角度对准装置（3）包括将多个基板（100）的每个以横放的状态在上下方向并列地保持的多个保持部（10A～E）、包含多个第一支持部（11A～E）的第一升降体（21A～E）、以及包含多个第二支持部（12A～E）的第二升降体（22A～E）。在依次选择基板的同时重复进行如下一系列的角度对准动作：使多个保持部（10A～E）一体旋转而对选择的一片基板（100）进行角度对准，使与角度对准完的基板（100）对应的第一支持部（11A～E）上升并用该第一支持部（11A～E）抬起该基板（100）。使多个第二支持部（12A～E）一起上升，支持在多个第一支持部（11A～E）的每个上的角度对准完毕的多片基板（100Z）的每个由多个第二支持部（12A～E）的每个抬起。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对多片基板进行对准的基板角度对准装置及基板角度对准方法，另外，涉及在基板容纳部、基板角度对准装置及基板处理装置之间运送基板的基板运送方法。
技术介绍
作为半导体晶圆的运送方法，已知如下方法：在被称为前开式晶圆传送盒（FOUP：Front-Opening Unified Pod，）的晶圆容纳器和对晶圆进行角度对准的角度对准装置（定位仪）之间将多片晶圆以分别保持横放的状态运送。专利文献1公开了为了实现该运送方法，将多片晶圆以分别横放的状态接纳并进行角度对准的装置及方法的一个例子。在专利文献1的角度对准装置中，三根支持杆竖立设置在一台转台上，各支持杆上分成上下五处固定有支持销。该装置具有与转台和支持杆独立的三根捧起杆，各捧起杆上分成五处固定有捧起销。三根捧起杆同步升降，但是此时捧起销之间的上下间隔不变。另一方面，捧起销之间的上下间隔小于支持销之间的上下间隔。专利文献1的角度对准方法中，晶圆传载机将五片晶圆分别放置在五处的支持销上，然后从角度对准装置退避。如此，在将五片晶圆运入角度对准装置时，这些晶圆以横向放置的状态经由支持杆支持在转台上。接着，驱动转台使五片晶圆一体旋转，存储各晶圆的旋转位置。接着，基于存储的旋转位置驱动转台，将最下级的晶圆进行角度对准。接着，使捧起杆上升，通过最下级的捧起销将最下级的晶圆捧起并从最下级的支持销离开。如前述那样，使捧起销之间的上下间隔小于支持销之间的上下间隔，因此该上升后也能够通过捧起销仅捧起最下段的晶圆，剩余的四片晶圆原样放置在支持销上。接着，基于存储的旋转位置驱动转台，对从下起的第二级的晶圆进行角度对准，使捧起杆上升，基于与上述同样的理由，仅将从下起第二级的晶圆由对应的捧起销捧起而从对应的支持销离开。由此，从下依次对此重复直到将最上级的晶圆角度对准。角度对准完的晶圆由于从支持销离开，因此即使转台动作也不旋转，保持角度对准了的状态。结束全部晶圆的角度对准时，使捧起杆下降，将全部晶圆从捧起销一起传载（传送承载）到支持销。该一系列的工作（运入、角度对准和传载）结束时，晶圆传载机取出在支持销上准备运出的角度对准完的五片晶圆，向晶圆容纳器运送。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000－294619号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题在专利文献1的装置及方法中，支持销用作来自晶圆传载机的唯一的晶圆运入目的地，并且用作至晶圆传载机的唯一的晶圆运出源。如果将五片作为一组考虑，在专利文献1的装置和方法中，没有同时接纳两组晶圆的余地，当暂时将某组晶圆运入角度对准装置时，只要该组晶圆没有被角度对准并运出，就不能运入下一组晶圆。因此，晶圆传载机在从运入到运出期间，在角度对准装置之前、未持有晶圆的状态下会产生等待的浪费。另一方面，角度对准装置在从角度对准完的晶圆被运出到下一组晶圆被运入为止，会产生什么也不能做而只能等待的浪费。为了避免上述无用的等待，也考虑在角度对准装置进行上述一系列的工作期间，晶圆传载机从角度对准装置移动到处理装置，接受处理完的晶圆并将其容纳到晶圆容纳器中，再从晶圆容纳器移动到角度对准装置。但是，在这种情况下，变成晶圆传载机在不带有晶圆的状态下从角度对准装置移动到处理装置，或从晶圆容纳器移动到角度对准装置，难免晶圆传载机的空运送。如此，通过专利文献1的装置和方法，晶圆传载机和角度对准装置均存在什么也不能做的等待时间，即使极力消除该等待时间，也无法避免晶圆传载机的空运送。由此，存在角度对准装置的工作效率或晶圆的运送效率的改善余地。因此，本专利技术的第一目的在于提供用于在将基板在横放状态下进行角度对准时，改善角度对准的工作效率和基板的运送效率的装置和方法。另外，本专利技术的第二目的在于，提供用于在基板容纳部、基板角度对准装置和基板处理装置之间运送基板时改善基板的运送效率的方法。解决问题的手段本专利技术是为达成上述目的而做出的，本专利技术的某种形态涉及的基板角度对准装置包括：多个保持部，所述多个保持部将多片基板的每片以横放状态在上下方向并列的形式保持；旋转驱动部，所述旋转驱动部使所述保持部一体旋转；多个第一升降体，所述多个第一升降体包括与所述多个保持部的每个对应的多个第一支持部，使对应的第一支持部在第一退避位置和第一支持位置之间单独升降，所述第一退避位置在保持于对应的保持部上的基板的下方，所述第一支持位置比所述对应的保持部靠上方；第二升降体，所述第二升降体包括与所述多个保持部和所述多个第一支持部的每个对应的多个第二支持部，使该多个第二支持部在第二退避位置和第二支持位置之间一起升降，所述第二退避位置在保持于对应的保持部上的基板的下方，所述第二支持位置比对应的第一支持部的所述第一支持位置靠上方；以及升降驱动部，所述升降驱动部驱动所述多个第一升降体和所述第二升降体。根据所述结构，旋转驱动部和升降驱动部能够在依次选择基板的同时，重复如下一系列的角度对准动作：使所述多个保持部一体旋转而对选择的一片基板进行角度对准，使与保持该角度对准完的基板的保持部对应的第一支持部单独地从第一退避位置上升到第一支持位置，从而将该基板由该第一支持部抬起。由此，能够实现以横放状态接纳多片基板的每片，且在使多个保持部一体旋转的同时，以横放状态依次对全部基板进行角度对准。之后，升降驱动部能够使多个第二支持部一起从第二退避位置上升至第二支持位置，通过多个第二支持部的每个抬起支持在多个第一支持部的每个上的角度对准完的多片基板。由此，能够在通过多个第二支持部准备角度对准完的多片基板的运出的同时，通过多个保持部准备未进行角度对准的多片基板的运入。因此，从对基板角度对准装置运出运入基板方面而言，能够将未进行角度对准的基板运送至基板角度对准装置并运入保持部，之后马上将角度对准完的基板从第二支持部运出而向其他规定场所运送。如此，由于通过基板角度对准装置能够当场将未进行角度对准的基板与角度对准完的基板交换，因此能够消除无用的等待时间和空运送。对基板角度对准装置而言，当未进行角度对准的基板被运入时，角度对准完的基板马上被运出，在角度对准完的基板的运出之后马上开始用于角度对准的工作。并且被运入的基板的角度对准只要在下一次基板被运入之前完成即可。因此，能够消除基板角度对准装置的等待时间。也可以是：所述旋转驱动部包括单一的旋转驱动源以及旋转传递机构，所述旋转传递机构将由所述旋转驱动源产生的驱动力向所述多个保持部的每个传递并将所述多个保持部一体旋转驱动。根据所述结构，通过由单一的旋转驱动源使多个保持部一体旋转，能够省略装置要素，因此能够廉价地制造小型重量轻的基板角度对准装置。也可以是：所述保持部是围绕其中心轴线自转的转台，所述第一支持部成对，一对所述第一支持部配置为在基板运入方向的正交方向夹着所述转台，所述第二支持部成对，一对所述第二支持部配置为在基板运入方向的正交方向夹着所述转台。根据所述结构，在要将多片基板运入多个转台的每个时，第一支持部和第二支持部不会阻碍基板的运入。当使一对第一支持部上升时，能够从下方支撑保持在转台上的基板中的、从转台向正交方向两侧突出的一对缘部。能够通过一对第一支持部抑制围绕基板运入方向轴线的转动力矩作用于基板，能够通过一对第一支持部平衡良好地抬起基板。对于第二支持部也是同样。也可以是：所述一对第一支持本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板角度对准装置，所述基板角度对准装置包括：多个保持部，所述多个保持部将多片基板的每片以横放状态在上下方向并列的形式保持；旋转驱动部，所述旋转驱动部使所述保持部一体旋转；第一升降体，所述第一升降体包括与所述多个保持部的每个对应的多个第一支持部，使该多个第一支持部在第一退避位置和第一支持位置之间升降，所述第一退避位置在保持于对应的保持部上的基板的下方，所述第一支持位置比所述对应的保持部靠上方；第二升降体，所述第二升降体包括与所述多个保持部和所述多个第一支持部的每个对应的多个第二支持部，使该多个第二支持部在第二退避位置和第二支持位置之间一起升降，所述第二退避位置在保持于对应的保持部上的基板的下方，所述第二支持位置比对应的第一支持部的所述第一支持位置靠上方；以及升降驱动部，所述升降驱动部驱动所述第一升降体和所述第二升降体。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板角度对准装置，所述基板角度对准装置包括：多个保持部，所述多个保持部将多片基板的每片以横放状态在上下方向并列的形式保持；旋转驱动部，所述旋转驱动部使所述保持部一体旋转；第一升降体，所述第一升降体包括与所述多个保持部的每个对应的多个第一支持部，使该多个第一支持部在第一退避位置和第一支持位置之间升降，所述第一退避位置在保持于对应的保持部上的基板的下方，所述第一支持位置比所述对应的保持部靠上方；第二升降体，所述第二升降体包括与所述多个保持部和所述多个第一支持部的每个对应的多个第二支持部，使该多个第二支持部在第二退避位置和第二支持位置之间一起升降，所述第二退避位置在保持于对应的保持部上的基板的下方，所述第二支持位置比对应的第一支持部的所述第一支持位置靠上方；以及升降驱动部，所述升降驱动部驱动所述第一升降体和所述第二升降体。2.根据权利要求1所述的基板角度对准装置，其特征在于，所述旋转驱动部包括单一的旋转驱动源以及旋转传递机构，所述旋转传递机构将由所述旋转驱动源产生的驱动力向所述多个保持部的每个传递并将所述多个保持部一体旋转驱动。3.根据权利要求1或2所述的基板角度对准装置，其特征在于，所述第一升降体设置有多个，所述多个第一升降体包括所述多个第一支持部的每个，所述升降驱动部包括与所述多个第一升降体的每个对应的多个第一升降驱动源。4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板角度对准装置，其特征在于，所述保持部是围绕其中心轴线自转的转台，所述第一支持部成对，一对所述第一支持部配置为在基板运入方向的正交方向夹着所述转台，所述第二支持部成对，一对所述第二支持部配置为在基板运入方向的正交方向夹着所述转台。5.根据权利要求4所述的基板角度对准装置，其特征在于，所述一对第一支持部在俯视中设置在通过所述转台的中心沿所述正交方向延伸的基准线上，所述一对所述第二支持部中的所述正交方向一侧的第二支持部进一步成对并配置为在所述基板运入方向夹着相同侧的所述第一支持部，所述一对第二支持部中的所述正交方向另一侧的第二支持部进一步成对并配置为在所述基板运入方向夹着相同侧的所述第一支持部。6.根据权利要求4或5所述的基板角度对准装置，其特征在于，所述第一升降体具有在比最下级的保持部靠下方的位置向所述正交方向延伸的基座部、以及从所述基座部的两端向上方延伸的一对杆部，所述一对第一支持部在所述一对杆部的每个上分开设置，所述多个转台在由所述基座部和所述一对杆部包围的空间内在上下方向并列。7.根据权利要求6所述的基板角度对准装置，其特征在于，所述第二升降体具有在比最下级的保持部靠下方的位置向所述正交方向延伸的基座部、以及与所述基座部连接的四根杆部，所述第一升降体被容纳在由所述四根杆部包围的所述第二升降体的内侧区域，所述四根杆部的每个上设置有第二支持部。8.根据权利要求7所述的基板角度对准装置，其特征在于，所述升降驱动部包括使所述多个第二支持部退避到比保持于对应的保持部上的基板的外周缘靠外侧的绕过驱动源，所述升降驱动部构成为使所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：后藤博彦，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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