一种高温扩散炉废气过滤排放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高温扩散炉废气过滤排放装置，包括高温扩散炉本体，所述高温扩散炉本体顶部固定连通有废气管，所述废气管中部固定设有鼓风机，所述废气管端部设有出气孔，所述废气管端部设置在水池底部，所述水池侧面和上表面均固定设有散热片，所述水池顶部固定设有进水管，所述水池底部固定设有排水管，所述水池顶部和排气道相互连通，所述排气道上固定设有干燥装置。本实用新型专利技术设计合理，通过一系列的结构，可以保证高温扩散炉内的废气可以经过降温过滤然后再进行排放，从而可以控制排放的气体的质量，减少废气对环境的污染，非常环保。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于工业加工设备
，具体涉及一种高温扩散炉废气过滤排放装置。
技术介绍
扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。扩散炉在工作过程中，经高温扩散产生的尾气直接进入排气管道，会产生较多的废气排放，不仅影响厂区空气质量，还会造成一定的大气污染。因此需要一种可以对废气进行过滤的装置来解决上述提到的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高温扩散炉废气过滤排放装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高温扩散炉废气过滤排放装置，包括高温扩散炉本体，所述高温扩散炉本体顶部固定连通有废气管，所述废气管中部固定设有鼓风机，所述废气管端部设有出气孔，所述废气管端部设置在水池底部，所述水池侧面和上表面均固定设有散热片，所述水池顶部固定设有进水管，所述水池底部固定设有排水管，所述水池顶部和排气道相互连通，所述排气道上固定设有干燥装置。优选的，所述干燥装置内部设有吸水树脂过滤层。优选的，所述进水管和排水管内均固定设有电磁阀。优选的，所述水池外壁为铜板。优选的，所述散热片为铜散热片，且所述散热片在水池的侧面和上表面间隔设置最少为12片。本技术的技术效果和优点：该高温扩散炉废气过滤排放装置，利用鼓风机可以将高温扩散炉本体在工作中产生的废气吸到废气管中，然后经过出气孔将废气送到水池中，因为废气中会存在一些含有很多杂质的高温气态水，经过水池中的水进行降温过滤，从而可以将废气中杂质去除，由于水池外壁为铜板，且水池侧面和上表面固定设有散热片，可以很好地对水池中的水进行散热，使水池中的水始终保持在一个较低的温度，防止高温的废气将水池中的水加热到过高的温度，从而可以保证水池中的水对废气的降温过滤的效果，然后干燥装置可以很好地保证了废气经过水池降温过滤以后的气体在排出的时候，不会存在杂质被水汽携带排出的情况，可以保证排出的气体的清洁。因此，本技术设计合理，通过一系列的结构，可以保证高温扩散炉内的废气可以经过降温过滤然后再进行排放，从而可以控制排放的气体的质量，减少废气对环境的污染，非常环保。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：1高温扩散炉本体、2废气管、3鼓风机、4排气道、5干燥装置、6进水管、7出气孔、8水池、9散热片、10排水管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1所示的一种高温扩散炉废气过滤排放装置，包括高温扩散炉本体1，所述高温扩散炉本体1顶部固定连通有废气管2，所述废气管2中部固定设有鼓风机3，所述废气管2端部设有出气孔7，所述废气管2端部设置在水池8底部，所述水池8外壁为铜板，所述水池8侧面和上表面均固定设有散热片9，所述散热片9为铜散热片，且所述散热片9在水池8的侧面和上表面间隔设置最少为12片，所述水池8顶部固定设有进水管6，所述水池8底部固定设有排水管10，所述进水管6和排水管10内均固定设有电磁阀，所述水池8顶部和排气道4相互连通，所述排气道4上固定设有干燥装置5，所述干燥装置5内部设有吸水树脂过滤层。该高温扩散炉废气过滤排放装置，利用鼓风机3可以将高温扩散炉本体1在工作中产生的废气吸到废气管2中，然后经过出气孔7将废气送到水池8中，因为废气中会存在一些含有很多杂质的高温气态水，经过水池8中的水进行降温过滤，从而可以将废气中杂质去除，由于水池8外壁为铜板，且水池8侧面和上表面均固定设有散热片9，可以很好地对水池8中的水进行散热，使水池8中的水始终保持在一个较低的温度，防止高温的废气将水池8中的水加热到过高的温度，从而可以保证水池8中的水对废气的降温过滤的效果，然后干燥装置5可以很好地保证了废气经过水池8降温过滤以后的气体经过排气道4排出的时候，不会存在杂质被水汽携带排出的情况，可以保证排出的气体的清洁。因此，本技术设计合理，通过一系列的结构，可以保证高温扩散炉内的废气可以经过降温过滤然后再进行排放，从而可以控制排放的气体的质量，减少废气对环境的污染，非常环保。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高温扩散炉废气过滤排放装置，包括高温扩散炉本体（1），其特征在于：所述高温扩散炉本体（1）顶部固定连通有废气管（2），所述废气管（2）中部固定设有鼓风机（3），所述废气管（2）端部设有出气孔（7），所述废气管（2）端部设置在水池（8）底部，所述水池（8）侧面和上表面均固定设有散热片（9），所述水池（8）顶部固定设有进水管（6），所述水池（8）底部固定设有排水管（10），所述水池（8）顶部和排气道（4）相互连通，所述排气道（4）上固定设有干燥装置（5）。

【技术特征摘要】
1.一种高温扩散炉废气过滤排放装置，包括高温扩散炉本体（1），其特征在于：所述高温扩散炉本体（1）顶部固定连通有废气管（2），所述废气管（2）中部固定设有鼓风机（3），所述废气管（2）端部设有出气孔（7），所述废气管（2）端部设置在水池（8）底部，所述水池（8）侧面和上表面均固定设有散热片（9），所述水池（8）顶部固定设有进水管（6），所述水池（8）底部固定设有排水管（10），所述水池（8）顶部和排气道（4）相互连通，所述排气道（4）上固定设有干燥装置（5）。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈德榜，
申请(专利权)人：温州海旭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33