喷淋组件及喷淋设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种喷淋组件及喷淋设备，其中喷淋组件包括至少一个喷淋嘴，所述喷淋组件还包括副储液罐，所述副储液罐具有喷淋液入口、第一调节液入口、第二调节液入口和至少一个喷淋液出口，每个所述喷淋嘴对应一个所述喷淋液出口，且所述喷淋嘴通过相应的所述喷淋液出口与所述副储液罐内部连通。喷淋设备包括该喷淋组件。上述结构的喷淋组件中具有副储液罐，且该副储液罐具有喷淋液入口以及两个调节液入口，在使用时，通过设置的调节液入口，可以对副储液罐内部的喷淋液进行浓度调节，使其符合预设喷淋液浓度阈值，喷淋效果良好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶显示
，具体涉及一种喷淋组件及一种包括该喷淋组件的喷淋设备。
技术介绍
传统使用喷淋设备时，往往将喷淋嘴和存储有喷淋液的储液罐置于不同的楼层中，然后采用泵将储液罐内的喷淋液泵送到喷淋嘴处，然后进行喷淋。在液晶显示
，显影设备往往采用上述结构，显影设备在对液晶显示器的基板进行显影时，一般利用分布式控制系统(DCS，DistributedControlSystem)，对显影液浓度进行统一调节监控，然后通过喷淋嘴对需要显影的基板，经过显影单元，进行泵吐显影液，实现对基板的显影。但是这样的泵吐显影，就存在泵取过程中显影液分流到各个喷淋嘴的浓度存在差异，而且各个喷淋嘴在喷吐过程的流量也存在差异，从而导致整张基板在不同位置处显影程度不同，造成显影后的关键尺寸(CD，CriticalDimension)不均一的问题。因此，如何更好地解决喷淋嘴处的喷淋液浓度以及喷淋液流量处于均衡状态成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种喷淋组件及具有其的喷淋设备。为了实现上述目的，一方面，本技术提供一种喷淋组件，所述喷淋组件包括至少一个喷淋嘴，所述喷淋组件还包括副储液罐，所述副储液罐具有喷淋液入口、第一调节液入口、第二调节液入口和至少一个喷淋液出口，每个所述喷淋嘴对应一个所述喷淋液出口，且所述喷淋嘴通过相应的所述喷淋液出口与所述副储液罐内部连通。优选地，所述第一调节液入口处设置有第一开关阀，所述第二调节液入口处设置有第二开关阀。优选地，所述喷淋组件还包括搅拌部件，至少部分所述搅拌部件设置于所述副储液罐内部。优选地，所述喷淋组件还包括传感器，所述传感器设置于所述副储液罐内部。优选地，所述传感器包括超声波传感器。优选地，所述喷淋组件还包括第一分配箱和第二分配箱，所述第一分配箱通过所述第一调节液入口以及所述第二分配箱通过所述第二调节液入口与所述副储液罐连通；其中，所述第一分配箱用于存储浓度值大于所述预设喷淋液浓度阈值的喷淋液，所述第二分配箱用于存储浓度值小于或等于所述预设喷淋液浓度阈值的喷淋液，或者用于存储喷淋液溶剂。优选地，所述喷淋组件还包括至少一个流量控制阀，所述流量控制阀设于所述喷淋嘴上，且每一个所述流量控制阀对应一个所述喷淋嘴。另一方面，本技术提供一种喷淋设备，所述喷淋设备包括上述任意一项所述的喷淋组件。优选地，所述喷淋设备还包括泵送部件，通过所述泵送部件将喷淋液泵送至所述副储液罐内。优选地，所述喷淋设备还包括：控制模块；当所述喷淋组件包括第一开关阀和第二开关阀时，所述控制模块分别与所述第一开关阀的控制端以及所述第二开关阀的控制端电连接。优选地，当所述喷淋组件包括所述传感器、第一开关阀和第二开关阀时，所述控制模块分别与所述第一开关阀的控制端、所述第二开关阀的控制端以及所述传感器电连接，且所述传感器能够将所述副储液罐内的喷淋液浓度值发送至所述控制模块，所述控制模块将接收到的浓度值与所述预设喷淋液浓度阈值进行比较，当浓度值小于所述预设喷淋液浓度阈值时，控制所述第一开关阀开启，当浓度值大于所述预设喷淋液浓度阈值时，控制所述第二开关阀开启。优选地，当所述喷淋组件包括所述流量控制阀时，所述控制模块与所述流量控制阀电连接。优选地，所述喷淋设备还包括报警模块，所述报警模块与所述控制模块电连接。本技术的喷淋组件中具有副储液罐，且该副储液罐具有喷淋液入口以及两个调节液入口，在使用时，通过设置的调节液入口，可以对副储液罐内部的喷淋液进行浓度调节，使其符合预设喷淋液浓度阈值，喷淋效果良好。另一方面，本技术的喷淋设备，使用上述的喷淋组件，在使用时，通过设置的两个调节液入口，可以对副储液罐内部的喷淋液进行浓度调节，使其符合预设喷淋液浓度阈值，喷淋效果良好。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为一实施例中喷淋组件的结构示意图；图2为图1所示一实施例中喷淋组件的侧视图。附图标记说明100：喷淋组件；110：喷淋嘴；120：副储液罐；121：喷淋液入口；122：第一调节液入口：123：第二调节液入口：124：喷淋液出口；130：搅拌部件；140：第一分配箱；150：第二分配箱。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。参考图1和图2，一方面，本技术涉及一种喷淋组件100，该喷淋组件100包括至少一个喷淋嘴110，其中，喷淋嘴110的具体数量可以根据实际应用时(待喷淋产品)进行确定，在此并不作限定。该喷淋组件100还包括副储液罐120，该副储液罐120用于存储喷淋液，其上具有喷淋液入口121、第一调节液入口122、第二调节液入口123和至少一个喷淋液出口124。其中，外界的喷淋液通过该喷淋液入口121可以进入到该副储液罐120内，将要进行喷淋时或者在喷淋过程中，检测到该副储液罐120内的喷淋液浓度值与预设喷淋液浓度阈值不匹配，此时，可以通过副储液罐120上设置的第一调节液入口122或第二调节液入口123，将外界的调节液通入到该副储液罐120内部，对存储在副储液罐120内部的喷淋液进行浓度调节，使其达到预设喷淋液浓度阈值。该预设喷淋液浓度阈值需要根据实际的待喷淋产品进行确定，以便确保在对待喷淋产品进行喷淋时，有最佳的喷淋效果。另外，第一调节液入口122和第二调节液入口123可以分别通过外接管道或者类似通道与外界调节液连通。每个喷淋嘴110对应一个喷淋液出口124，即喷淋嘴110的数量与副储液罐120设置的喷淋液出口124的数量相同，此时喷淋嘴110通过相应的喷淋液出口124与副储液罐120内部连通。上述结构的喷淋组件100中具有副储液罐120，且该副储液罐120具有喷淋液入口121以及两个调节液入口，在使用时，通过设置的调节液入口，可以对副储液罐120内部的喷淋液进行浓度调节，使其符合预设喷淋液浓度阈值，喷淋效果良好。作为上述喷淋组件100一个具体地应用，可以将其应用到显影设备中，相应喷淋液为显影液，调节液为显影液或显影液溶剂，在显影时，检测副储液罐120内部的显影液浓度值，是否与预设显影液浓度阈值匹配，此处预设显影液浓度阈值可以为2.37wt％，也可以是2.39wt％，优选地为2.38wt％，处于此范围内的显影液，在进行显影时，越接近此范围内的中心值显影效果越好，关键尺寸均一易管控，并且没有mura类现象发生，所谓mura类现象指显示器亮度不均匀,造成各种痕迹的现象。一旦副储液罐120内部的显影液浓度值与预设显影液浓度阈值不匹配，此时通过第一调节液入口122或第二调节液入口123将外界的显影液释放到该副储液罐120内部，对其内部显影液浓度进行调节，确保副储液罐120内部的显影液浓度处于预设显影液浓度阈值范围内。当然上述的喷淋组件100并不仅仅限于应用于显影设备中，也可以应用到其他需要对待喷淋产品进行喷淋处理的设备，优选地是待喷淋产品对喷淋液有较为严格的浓度范围要求时，采用该喷淋组件100喷淋效果更佳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷淋组件，所述喷淋组件包括至少一个喷淋嘴，其特征在于，所述喷淋组件还包括副储液罐，所述副储液罐具有喷淋液入口、第一调节液入口、第二调节液入口和至少一个喷淋液出口，每个所述喷淋嘴对应一个所述喷淋液出口，且所述喷淋嘴通过相应的所述喷淋液出口与所述副储液罐内部连通。

【技术特征摘要】
1.一种喷淋组件，所述喷淋组件包括至少一个喷淋嘴，其特征在于，所述喷淋组件还包括副储液罐，所述副储液罐具有喷淋液入口、第一调节液入口、第二调节液入口和至少一个喷淋液出口，每个所述喷淋嘴对应一个所述喷淋液出口，且所述喷淋嘴通过相应的所述喷淋液出口与所述副储液罐内部连通。2.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述第一调节液入口处设置有第一开关阀，所述第二调节液入口处设置有第二开关阀。3.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述喷淋组件还包括搅拌部件，至少部分所述搅拌部件设置于所述副储液罐内部。4.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述喷淋组件还包括传感器，所述传感器设置于所述副储液罐内部。5.根据权利要求4所述的喷淋组件，其特征在于，所述传感器包括超声波传感器。6.根据权利要求1至5任意一项所述的喷淋组件，其特征在于，所述喷淋组件还包括第一分配箱和第二分配箱，所述第一分配箱通过所述第一调节液入口以及所述第二分配箱通过所述第二调节液入口与所述副储液罐连通；其中，所述第一分配箱用于存储浓度值大于预设喷淋液浓度阈值的喷淋液，所述第二分配箱用于存储浓度值小于或等于所述预设喷淋液浓度阈值的喷淋液，或者用于存储喷淋液溶剂。7.根据权利要求6所述的喷淋组件，其特征在于，所述喷淋组件还包括至少一个流量控制阀，所述流量控制阀设于所述喷淋嘴上，且每一个所述流量控制阀对应一个所述喷淋嘴。8.一种喷淋设...

【专利技术属性】
技术研发人员：李峰，王凤国，武新国，刘弘，王子峰，郭志轩，马波，李元博，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京;11