 = - 1, - 5 * 10 = 4, Pascal stayed in the cooling process; after cooling to room temperature, then the inert gas recovery pressure, remove the quartz glass tube. The hydroxyl content of quartz glass processing technology of the invention of the tube after can reach 2ppm, can meet some special industry and higher requirements on the quartz glass.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种石英玻璃管的生产方法,特别是。
技术介绍
目前降低石英玻璃管中氢氧根的方法有二种一种方法是将石英玻璃管加热至900-960℃,然后自然冷却。这种方法可使石英玻璃管中的氢氧根从原始的130ppm,降低到8-10ppm。这种石英玻璃管中的氢氧根含量依然较高,无法满足一些特殊工业要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提出一种新的降低石英玻璃管中氢氧根含量的方法,以满足对石英玻璃管更高的使用要求。本专利技术所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本专利技术是,其特点是,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.3-0.8Mpa/cm2,维持密闭加热室内惰性气体压力0.3-0.8Mpa/cm2180-280分钟;然后通电进行加热至800-1100℃,保持恒温焙烧18-25小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-1-5×10-4帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。本专利技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的,其特点是,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入氦气,压力为0.5Mpa/cm2,维持密闭加热室内氦气压力0.5Mpa/cm 230分钟;然后通电进行加热至800-1100℃,保持恒温焙烧22小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-1-5×10-4帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入氮气恢复常压,取出石英玻璃管。这是本专利技术的最优选技术方案。本专利技术与现有技术相比,在加热、抽真空前用惰性气体充分将密闭加热室材料中的空气交换出来,进一步提高了密闭加热室的纯净度,在加热后冷却时抽真空更有利于石英玻璃管中的氢氧根化为气体逸出。采用本专利技术工艺技术处理后的石英玻璃管的氢氧根含量,可达到2ppm以下,可以满足一些特殊行业对石英玻璃管更高的使用要求。具体实施例方式实施例1。,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入氦气,压力为0.5Mpa/cm2,维持密闭加热室内氦气压力0.5Mpa/cm 230分钟;然后通电进行加热至950℃,保持恒温焙烧22小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-2帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入氮气恢复常压,取出石英玻璃管。实施例2。,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.3Mpa/cm2,维持密闭加热室内惰性气体压力0.3Mpa/cm2180分钟;然后通电进行加热至800℃,保持恒温焙烧18小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-1帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。实施例3。,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.8Mpa/cm2,维持密闭加热室内惰性气体压力0.8Mpa/cm2280分钟;然后通电进行加热至1100℃,保持恒温焙烧25小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-4帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。实施例4。,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.6Mpa/cm2,维持密闭加热室内惰性气体压力0.6Mpa/cm2200分钟;然后通电进行加热至1000℃,保持恒温焙烧20小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-3帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。实施例5。,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.4Mpa/cm2,维持密闭加热室内惰性气体压力0.4Mpa/cm2250分钟;然后通电进行加热至850℃,保持恒温焙烧24小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-2帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。权利要求1.,其特征在于,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.3-0.8Mpa/cm2,维持密闭加热室内惰性气体压力0.3-0.8Mpa/cm2180-280分钟;然后通电进行加热至800-1100℃,保持恒温焙烧18-25小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-1-5×10-4帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。2.根据权利要求1所述的,其特征在于,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入氦气,压力为0.5Mpa/cm2,维持密闭加热室内氦气压力0.5Mpa/cm 230分钟;然后通电进行加热至800-1100℃,保持恒温焙烧22小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-1-5×10-4帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入氮气恢复常压,取出石英玻璃管。全文摘要本专利技术是,其特征在于,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.3-0.8Mpa/cm文档编号C03B32/00GK1962503SQ20051009538公开日2007年5月16日 申请日期2005年11月11日 优先权日2005年11月11日专利技术者黄春雨 申请人:濮晓明本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种降低石英玻璃管中氢氧根含量的方法,其特征在于,其步骤如下:将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.3-0.8Mpa/cm↑[2],维持密闭加热室内惰性气体压力0.3-0.8Mpa/cm↑[2]180-280分钟;然后通电进行加热至800-1100℃,保持恒温焙烧18-25小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10↑[-1]-5×10↑[-4]帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄春雨
申请(专利权)人:濮晓明
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]

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