柔性压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种柔性压力传感器。该压力传感器包括：上下层衬底；置于衬底上的电极；电极之间的绝缘填充材料。该压力传感器采用柔性衬底，电极材料采用金属材料或碳粉材料加工而成，电极加工方法采用压印方式，可实现该类器件大规模批量化生产的目的。本实用新型专利技术提出的新型柔性压力传感器具有灵敏度高，可大规模制造，用途广泛等优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及压力检测
，特别是柔性传感器领域，具体为一种柔性压力传感器。
技术介绍
常规压力传感器作为采集控制点压力数据的专用器件, 常用的压力传感器种类繁多，按敏感机理不同主要分为压阻式、压电式、电容式、光传感器式、磁传感式、超生传感式和机械传感式等。理想的压力传感器，应该具有成本低廉、制备简单和耐用性强等特点。常规压力传感器在电力、汽车、家居、工业制造等行业具有广泛的应用前景，但是常规压力传感器大都基于硬性的支撑衬底，不适用于大面积或不规则表面的压力检测，存在加工成本高、流程复杂等问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种具有较高灵敏度，加工简易，成本低廉的柔性压力传感器。本技术是采用如下技术方案实现的：一种柔性压力传感器，包括上层柔性衬底和下层柔性衬底，所述上层柔性衬底上分布有上电极，所述下层柔性衬底上分布下电极，所述上电极和下电极间隔相对布置；所述上下层柔性衬底之间设置柔性伸缩绝缘层。传感器的工作原理为，当有力压在上下衬底上时，柔性可伸缩绝缘层会发生收缩，使得上下电极相互靠近，上下电极间的有效面积增加，器件的电容值发生变化，进而通过电容值的变化确定作用的压力值。优选的，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性压力传感器，其特征在于：包括上层柔性衬底（1）和下层柔性衬底（2），所述上层柔性衬底（1）上分布有上电极（3），所述下层柔性衬底（2）上分布下电极（4），所述上电极（3）和下电极（4）间隔相对布置；所述上下层柔性衬底（1、2）之间设置柔性伸缩绝缘层（5）。

【技术特征摘要】
1.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括上层柔性衬底（1）和下层柔性衬底（2），所述上层柔性衬底（1）上分布有上电极（3），所述下层柔性衬底（2）上分布下电极（4），所述上电极（3）和下电极（4）间隔相对布置；所述上下层柔性衬底（1、2）之间设置柔性伸缩绝缘层（5）。2.根据权利要求1所述的柔性压力...

【专利技术属性】
技术研发人员：周子冠，刘月琴，曹钰，
申请(专利权)人：国网山西省电力公司忻州供电公司，中科鼎源北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14