【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种新型硅晶板烘烤箱，属于硅晶板干燥领域。
技术介绍
元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素，在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素，硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，半导体通过控制电流来管理数据，形成各种文字、数字、声音、图象和色彩，它们被广泛用于集成电路，并间接被地球上的每个人使用，这些应用有些是日常应用，干燥印刷线路硅晶板，产品干燥要均匀，不能有杂质附着产品表面，一般选择燃气烘烤，比较繁琐，因此，需要进一步改进。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种新型硅晶板烘烤箱，通过风机和加热管下置，利用烤箱后盖板结构上的设计来导流，让热流流入硅片盛放箱需要烘烤的产品位置，硅片盛放箱和加热箱之间有个通孔，形成热流循环利用，通过温度控制器感应温度，并将信号传送至控制器，控制加热管与风机的运行，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：一种新型硅晶板烘烤箱，包括烤箱箱体，所述烤箱箱体内腔通过隔板分别设有硅片盛放箱与加热箱，所述硅片盛放箱一侧通过铰链连接密封门，所述硅片盛放箱内腔底部设有滑道，所述滑道上设有硅片固定架，所述加热箱内腔底部设有加热管，所述加热管一侧设有风机，所述烤箱箱体一侧连接烤箱后盖，所述烤箱后盖为中空结构，所述烤箱箱体与烤箱后盖贯通连接，所述隔板上还设有长孔。进一步而言，所述烤箱箱体一侧设有控制器，...
【技术保护点】
一种新型硅晶板烘烤箱，包括烤箱箱体(1)，其特征在于，所述烤箱箱体(1)内腔通过隔板(2)分别设有硅片盛放箱(3)与加热箱(4)，所述硅片盛放箱(3)一侧通过铰链连接密封门(5)，所述硅片盛放箱(3)内腔底部设有滑道(6)，所述滑道(6)上设有硅片固定架(7)，所述加热箱(4)内腔底部设有加热管(8)，所述加热管(8)一侧设有风机(9)，所述烤箱箱体(1)一侧连接烤箱后盖(10)，所述烤箱后盖(10)为中空结构，所述烤箱箱体(1)与烤箱后盖(10)贯通连接，所述隔板(2)上还设有长孔(11)。
【技术特征摘要】
1.一种新型硅晶板烘烤箱，包括烤箱箱体(1)，其特征在于，所述烤箱箱体(1)内腔通过隔板(2)分别设有硅片盛放箱(3)与加热箱(4)，所述硅片盛放箱(3)一侧通过铰链连接密封门(5)，所述硅片盛放箱(3)内腔底部设有滑道(6)，所述滑道(6)上设有硅片固定架(7)，所述加热箱(4)内腔底部设有加热管(8)，所述加热管(8)一侧设有风机(9)，所述烤箱箱体(1)一侧连接烤箱后盖(10)，所述烤箱后盖(10)为中空结构，所述烤箱箱体(1)与烤箱后盖(10)贯通连接，所述隔板(2)上还设有长孔(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾斌，
申请(专利权)人：上海勤达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。