曝光方法技术

本发明专利技术提供一种曝光方法，通过黑白显示技术，形成数码光罩，即使用黑白显示面板作为光罩，利用黑白显示面板的显示图案对基板进行曝光，在基板上形成与该显示图案相对应的曝光图案，作为光罩的黑白显示面板通过更换显示图案则可持续应用于不同的曝光工艺中，从而不用更换光罩，降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种曝光方法。
技术介绍
液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如：移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括壳体、设于壳体内的液晶显示面板及设于壳体内的背光模组(Backlightmodule)。液晶显示面板的结构是由一彩色滤光片基板(ColorFilterSubstrate)、一薄膜晶体管阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubstrate，TFTArraySubstrate)以及一配置于两基板间的液晶层(LiquidCrystalLayer)所构成。目前主流市场上的LCD，就液晶的驱动模式而言，可分为三种类型，分别是扭曲向列(TwistedNematic，TN)或超扭曲向列(SuperTwistedNematic，STN)型，面内转换(In-PlaneSwitching，IPS)型、及垂直配向(VerticalAlignment，VA)型。其中，TN型本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光方法，其特征在于，使用黑白显示面板(1)作为光罩，利用黑白显示面板(1)的显示图案进行曝光；所述黑白显示面板(1)的显示图案具有黑色显示区域(101)、及白色显示区域(102)，其中，所述黑色显示区域(101)不透光，所述白色显示区域(102)透光。

【技术特征摘要】
1.一种曝光方法，其特征在于，使用黑白显示面板(1)作为光罩，利用黑白显示面板(1)的显示图案进行曝光；所述黑白显示面板(1)的显示图案具有黑色显示区域(101)、及白色显示区域(102)，其中，所述黑色显示区域(101)不透光，所述白色显示区域(102)透光。2.如权利要求1所述的曝光方法，其特征在于，具体包括如下步骤：步骤1、设计一光罩图案，将该光罩图案的图像信号输入黑白显示面板(1)中，所述黑白显示面板(1)根据被输入的图像信号进行显示，形成与该光罩图案相对应的显示图案；步骤2、提供基板(2)及曝光光源，将具有该显示图案的黑白显示面板(1)置于所述基板(2)上，利用黑白显示面板(1)的显示图案对基板(2)进行曝光，其中，曝光光源发出的光线被黑色显示区域(101)遮挡，则所述基板(2)上对应该黑色显示区域(101)下方的部分不被曝光，曝光光源发出的光线穿过白色显示区域(102)而照射在基板(2)上，则所述基板(2)上对应该白色显示区域(102)下方的部分被曝光，从而在所述基板(2)上形成与该显示图...

【专利技术属性】
技术研发人员：王轩，李秀妍，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42