吸振装置及吸振方法、光刻机系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种吸振装置及吸振方法，包括壳体、铁芯，所述壳体内设置有相互贯通的第一腔室和第二腔室，第一腔室内设置有磁流变弹性体，位于所述第二腔室的铁芯缠绕有励磁线圈。本发明专利技术通过励磁线圈的电流的大小控制所述磁流变弹性体的刚度变强或变弱，以保证吸振装置的振动频率与振动源的振动频率相一致，降低振动敏感位置的振动幅值。本发明专利技术还公开了一种光刻机系统，依次包括地基、基础框架、一级减振器、主基板、法兰，二级减振器、光刻投影物镜以及设置于光刻投影物镜的模态节点位置的吸振装置，该光刻机系统能够对光刻投影物镜产生的振动进行吸振，特别是对绕水平方向的吸振效果较佳。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造装备领域，特别涉及一种吸振装置及吸振方法，以及应用该吸振装置的光刻机系统。
技术介绍
目前吸振器应用地较广泛，分有被动式、半主动式和主动式吸振器等。在光刻
中，光刻机系统在工作过程中，工件台和掩模台分别以投影物镜的两面一轴为基准，其中，两面一轴是指物面、焦面和光轴，在控制系统的驱动下，按要求的精度实现工件台与掩模台之间的相对位置以及两者相对曝光系统的位置。由于光刻机具有高定位精度、高同步运动精度的特点，任何外界振动的传入和内部振动的干扰，都会引起两者之间或者两者相对物镜位置的短暂错位，这将会严重影响光刻成像质量。引起曝光系统成像精度的因素有如下：地基振动的传入、运动台的运动反力、外部噪声等。为了消除各种振动因素对光刻机曝光质量的影响，就要对整机系统采取有效的隔振和减振措施。通常的解决办法是设法将光刻机的曝光单元，其中曝光单元主要包括照明系统、掩模台、物镜和工件台，通过一套减振器同地基隔离开来，这样就可以降低外界振动的传入。随着大规模集成电路器件集成度的提高，光刻工作分辨力要求愈来愈高，即要求光刻机曝光系统的稳定性、测量系统的准确性和运动平台的精度也得愈本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸振装置，其特征在于，包括采用具有导磁性的硅钢制作的壳体(203)，所述壳体(203)内设置有相互贯通的第一腔室(203a)和第二腔室(203b)，所述第一腔室(203a)内设置有磁流变弹性体(207)，还包括贯穿于所述磁流变弹性体(207)、第二腔室(203b)、壳体(203)的具有导磁性的铁芯(205)，所述铁芯(205)的两端露出于所述壳体(203)之外，位于所述第二腔室(203b)的铁芯(205)缠绕有励磁线圈(204)。

【技术特征摘要】
1.一种吸振装置，其特征在于，包括采用具有导磁性的硅钢制作的壳体(203)，所述壳体(203)内设置有相互贯通的第一腔室(203a)和第二腔室(203b)，所述第一腔室(203a)内设置有磁流变弹性体(207)，还包括贯穿于所述磁流变弹性体(207)、第二腔室(203b)、壳体(203)的具有导磁性的铁芯(205)，所述铁芯(205)的两端露出于所述壳体(203)之外，位于所述第二腔室(203b)的铁芯(205)缠绕有励磁线圈(204)。2.如权利要求1所述的吸振装置，其特征在于，所述壳体(203)的外围至少部分设置有隔绝磁性的隔离套(202)，所述铁芯(205)的两端露出于所述隔离套(202)之外。3.如权利要求1所述的吸振装置，其特征在于，露出于所述壳体(203)之外的铁芯(205)的其中一端固定设置有连接件(201)。4.如权利要求1所述的吸振装置，其特征在于，远离所述连接件(201)的铁芯(205)的一端与所述壳体(203)之间设置有线性轴承(206)或钢圈(210)。5.如权利要求1所述的吸振装置，其特征在于，远离所述连接件(201)的铁芯(205)的一端穿射于所述壳体(203)的通孔(211)。6.如权利要求1所述的吸振装置，其特征在于，远离所述连接件(201)的铁芯(205)的一端与所述壳体(203)之间也设置有磁流变弹性体(207)。7.如权利要求1所述的吸振装置，其特征在于，所述第一腔室(203a)的端面与所述壳体(203)的端面不相通。8.如权利要求1所述的吸振装置，其特征在于，还包括传感器(208)，以获取振动体的振动信号，所述传感器(208)连接于控制器(209)，所述控制器(209)将所述吸振装置的吸振信号与所述振动信号对比，当所述振动信号与所述吸振信号不一致时，输出控制信号给所述励磁线圈(204)，以通过励磁线圈(204)的电流的大小控制所述磁流变弹性体(207)的刚度变强或变弱，直至
\t所述吸振装置的振动频率与振动体的振动频率相一致。9.如权利要求8所述的吸振装置，其特征在于，所述传感器(208)为加速度传感器，用于采集振动体的加速度信号。10.一种吸振方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1，将如权利要求1至9中任一项的吸振装置(200)固定设置在振动体上，采用传感器(208)检测所述振动体是否产生振动信号，若振动体产生振动信号，采用控制器(209)控制所述吸振装置(200)；步骤S2，传感器(208)将拾取振动体的振动信号传输给控制器(209)，控制器(209)辨别振动体的主频率；步骤S3，控制器(209)判断所述吸振装置(200)的吸振频率与所述振动体的振动频率是否一致；当频率一致时，不改变励磁线圈(204)的电流大小，吸振装置(200)吸振；当频率不一致时，控制器(209)输出控制信号给所述励磁线圈(204)，以通过励磁线圈(204)的电流的大小控制所述磁流变弹性体(207)的刚度变强或变弱，直至所...

【专利技术属性】
技术研发人员：季采云，孙见奇，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31