一种喷淋设备制造技术

本发明专利技术提供一种喷淋设备，该喷淋设备包括外管和内管，内管设于外管内，内管设有多个喷嘴；其中，内管可相对外管进行轴向调节和径向调节。本发明专利技术提供的喷淋设备极大地提高了实用性和灵活性，利于进行设备调整、不良分析和工程实验，同时极大地提高了工程效率，减少了喷淋不良，提高了工艺良率，降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶面板制造
，特别涉及一种喷淋设备。
技术介绍
CF Wet设备(湿式设备)，如Cleaner(清洗机)用于玻璃基板表面涂布前的清洗，去除粒子(Particle)和有机物等脏污，Develop(显影机)用于玻璃基板涂布曝光后光阻的剥离，以形成所需的pattern(图案)。请参阅图1，图1是现有技术中一种喷淋管的局部结构示意图。如图1所示，Wet设备的喷淋管10工作原理如下：药液或水13以一定压力供给至喷淋管11，通过喷淋管11上的喷嘴14喷淋在玻璃基板(图未示)表面。喷嘴14的设计，使液体喷出呈一定角度的扇形，保证其在玻璃基板表面均匀喷淋。液体均匀喷洒在基板表面，是保证基板表面横向制程能力均等的重要条件。例：Cleaner设备某喷嘴14分叉时，可能造成此处particle数偏高，整片基板形成纵向一列particle集中偏高。生产过程中，Wet设备发生制程不良时，需要调查是否是因为喷嘴14喷淋不均匀造成，喷嘴14喷淋的角度是否为最佳，喷嘴14喷淋造成不良位置的坐标在哪。由于现有的喷淋管11为固定式设设，造成如下不便1、无法实现喷嘴14在基板上喷淋位置的移动；2、无法实现喷嘴14喷淋与基板的夹角调节；3、无法直观显示喷嘴14喷淋处在基板的坐标。
技术实现思路
本专利技术提供一种喷淋设备，以解决现有技术中无法实现喷嘴在基板上喷淋位置的移动、无法实现喷嘴喷淋与基板的夹角调节以及无法直观显示喷嘴喷淋处在基板的坐标的技术问题。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种喷淋设备，所述喷淋设备包括：外管；内管，设于所述外管内，所述内管设有多个喷嘴；其中，所述内管可相对所述外管进行轴向调节和径向调节。根据本专利技术一优选实施例，所述喷淋设备还包括转接头，所述转接头与所述外管连接，用于将液体传输给所述内管。根据本专利技术一优选实施例，所述外管设有轴向开槽，所述轴向开槽设有轴向刻度。根据本专利技术一优选实施例，所述轴向开槽上进一步设有坐标槽，所述坐标槽上设有坐标尺。根据本专利技术一优选实施例，所述外管还设有径向开槽，所述径向开槽设有径向刻度。根据本专利技术一优选实施例，所述内管上设有轴向中心标示线，所述内管与所述外管装配时，所述轴向中心标示线位于所述坐标槽内，并与所述坐标尺对齐。根据本专利技术一优选实施例，所述内管上还设有调节柄，所述内管与所述外管装配时，所述调节柄位于所述径向开槽内，用于进行径向调节。根据本专利技术一优选实施例，所述内管上还设有径向中心标识线，所述径向中心标识线自所述调节柄延伸并与所述径向刻度对齐。根据本专利技术一优选实施例，所述喷淋设备还包括防松螺丝，所述防松螺丝在所述内管与所述外管装配时贯穿螺接在所述外管上，用于抵接压紧所述内管。根据本专利技术一优选实施例，所述外管与所述内管之间设有密封圈。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本专利技术提供的喷淋设备极大地提高了实用性和灵活性，利于进行设备调整、不良分析和工程实验，同时极大地提高了工程效率，减少了喷淋不良，提高了工艺良率，降低了生产成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：图1是现有技术中一种喷淋管的局部结构示意图；图2是本专利技术一优选实施例提供的喷淋设备的局部结构示意图；图3是图2中所示的喷淋设备的外管的局部结构示意图；图4是图2中所示的喷淋设备的内管的局部结构示意图；图5是图2中所示的喷淋设备进行径向调节的示意图；图6是图2中所示的喷淋设备外管和内管的固定方式的示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图2，图2是本专利技术一优选实施例提供的喷淋设备的局部结构示意图。如图2所示，本专利技术提供一种喷淋设备100，喷淋设备100主要包括外管110、内管120以及转接头130。其中，外管110起衔接、支撑以及标示作用，内管120起喷淋和移动作用，转接头130与外管110连接，用于向内管120输入液体140。具体地，内管120套设于外管110内，内管120设有多个喷嘴129；转接头130与外管110连接，例如可采用螺纹连接的方式，转接头130用于将液体140传输给外管110并通过内管120上的多个喷嘴129喷洒从而进行清洁作业，外管110与内管120之间设有密封圈131，密封圈131可以是间隔平行设置的多道，在内管120和外管110配合的两端均有设置。本专利技术的供的喷淋设备100中，内管120可相对外管110进行轴向调节和径向调节。具体而言，请一并参阅图3，图3是图2中所示的喷淋设备的外管的局部结构示意图。如图3所示，外管110的下侧设有轴向开槽111，轴向开槽111设有轴向刻度112。以t36代线基板尺寸1500*1850mm为例，轴向刻度112可标示-750～750mm。轴向开槽111上进一步设有坐标槽113，坐标槽113上设有坐标尺114。外管110的上侧还设有径向开槽115，径向开槽115设有径向刻度116。请一并参阅图4，图4是图2中所示的喷淋设备的内管的局部结构示意图。如图4所示，内管120上设有轴向中心标示线121，内管120与外管110装配时，轴向中心标示线121位于坐标槽113内，并与坐标尺114对齐，调节内管120与外管110的相对位置时，可通过轴向中心标示线121和坐标尺114控制调节量。此外，内管120上还设有调节柄122，内管120与外管110装配时，调节柄122位于径向开槽115内，用于进行径向调节。请一并参阅图5，图5是图2中所示的喷淋设备进行径向调节的示意图。如图5所示，内管120上还设有径向中心标识线123，径向中心标识线123自调节柄122延伸并与径向刻度116对齐。调节内管120与外管110的相对角度时，可通过径向中心标识线123和径向刻度116控制调节量请一并参阅图6，图6是图2中所示的喷淋设备外管和内管的固定方式的示意图。如图6所示，喷淋设备100还包括防松螺丝150，防松螺丝150在内管120与外管110装配时贯穿螺接在外管110上，用于抵接压紧内管120。优选地，防松螺丝150的端部与内管120的外壁之间设有防滑垫片151。防松螺丝150可以避免内管120受水力冲击而滑动。综上所述，本领域技术人员容易理解，本专利技术提供的喷淋设备100极大地提高了实用性和灵活性，利于进行设备调整、不良分析和工程实验，同时极大地提高了工程效率，减少了喷淋不良，提高了工艺良率，降低了生产成本。以上所述仅为本专利技术的实施例，并非因此限制本专利技术的专利范围，凡是利用本专利技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本专利技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷淋设备，其特征在于，所述喷淋设备包括：外管；内管，设于所述外管内，所述内管设有多个喷嘴；其中，所述内管可相对所述外管进行轴向调节和径向调节。

【技术特征摘要】
1.一种喷淋设备，其特征在于，所述喷淋设备包括：外管；内管，设于所述外管内，所述内管设有多个喷嘴；其中，所述内管可相对所述外管进行轴向调节和径向调节。2.根据权利要求1所述的喷淋设备，其特征在于，所述喷淋设备还包括转接头，所述转接头与所述外管连接，用于将液体传输给所述内管。3.根据权利要求1所述的喷淋设备，其特征在于，所述外管设有轴向开槽，所述轴向开槽设有轴向刻度。4.根据权利要求3所述的喷淋设备，其特征在于，所述轴向开槽上进一步设有坐标槽，所述坐标槽上设有坐标尺。5.根据权利要求4所述的喷淋设备，其特征在于，所述外管还设有径向开槽，所述径向开槽设有径向刻度。6.根据权利要求5所述的喷淋设备，其特征在于，所述内管...

【专利技术属性】
技术研发人员：施杰，邢磊，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42