曝光方法技术

本发明专利技术提供一种曝光方法，通过黑白显示技术，形成数码光罩，即使用黑白显示面板作为光罩，利用黑白显示面板的显示图案对基板进行曝光，在基板上形成与该显示图案相对应的曝光图案，作为光罩的黑白显示面板通过更换显示图案则可持续应用于不同的曝光工艺中，从而不用更换光罩，降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种曝光方法。
技术介绍
液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如：移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括壳体、设于壳体内的液晶显示面板及设于壳体内的背光模组(Backlightmodule)。液晶显示面板的结构是由一彩色滤光片基板(ColorFilterSubstrate)、一薄膜晶体管阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubstrate，TFTArraySubstrate)以及一配置于两基板间的液晶层(LiquidCrystalLayer)所构成。目前主流市场上的LCD，就液晶的驱动模式而言，可分为三种类型，分别是扭曲向列(TwistedNematic，TN)或超扭曲向列(SuperTwistedNematic，STN)型，面内转换(In-PlaneSwitching，IPS)型、及垂直配向(VerticalAlignment，VA)型。其中，TN型采用的是液晶显示器中最基本的显示技术，而之后其它种类的液晶显示器也是以TN型为基础来进行改良，因此它的运作原理也较其它技术来的简单。在液晶显示面板的制造过程中，会多次利用曝光工艺。具体为，在涂有光刻胶的基板上方放置光罩，然后利用曝光机对基板进行曝光。曝光工艺的主要原理就是通过曝光灯的照射，将光罩上的图形转印到玻璃基板上。传统的光罩制作过程如下：以苏打玻璃或石英玻璃为基材，在其表面上镀一层铬(Cr)层形成遮光层，再在铬层上面镀一层氧化铬层，最后在氧化铬层表面涂覆一层感光胶；使用软件控制曝光装置对其进行电子束曝光或激光曝光；再通过化学反应，即通过化学药液对感光胶及部分铬层去除从而形成设计者所需的图形图案，将图形图案铬印在玻璃基版上即成为光罩。每次的曝光工艺通常只使用一个光罩进行曝光，使用完这一次曝光的光罩后，因为曝光图案的不同，下一次曝光通常需要重新换一个新的光罩或制作一个新的光罩，对于上述情况，不仅费时，且大大提高了制造成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种曝光方法，通过黑白显示技术，形成数码光罩，作为光罩的黑白显示面板可持续应用于不同的曝光工艺中，降低成本。为实现上述目的，本专利技术提供一种曝光方法，使用黑白显示面板作为光罩，利用黑白显示面板的显示图案进行曝光；所述黑白显示面板的显示图案具有黑色显示区域、及白色显示区域，其中，所述黑色显示区域不透光，所述白色显示区域透光。该曝光方法，具体包括如下步骤：步骤1、设计一光罩图案，将该光罩图案的图像信号输入黑白显示面板中，所述黑白显示面板根据被输入的图像信号进行显示，形成与该光罩图案相对应的显示图案；步骤2、提供基板及曝光光源，将具有该显示图案的黑白显示面板置于所述基板上，利用黑白显示面板的显示图案对基板进行曝光，其中，曝光光源发出的光线被黑色显示区域遮挡，则所述基板上对应该黑色显示区域下方的部分不被曝光，曝光光源发出的光线穿过白色显示区域而照射在基板上，则所述基板上对应该白色显示区域下方的部分被曝光，从而在所述基板上形成与该显示图案相对应的曝光图案。所述步骤1中，光罩图案的图像信号通过黑白显示面板的信号输入线输入黑白显示面板中。所述步骤2中提供的基板具有光刻胶层，所述曝光图案形成于所述光刻胶层。所述光刻胶层为正性光刻胶材料、或负性光刻胶材料。所述步骤2中，采用UV曝光方式对基板进行曝光，所述曝光光源为UV灯，所述曝光光源置于所述黑白显示面板上方。所述黑白显示面板为TN型黑白液晶显示面板。所述黑白显示面板的显示图案中，白色显示区域整体具有相同的透光率。所述黑白显示面板作为多灰阶光罩，其显示图案中，白色显示区域包括分别具有不同透光率的两个以上的透光部分。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的曝光方法，通过黑白显示技术，形成数码光罩，即使用黑白显示面板作为光罩，利用黑白显示面板的显示图案对基板进行曝光，在基板上形成与该显示图案相对应的曝光图案，作为光罩的黑白显示面板通过更换显示图案则可持续应用于不同的曝光工艺中，从而不用更换光罩，降低成本。附图说明为了能更进一步了解本专利技术的特征以及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本专利技术加以限制。附图中，图1为本专利技术的曝光方法的流程示意图；图2为本专利技术的曝光方法的步骤1的示意图；图3为本专利技术的曝光方法的步骤2的示意图。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术所采取的技术手段及其效果，以下结合本专利技术的优选实施例及其附图进行详细描述。本专利技术提供一种曝光方法，使用黑白显示面板1作为光罩，利用黑白显示面板1的显示图案进行曝光；所述黑白显示面板1的显示图案具有黑色显示区域101、及白色显示区域102，其中，所述黑色显示区域101不透光，所述白色显示区域102透光。本专利技术的曝光方法，通过黑白显示技术，利用黑白显示面板1形成数码光罩，从而对于不同的曝光工艺，通过更换黑白显示面板1的显示图案即可实现其在不同曝光工艺中的切换应用，不用更换光罩，降低了成本。具体地，请参阅图1，所述曝光方法包括如下步骤：步骤1、如图2所示，设计一光罩图案，将该光罩图案的图像信号输入黑白显示面板1中，所述黑白显示面板1根据被输入的图像信号进行显示，形成与该光罩图案相对应的显示图案。具体地，所述步骤1中，光罩图案的图像信号通过黑白显示面板1的信号输入线11输入黑白显示面板1中。具体地，在本专利技术的曝光方法中，所述黑白显示面板1可用作普通的光罩，即所设计的光罩图案上各部分仅有遮光和透光之分，从而该步骤1中，所述黑白显示面板1的显示图案中，白色显示区域102整体具有相同的透光率。当然，所述黑白显示面板1也可用作多灰阶光罩，即相对于用作普通光罩而言，该步骤1中，所述黑白显示面板1的显示图案中，白色显示区域102包括分别具有不同透光率的两个以上的透光部分。步骤2、如图3所示，提供基板2及曝光光源，将具有该显示图案的黑白显示面板1置于所述基板2上，利用黑白显示面板1的显示图案对基板2进行曝光，其中，曝光光源发出的光线被黑色显示区域101遮挡，则所述基板2上对应该黑色显示区域101下方的部分不被曝光，曝光光源发出的光线穿过白色显示区域102而照射在基板2上，则所述基板2上对应该白色显示区域102下方的部分被曝光，从而在所述基板2上形成与该显示图案相对应的曝光图案。具体地，所述步骤2中提供的基板2具有光刻胶层，所述曝光图案形成于所述光刻胶层，后续通过对该光刻胶层进行蚀刻，即可得到具有对应所设计的光罩图案的特定图案的光刻胶层。具体地，所述光刻胶层为正性光刻胶材料、或负性光刻胶材料。具体地，所述步骤2中，采用UV曝光方式对基板2进行曝光，所述曝光光源为UV灯，所述曝光光源置于所述黑白显示面板1上方。优选地，所述黑白显示面板1为TN型黑白液晶显示面板，即本专利技术通过TN黑白显示技术形成数码光罩，当然，所述黑白显示面板1也可以为IPS型、VA型等其他可以实现本专利技术技术方案的黑白显示面板。综上所述，本专利技术的曝光方法，通过黑白显示技术，形成数码光罩，即使用黑白显示面板作为光罩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光方法，其特征在于，使用黑白显示面板(1)作为光罩，利用黑白显示面板(1)的显示图案进行曝光；所述黑白显示面板(1)的显示图案具有黑色显示区域(101)、及白色显示区域(102)，其中，所述黑色显示区域(101)不透光，所述白色显示区域(102)透光。

【技术特征摘要】
1.一种曝光方法，其特征在于，使用黑白显示面板(1)作为光罩，利用黑白显示面板(1)的显示图案进行曝光；所述黑白显示面板(1)的显示图案具有黑色显示区域(101)、及白色显示区域(102)，其中，所述黑色显示区域(101)不透光，所述白色显示区域(102)透光。2.如权利要求1所述的曝光方法，其特征在于，具体包括如下步骤：步骤1、设计一光罩图案，将该光罩图案的图像信号输入黑白显示面板(1)中，所述黑白显示面板(1)根据被输入的图像信号进行显示，形成与该光罩图案相对应的显示图案；步骤2、提供基板(2)及曝光光源，将具有该显示图案的黑白显示面板(1)置于所述基板(2)上，利用黑白显示面板(1)的显示图案对基板(2)进行曝光，其中，曝光光源发出的光线被黑色显示区域(101)遮挡，则所述基板(2)上对应该黑色显示区域(101)下方的部分不被曝光，曝光光源发出的光线穿过白色显示区域(102)而照射在基板(2)上，则所述基板(2)上对应该白色显示区域(102)下方的部分被曝光，从而在所述基板(2)上形成与该显示图...

【专利技术属性】
技术研发人员：王轩，李秀妍，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42