【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种简便溶胶设备。
技术介绍
光刻胶是集成电路制造工艺中的一种关键材料,在光刻胶研发及生产过程中需要对胶的组成成分,如树脂、交联剂、溶剂及添加剂等混合溶解均匀。由于任一组成成分配比量的不同都会对胶的整体性能产生较大的影响,因此常常需要配制大量的光刻胶小样进行实验测试,在获得理想结果的胶组分配比后,再进行放大测试与生产。因光刻胶原材料多为进口,成本较高,且其对水分和光照的要求极高,为减少原料的浪费,光刻胶小样一般在20ml、50ml、100ml、500ml棕色瓶或玻璃瓶在黄光下密封进行配置。目前业界进行光刻胶的生产主要是由反应釜来进行,但由于反应釜的最小搅拌量为1000克,当配比量在1克到500克时,光刻胶成分未能短时充分有效混合,不利于光刻实验,并且浪费了设备及其他资源,同时降低了光刻胶研发效率,影响研发进程。目前国内专业研发光刻胶的单位很少,鲜有报道有专门用于光刻胶小样的溶解方法或设备。实验室制备光刻胶小样时,则主要采用以下常用的固液或液液混合方法。①手动摇晃样品瓶,使原料尽量溶解并混合均匀。本方法耗时又费力, ...
【技术保护点】
简便溶胶设备,其特征是,包括支架(1),支架(1)的侧面设有电机(2),电机(2)的转子上固定有转盘(3),转盘(3)上对称安装有若干粘扣(4),配胶后的塑料瓶绑在粘扣(4)上。
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.简便溶胶设备,其特征是,包括支架(1),支架(1)的侧面设有电机(2),电机(2)的转子上固定有转盘(3),转盘(3)上对称安装有若干粘扣(4),配胶后的塑料瓶绑在粘扣(4)上。
技术研发人员:刘运,向容,孙越,
申请(专利权)人:潍坊星泰克微电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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