一种复合型膜电阻器基板的制备方法技术

技术编号:14581860 阅读:45 留言:0更新日期:2017-02-08 12:18
本发明专利技术公开了一种复合型膜电阻器基板的制备方法,其具体制备步骤为:(1)将氧化铝、氧化钼、氧化锆、氧化硅颗粒混合,置入粉碎机中,加入混合物等质量的乙醇进行粉碎,粉碎后置入烘干机烘干;(2)将烘干的混合料再置入球磨机中加水球磨处理,后将混合粉料置入烘干机中烘干;(3)再将混合粉料中加入模具中,置入烧结炉中烧结,烧结后,梯度降温冷却;本发明专利技术的有益效果是:采用两段式粉碎研磨,使粉料更加精细,制备的基板组分更加均匀,并在烧结后采用梯度式冷却,减少基板的裂隙瑕疵。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电阻器基板制备
,特别是一种复合型膜电阻器基板的制备方法。
技术介绍
膜电阻器制备的过程中,起到电阻电学作用的膜层都需要在特制的基板上进行成膜,基板需要具有耐高温、电绝缘性能高、介电常数和介质损耗低、热导率大、化学稳定性好、与元件的热膨胀系数相近等性能。电阻器基板的性能优劣对于电阻膜的成膜性和电学性能都有着较大的影响。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决现有技术中的问题,公开了一种复合型膜电阻器基板的制备方法。为实现上述目的,本专利技术公开了一种复合型膜电阻器基板的制备方法,其具体制备步骤为:(1)将氧化铝、氧化钼、氧化锆、氧化硅颗粒混合,置入粉碎机中,加入混合物等质量的乙醇进行粉碎,粉碎2-3小时后置入烘干机烘干;(2)将烘干的混合料再置入球磨机中加入混合料1-2倍质量的水,进行球磨处理,球磨10-12小时后,将混合粉料置入烘干机中在140-160℃烘干;(3)再将混合粉料中加入模具中,置入烧结炉中在1600-1800℃下烧结,烧结60-80分钟后,先降温至1000℃,再降温至400℃,最后自然冷却。本专利技术的优点和积极效果是:本专利技术方法采用两段式粉碎研磨,使粉料更加精细,制备的基板组分更加均匀,并在烧结后采用梯度式冷却,减少基板的裂隙瑕疵。具体实施方式具体实施例一:一种复合型膜电阻器基板的制备方法,其具体制备步骤为:(1)将氧化铝、氧化钼、氧化锆、氧化硅颗粒混合,置入粉碎机中,加入混合物等质量的乙醇进行粉碎,粉碎2小时后置入烘干机烘干;(2)将烘干的混合料再置入球磨机中加入混合料1倍质量的水,进行球磨处理,球磨10小时后,将混合粉料置入烘干机中在140℃烘干;(3)再将混合粉料中加入模具中,置入烧结炉中在1600℃下烧结,烧结60分钟后,先降温至1000℃,再降温至400℃,最后自然冷却。具体实施例二:一种复合型膜电阻器基板的制备方法,其具体制备步骤为:(1)将氧化铝、氧化钼、氧化锆、氧化硅颗粒混合,置入粉碎机中,加入混合物等质量的乙醇进行粉碎,粉碎3小时后置入烘干机烘干;(2)将烘干的混合料再置入球磨机中加入混合料2倍质量的水,进行球磨处理,球磨12小时后,将混合粉料置入烘干机中在160℃烘干;(3)再将混合粉料中加入模具中,置入烧结炉中在1800℃下烧结,烧结80分钟后,先降温至1000℃,再降温至400℃,最后自然冷却。具体实施例三:一种复合型膜电阻器基板的制备方法,其具体制备步骤为:(1)将氧化铝、氧化钼、氧化锆、氧化硅颗粒混合,置入粉碎机中,加入混合物等质量的乙醇进行粉碎,粉碎2.5小时后置入烘干机烘干;(2)将烘干的混合料再置入球磨机中加入混合料1.5倍质量的水,进行球磨处理,球磨11小时后,将混合粉料置入烘干机中在150℃烘干;(3)再将混合粉料中加入模具中,置入烧结炉中在1700℃下烧结,烧结70分钟后,先降温至1000℃,再降温至400℃,最后自然冷却。以上所述,仅为本专利技术较佳的具体实施方式,但本专利技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本专利技术揭露的技术范围内,根据本专利技术的技术方案及其专利技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种复合型膜电阻器基板的制备方法,其特征在于其具体制备步骤为:(1)将氧化铝、氧化钼、氧化锆、氧化硅颗粒混合,置入粉碎机中,加入混合物等质量的乙醇进行粉碎,粉碎2‑3小时后置入烘干机烘干;(2)将烘干的混合料再置入球磨机中加入混合料1‑2倍质量的水,进行球磨处理,球磨10‑12小时后,将混合粉料置入烘干机中在140‑160℃烘干;(3)再将混合粉料中加入模具中,置入烧结炉中在1600‑1800℃下烧结,烧结60‑80分钟后,先降温至1000℃,再降温至400℃,最后自然冷却。

【技术特征摘要】
1.一种复合型膜电阻器基板的制备方法,其特征在于其具体制备步骤为:(1)将氧化铝、氧化钼、氧化锆、氧化硅颗粒混合,置入粉碎机中,加入混合物等质量的乙醇进行粉碎,粉碎2-3小时后置入烘干机烘干;(2)将烘干的混合料再置入球磨机中加入混合料1-2...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹维常
申请(专利权)人:安徽斯迈尔电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

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