The invention provides a method for detecting the surface shape error of the large size correction disc in the ring polishing. Large diameter ring polishing method for detecting surface shape error correction plate, the middle is provided with a probe straightness meter bridge along the radius direction of the correcting disc segment detection sub segment of the straightness, then get the radius direction of the straightness by processing data. The present invention for big size correction plate face down and difficult to overturn problem, according to the surface shape correction plate is characteristic of symmetrical distribution center, the straightness meter bridge segment detection correction disc along the radius square contour, and then generate the radial profile of the modified disc through data processing. The invention can surface shape error of large size correction test large ring polishing machine, the detection process is simple and convenient and has high precision, surface shape correction plate by the method of the invention can speculate pitch lap shape, so as to adjust the surface precision of polishing process parameters to improve the optical element.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学加工领域,尤其涉及一种环形抛光中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法。
技术介绍
环形抛光广泛应用于大口径平面光学元件的加工,加工的元件具有较低的中频误差,但环抛技术一直存在的一个难题是元件低频面形误差的高效收敛,元件的面形误差主要取决于抛光过程的运动参量以及元件和沥青抛光盘接触界面的压力分布。抛光运动参量包括各盘转速、元件偏心距等,近年来机床运动控制水平的提升已较好地解决了元件面形精度控制在运动参数方面的制约问题,而抛光压力分布的均匀性,特别是由于抛光盘表面不平引起的抛光压力分布不均已经成为元件面形精度提升的瓶颈。长期以来,环形抛光主要采用修正盘来修正抛光盘的表面形状误差,修正盘的形状精度对抛光盘的修正精度具有重要的影响。修正盘表面形状的检测方面,特别是对于大尺寸修正盘,由于其重量可达1吨以上,直径接近2m,工作面朝下并且难以搬运和翻转,因此难以采用常见的干涉仪、三坐标测量仪等进行检测,目前缺乏有效的检测和监控方法。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种环形抛光中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案是:大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法,采用中间带有探针的直线度表桥沿修正盘半径方向分段检测各子段的直线度,然后通过数据处理获得整个半径方向的直线度。进一步的,所述检测方法包括以下步骤:1)较准直线度表桥;2)分段检测修正盘沿半径方形轮廓;3)根据分段检测数据生成修正盘表面形状,求得各检测点的高度,即获得修正盘的表面形状及其误差。进一步的,所述步骤1)为:将两件等高的桌台并行分开放置,确保 ...
【技术保护点】
大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法,其特征在于,采用中间带有探针(15)的直线度表桥(12)沿修正盘半径方向分段检测各子段的直线度,然后通过数据处理获得整个半径方向的直线度。
【技术特征摘要】
1.大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法,其特征在于,采用中间带有探针(15)的直线度表桥(12)沿修正盘半径方向分段检测各子段的直线度,然后通过数据处理获得整个半径方向的直线度。2.如权利要求1所述的大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法,其特征在于,所述检测方法包括以下步骤:1)较准直线度表桥;2)分段检测修正盘沿半径方形轮廓;3)根据分段检测数据生成修正盘表面形状,求得各检测点的高度,即获得修正盘的表面形状及其误差。3.如权利要求2所述的大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法,其特征在于,所述步骤1)为:将两件等高的桌台(8)并行分开放置,确保两者之间的距离处于直线度表桥(12)长度与平尺(10)长度之间,然后将平尺(10)工作面朝下横跨放在上述两件桌台(8)上;分别握住直线度表桥(12)的两端,将其两端的支点从下往上抵至平尺(10)的工作面上,此时直线度表桥(12)中间的探针(15)与平尺(10)的工作面接触,并通过千分表(16)显示探针(15)伸出的高度;最后调节千分表(16)使其指针读数为零,从而实现直线度表桥(12)的校准。4.如权利要求3所述的大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法,其特征在于,所述直线度表桥(12)检测距离为修正盘半径的1/2~1/4。5.如权利要求2所述的大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法,其特征在于,所述步骤2)为:擦拭干净修正盘(2)的工作面;标出...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖德锋,谢瑞清,陈贤华,赵世杰,王健,许乔,
申请(专利权)人:成都精密光学工程研究中心,
类型:发明
国别省市:四川;51
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