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吸振装置及吸振方法、光刻机系统制造方法及图纸
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文档序号:14339869
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本发明公开了一种吸振装置及吸振方法,包括壳体、铁芯,所述壳体内设置有相互贯通的第一腔室和第二腔室,第一腔室内设置有磁流变弹性体,位于所述第二腔室的铁芯缠绕有励磁线圈。本发明通过励磁线圈的电流的大小控制所述磁流变弹性体的刚度变强或变弱,以保证...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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