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本发明提供一种曝光方法，通过黑白显示技术，形成数码光罩，即使用黑白显示面板作为光罩，利用黑白显示面板的显示图案对基板进行曝光，在基板上形成与该显示图案相对应的曝光图案，作为光罩的黑白显示面板通过更换显示图案则可持续应用于不同的曝光工艺中，从...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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