The invention relates to a method for reducing hydroxyl content of quartz glass tube, which is characterized in that the steps are as follows: the quartz glass tube product placed in sealed heating chamber, first pass into the inert gas, the pressure of 0.3 0.8Mpa / cm = 2, maintain indoor closed heating inert gas pressure of 0.3 0.8Mpa / cm = 2 180 - 280 minutes; and then power on heating to 800 to 1100 DEG C, 18 to 25 hours to maintain constant temperature roasting; then cooling, vacuum device makes the heating chamber pressure up to 5 x 10 = - 1, - 5 * 10 = 4, Pascal stayed in the cooling process; after cooling to room temperature, then the inert gas recovery pressure, remove the quartz glass tube. The hydroxyl content of quartz glass processing technology of the invention of the tube after can reach 2ppm, can meet some special industry and higher requirements on the quartz glass.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种石英玻璃管的生产方法,特别是。
技术介绍
目前降低石英玻璃管中氢氧根的方法有二种一种方法是将石英玻璃管加热至900-960℃,然后自然冷却。这种方法可使石英玻璃管中的氢氧根从原始的130ppm,降低到8-10ppm。这种石英玻璃管中的氢氧根含量依然较高,无法满足一些特殊工业要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提出一种新的降低石英玻璃管中氢氧根含量的方法,以满足对石英玻璃管更高的使用要求。本专利技术所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本专利技术是,其特点是,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.3-0.8Mpa/cm2,维持密闭加热室内惰性气体压力0.3-0.8Mpa/cm2180-280分钟;然后通电进行加热至800-1100℃,保持恒温焙烧18-25小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-1-5×10-4帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。本专利技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的,其特点是,其步骤如下将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入氦气,压力为0.5Mpa/cm2,维持密闭加热室内氦气压力0.5Mpa/cm 230分钟;然后通电进行加热至800-1100℃,保持恒温焙烧22小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10-1-5×10-4帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入氮气恢复常压,取出石英玻璃管。这是本专利技术的最优选技术方案。本专利技术 ...
【技术保护点】
一种降低石英玻璃管中氢氧根含量的方法,其特征在于,其步骤如下:将石英玻璃管成品置于密闭加热室内,首先通入惰性气体,压力为0.3-0.8Mpa/cm↑[2],维持密闭加热室内惰性气体压力0.3-0.8Mpa/cm↑[2]180-280分钟;然后通电进行加热至800-1100℃,保持恒温焙烧18-25小时;然后冷却,在冷却过程中用真空装置使加热室内部压力达5×10↑[-1]-5×10↑[-4]帕斯卡;待冷却达到常温后,再充入惰性气体恢复常压,取出石英玻璃管。
【技术特征摘要】
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