本发明专利技术公布了一种基板干燥装置，包括密封腔体及位于所述密封腔体内部的夹具及支撑板，所述支撑板包括平面状的支撑面，所述支撑板固定于所述密封腔体的底部，所述夹具包括升降杆与固定于所述升降杆顶部的夹持部，所述升降杆分布于所述支撑板的周围，所述夹持部固定玻璃基板并通过所述升降杆将所述玻璃基板下降放置于所述支撑面上，所述支撑面与所述玻璃基板之间为面接触。夹具固定并升降玻璃基板使玻璃基板处于不同的工位，方便玻璃基板的装卸；密封腔体抽真空前夹具将玻璃基板放置于支撑板的平整的支撑面上，支撑面与玻璃基板之间为面接触，玻璃基板在密封腔体抽真空过程中受力均匀无局部形变，干燥后玻璃基板色彩均匀，良品率高。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显示
，尤其是涉及一种基板干燥装置。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-LCD，TFT-LCD)近年来得到了飞速的发展和广泛的应用，它被广泛用于便携式移动电子产品的显示设备，如手机，数码相机，掌上电脑，GPRS等移动产品。液晶显示器面板一般由彩膜基板和阵列基板对盒形成，两个基板之间的空间中封装有液晶层。玻璃基板是TFT-LCD中最基础且重要的材料，目前彩色滤光片的制作流程包括：在玻璃基板上涂覆光刻胶，然后将涂覆光刻胶后的玻璃基板搬送到真空干燥室内进行干燥，干燥后再将该玻璃基板搬送到烘烤炉进行加热固化。现有技术中，在玻璃基板表面涂布上光阻后，玻璃基板平放于密封腔体内部支撑平台的顶针上，通过支撑平台的升降将玻璃基板处于不同的工位，密封腔体在抽真空的过程中，玻璃基板与顶针为点接触，玻璃基板在接触顶针的位置受到顶针的影响而发生轻微的形变，由于玻璃基板表面涂布的光阻为液体，其流动性会使得此处的光阻相对变薄，导致顶针接触区域的干燥速度加快，彩色滤光片出现色差不良，影响彩色滤光片品质。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种基板干燥装置，用以解决现有技术中玻璃基板与顶针接触区域的干燥速度加快，彩色滤光片出现色差不良，影响彩色滤光片品质的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种基板干燥装置，所述基板干燥装置包括密封腔体及位于所述密封腔体内部的夹具及支撑板，所述支撑板包括平面状的支撑面，所述支撑板固定于所述密封腔体的底部，所述夹具包括升降杆与固定于所述升降杆顶部的夹持部，所述升降杆分布于所述支撑板的周围，所述夹持部固定玻璃基板并通过所述升降杆将所述玻璃基板下降放置于所述支撑面上，所述支撑面与所述玻璃基板之间为面接触。进一步，所述基板干燥装置还包括中心支撑杆，所述中心支撑杆安装于所述密封腔体的底部并穿过所述支撑板的中心，用于支撑所述夹持部固定的所述玻璃基板的中心部位并与所述夹具同步升降。进一步，所述基板干燥装置还包括安装于所述密封腔体的底部的多个辅助支撑杆，所述辅助支撑杆支撑所述夹持部固定的所述玻璃基板的底面并与所述夹具同步升降。进一步，所述夹具的夹持部固定所述玻璃基板的边缘非图形区域部分。进一步，所述支撑面与所述玻璃基板的形状相同。进一步，所述支撑面的面积不小于所述玻璃基板的截面积。进一步，所述夹持部材料为橡胶。进一步，所述密封腔体包括上盖与基座，所述基座位于所述密封腔体的底部，所述上盖与所述基座闭合形成封闭的腔体。进一步，所述密封腔体还包括密封圈，所述密封圈位于所述上盖与所述基座的结合部位，用于加强所述密封腔体的密封性。进一步，所述基座上设有至少一个气孔，所述密封腔体通过所述气孔与腔外的抽气泵或充气泵连接。本专利技术的有益效果如下：夹具固定并升降玻璃基板使玻璃基板处于不同的工位，方便玻璃基板的装卸；密封腔体抽真空前夹具将玻璃基板放置于支撑板的平整的支撑面上，支撑面与玻璃基板之间为面接触，玻璃基板在密封腔体抽真空过程中受力均匀无局部形变，干燥后玻璃基板色彩均匀，良品率高。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的明显变形方式。图1为本专利技术实施例一提供的基板干燥装置的结构示意图。图2为本专利技术实施例二提供的基板干燥装置的结构示意图。图3为基板干燥方法流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。图1为本专利技术实施例一提供的基板干燥装置的结构示意图，如图所示，密封腔体包括密封腔体、夹具及支撑板20。密封腔体包括上盖102与基座104，基座104位于密封腔体的底部，上盖102固定于基座104之上，上盖102与基座104闭合形成封闭的腔体，并且在基座104与上盖102的结合处设有橡胶密封圈106，密封圈106用于防止基座104与上盖102之间的联合出泄露气体而导致密封腔体的密封性不加。一种实施方式中，上盖102与基座104通过螺栓将两者固定在一起。基座104上设有两个个气孔108，密封腔体通过该气孔108与腔外的抽气泵或充气泵连接，完成抽真空或充气回复腔内气压的操作。底座上还设有出水口101，用于排出密封腔体内的水分支撑板20位于密封腔体的内部并固定于基座104上，支撑板20用于将玻璃基板90放置于其上并在真空状态的密封腔体干燥玻璃基板90表面的光阻902。玻璃基板90可平整的放置于支撑板20的支撑面202上，支撑面202的面积大于玻璃基板90的面积，即玻璃基板90放置于支撑板20上时玻璃基板90整体均置于支撑面202上，无未受到支撑板20支撑的部分，这样使玻璃基板90的各个区域受到的支撑力均匀。一种实施方式中，支撑面202与玻璃基板90的形状、大小均相同，即使用最小的支撑面202面积均匀支撑玻璃基板90整体区域。支撑面202与玻璃基板90之间为面接触，玻璃基板90在密封腔体抽真空过程中受力均匀无局部形变，干燥后玻璃基板90色彩均匀，良品率高。夹具包括升降杆304与夹持部302，夹持部302固定于升降杆304的顶端，升降杆304在垂直于支撑板20的支撑面202的方向上活动，即可以上下升降调整高度。夹持部302夹持固定玻璃基板90的棱边边缘部分，一种实施方式中，玻璃基板90为矩形，夹持部302的数量为四，夹持部302同时夹持住玻璃基板90的四个棱边的边缘部分，即非图形区域。夹持部302的材料为比较柔软的橡胶，防止坚硬材料损坏或刮伤玻璃基板90。本专利技术还包括中心支撑杆40，中心支撑杆40安装于密封腔体的基座104上并穿过支撑板20的中心，中心支撑杆40支撑玻璃基板90的中心部位，中心支撑杆40辅助夹具固定玻璃基板90并与夹具同步升降，保持玻璃基板90平稳的升降。夹具的工位主要有两个：放置工位与装卸工位。夹具处于放置工位时，夹持有玻璃基板90的夹具与中心支撑杆40同步降低至与支撑板20的支撑面202相同的高度，将玻璃基板90放置于支撑板20上；夹具处于装卸工位时，夹具与中心支撑杆40同步上升至最高处，装载过程由机械手将玻璃基板90放置于夹持部302与中心支撑杆40处，取出过程由机械手将夹持部302与中心支撑杆40固定的玻璃基板90取出。夹具与中心支撑杆40固定并升降玻璃基板90使玻璃基板90处于不同的工位，方便玻璃基板90的装卸，符合制程要求。图2为本专利技术实施例二提供的基板干燥装置的结构示意图，如图所示，与实施例一的区别在于，基板干燥装置还包括安装于基座104上的多个辅助支撑杆50。辅助支撑杆50支撑夹持部302固定的玻璃基板90的底面并与夹具同步升降，辅助支撑杆50适用于面积较大的玻璃基板90，辅助支撑杆50的数量越多，对玻璃基板90的支撑效果越好，防止玻璃基板90面积太大或质量太大导致仅通过夹具固定其边缘无法稳固的固定玻本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板干燥装置，其特征在于，所述基板干燥装置包括密封腔体及位于所述密封腔体内部的夹具及支撑板，所述支撑板包括平面状的支撑面，所述支撑板固定于所述密封腔体的底部，所述夹具包括升降杆与固定于所述升降杆顶部的夹持部，所述升降杆分布于所述支撑板的周围，所述夹持部固定玻璃基板并通过所述升降杆将所述玻璃基板下降放置于所述支撑面上，所述支撑面与所述玻璃基板之间为面接触。
【技术特征摘要】
1.一种基板干燥装置，其特征在于，所述基板干燥装置包括密封腔体及位于所述密封腔体内部的夹具及支撑板，所述支撑板包括平面状的支撑面，所述支撑板固定于所述密封腔体的底部，所述夹具包括升降杆与固定于所述升降杆顶部的夹持部，所述升降杆分布于所述支撑板的周围，所述夹持部固定玻璃基板并通过所述升降杆将所述玻璃基板下降放置于所述支撑面上，所述支撑面与所述玻璃基板之间为面接触。2.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，所述基板干燥装置还包括中心支撑杆，所述中心支撑杆安装于所述密封腔体的底部并穿过所述支撑板的中心，用于支撑所述夹持部固定的所述玻璃基板的中心部位并与所述夹具同步升降。3.根据权利要求2所述的基板干燥装置，其特征在于，所述基板干燥装置还包括安装于所述密封腔体的底部的多个辅助支撑杆，所述辅助支撑杆支撑所述夹持部固定的所述玻璃基板的底面并与所述夹具同步升降。4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐元江，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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