光学式内面测量装置制造方法及图纸

在使探头进入到被测量物的内周面或深孔内径中、用来将由内面反射的光线立体地取入而观察及测量精度的光学式内面测量装置中，能够进行更高精度的测量。在具备内置在管中的光纤、配置在该光纤的前端侧的光路变换机构和使该光路变换机构旋转驱动的马达的构造中，具有测量马达的旋转轴部的振动量的机构。通过用位移测量机构的位移量数据修正由计算机计算来自被检查物的反射光得到的被检查物的内周面的形状数据，消除马达的旋转轴的振动或旋转振动带来的测量误差，能够进行高精度的测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使探头进入到被检对象物的内周面或深孔内径中而对内面或深孔底面放射光线、将反射光立体地取入而观察、以及用于测量尺寸及几何学精度的光学式内面测量装置。
技术介绍
例如汽车用发动机的汽缸的加工完成尺寸及几何学精度的好坏较大地影响到汽车的动力性能和燃料消耗效率，但它们的检查通常用使用了正圆度测量机、表面粗糙度计、线性标尺的测长仪等的接触式测量机来检查。但是，近年来，出于不弄伤被测量物的目的，出现了光学式的非接触式测量机。作为非接触地观察被测量物内面有无损伤的手段，图像诊断技术(光成像技术)是在装置机械、医疗等的现场中被广泛利用的技术，例如在精密设备等的制造现场中，作为深孔的里部的检查及图像诊断的方法，采用除了通常的通过内窥镜的照相机观察以外还照射光线并用光传感器捕捉反射光、用计算机判断光泽不匀的状态而自动检查的方法。另一方面，在医疗的领域中，在人体内部的患部的观察中，随着研究而利用能够观察断层图像的X射线CT、核磁共振、利用光的干涉性并通过内窥镜的OCT图像(光干涉断层摄影)等的方式。在医疗的领域中被用作光源的近红外线光在被测量物的深孔内周面的材质为金属类的情况下反射，在金属本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学式内面测量装置，使用干涉光学法进行被检对象物的观察及测量，其特征在于，该光学式内面测量装置具备：光纤，内置在管中；至少1个光路变换机构，配置在上述光纤的前端侧；马达，使上述光纤和上述光路变换机构的一方或双方旋转驱动；以及位移检测机构，测量上述马达的旋转轴部的振动量。

【技术特征摘要】
1.一种光学式内面测量装置，使用干涉光学法进行被检对象物的观察及测量，其特征在于，该光学式内面测量装置具备：光纤，内置在管中；至少1个光路变换机构，配置在上述光纤的前端侧；马达，使上述光纤和上述光路变换机构的一方或双方旋转驱动；以及位移检测机构，测量上述马达的旋转轴部的振动量。2.如权利要求1所述的光学式内面测量装置，其特征在于，上述位移检测机构对置于上述旋转轴部的外周面，并配置有至少1个检测传感器。3.如权利要求1或2所述的光学式内面测量装置，其特征在于，基于由计算机计算而得到的被检查物的内周面的形状数据和上述位移检测机构的位移量数据对经过上述光纤得到的来自被检对象物的反射光进行修正。4.如权利要求1～3中任一项所述的光学式内面测量装置，其特征在于，上述位移检测机构检测上述管的内周的基准形状数据与在上述旋转轴的旋转中得到的上述管内周面或外周面的测量数据的差异作为上述振动量。5.如权利要求1～4中任一项所述的光学式内面测量装置，其特征在于，支承上述旋转轴部的轴承是带有动压槽的动压轴承。6.如权利要求1～5中任一项所述的光学式内面测量装置，其特征在于，上述马达的上述旋转轴部是中空形状；上述光路变换机构配置为能够与上述旋转轴部一体旋转；上述光纤以与上述旋转轴部相对旋转自如的方式插通在上述旋转驱动轴的中空孔中。7.如权利要求1～5中任一项所述的光学式内面测量装置，其特征在于，上述马达包括第1马达和配置在上述第1马达的...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎大志，福岛绘理，柳浦一美，浅田隆文，
申请(专利权)人：并木精密宝石株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP