下载吸振装置及吸振方法、光刻机系统的技术资料

文档序号:14339869

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本发明公开了一种吸振装置及吸振方法,包括壳体、铁芯,所述壳体内设置有相互贯通的第一腔室和第二腔室,第一腔室内设置有磁流变弹性体,位于所述第二腔室的铁芯缠绕有励磁线圈。本发明通过励磁线圈的电流的大小控制所述磁流变弹性体的刚度变强或变弱,以保证...
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