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本发明公布了一种基板干燥装置，包括密封腔体及位于所述密封腔体内部的夹具及支撑板，所述支撑板包括平面状的支撑面，所述支撑板固定于所述密封腔体的底部，所述夹具包括升降杆与固定于所述升降杆顶部的夹持部，所述升降杆分布于所述支撑板的周围，所述夹持部...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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