The invention discloses a pixel structure of a X ray plate detector and its manufacturing method, the camera system, the pixel structure of the X flat panel detector includes at least one pixel signal readout circuit is arranged on the substrate, and is arranged in the pixel signal readout circuit of the sensor; the sensor comprises a photoelectric converter flashing layer and set in the flash layer just below, each of the pixel signal readout circuit is arranged on the photoelectric conversion device. The pixel signal readout circuit is arranged below the photoelectric conversion device, compared with the existing technology, photoelectric converter and switch transistor are arranged in parallel, without increasing the pixel area at the same time, increase the sensitive area of photoelectric conversion device, improve the ability of image acquisition.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及摄像
,具体涉及一种X射线平板探测器的像素结构及其制备方法、摄像系统。
技术介绍
目前,数字化X线摄影(DigitalRadiography,DR)技术被广泛应用于医疗仪器,如拍摄X射线胸片的X射线机。DR装置的关键部件是获取图像的平板探测器,其性能优劣会对DR图像质量产生比较大的影响。由于现有技术中平板探测器中的光电转换器件与开关晶体管并行设置(即二者在衬底基板上的投影无重叠),光电转换器件的感光面积受到限制,若增大光电转换器件的感光面积则需要增大像素面积,就会降低像素的开口率,从而降低X射线平板探测器的分辨率。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷,本专利技术提供了一种X射线平板探测器的像素结构及其制备方法、摄像系统,实现了在不增加像素面积的同时,增大了光电转换器件的感光面积,提高了图像采集能力。第一方面,本专利技术提供一种X射线平板探测器的像素结构,包括设置在衬底上的至少一个像素信号读出电路,以及设置在所述像素信号读出电路上的传感器;所述传感器包括闪烁层和设置在所述闪烁层正下方的光电转换器件,各所述像素信号读出电路设置于所述光电转换器件的下方。可选的,所述传感器中的闪烁层和光电转换器件在衬底上的投影重叠。可选的,所述像素信号读出电路包括第一读出电路。可选的,所述第一读出电路包括触控芯片和触控电路,所述触控电路包括多条感应电极和多条驱动电极 ...
【技术保护点】
一种X射线平板探测器的像素结构,其特征在于,包括设置在衬底上的至少一个像素信号读出电路,以及设置在所述像素信号读出电路上的传感器;所述传感器包括闪烁层和设置在所述闪烁层正下方的光电转换器件,各所述像素信号读出电路设置于所述光电转换器件的下方。
【技术特征摘要】
1.一种X射线平板探测器的像素结构,其特征在于,包括设置
在衬底上的至少一个像素信号读出电路,以及设置在所述像素信号读
出电路上的传感器;
所述传感器包括闪烁层和设置在所述闪烁层正下方的光电转换
器件,各所述像素信号读出电路设置于所述光电转换器件的下方。
2.根据权利要求1所述的像素结构,其特征在于,所述传感器
中的闪烁层和光电转换器件在衬底上的投影重叠。
3.根据权利要求1所述的像素结构,其特征在于,所述像素信
号读出电路包括第一读出电路。
4.根据权利要求3所述的像素结构,其特征在于,所述第一读
出电路包括触控芯片和触控电路,所述触控电路包括多条感应电极和
多条驱动电极;
所述触控芯片与所述触控电路连接,用于向多条所述驱动电极发
送驱动信号,以及检测多条所述感应电极的感应信号,并确定驱动电
极和感应电极之间的电容的变化量。
5.根据权利要求4所述的像素结构,其特征在于,所述触控电
路为电容式触控电路。
6.根据权利要求1所述的像素结构,其特征在于,所述像素结
构包括第二读出电路,所述第二读出电路为开关晶体管,所述开关晶
体管的漏极和源极中的一个与所述光电转换器件的输出端相连。
7.根据权利要求3所述的像素结构,其特征在于,所述像素结
构包括第二读出电路,所述第二读出电路为开关晶体管,所述开关晶
体管的漏极和源极中的一个与所述光电转换器件的输出端相连;所述
第二读出电路和第一读出电路分别设置在所述衬底上,且两者无交叠
区域。
8.根据权利要求1所述的像素结构,其特征在于,所述闪烁层
\t为柱状排列的晶体阵列,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:田慧,徐传祥,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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